薄膜技術(shù)緒論ppt課件(已修改)
2025-05-15 06:00 本頁面
【正文】 薄膜物理與技術(shù) 教材：唐偉忠 . 《 薄膜材料 制備原理 、 技術(shù)及應(yīng)用 》冶金工業(yè)出版社 32學(xué)時(shí) ， 選修課 緒 論 ? 薄膜科學(xué)的發(fā)展歷史 ? 薄膜的分類 ? 薄膜科學(xué)的研究內(nèi)容 ? 薄膜科學(xué)的基本概念 ? 本課程的主要內(nèi)容 ? 教材及參考書 ① twodimension materials ② thin = less than about one micron ( 10,000 Angstroms, 1000 nm) ③ film = layer of material on a substrate (if no substrate, it is a foil) 一百多年來 ， 人們對物質(zhì)的物理性質(zhì)的廣泛研究 ， 使物理學(xué)成為一個(gè)很大的學(xué)科領(lǐng)域 。 在這個(gè)領(lǐng)域中 ， 一些專門的知識進(jìn)一步發(fā)展成為一個(gè)個(gè)獨(dú)立的分支 ， 薄膜物理就是該領(lǐng)域中一個(gè)相當(dāng)重要的分支 。 薄膜科學(xué)的研究內(nèi)容包含了制備技術(shù) 、 分析方法 、 結(jié)構(gòu)觀察 、 薄膜的應(yīng)用以及薄膜的生長機(jī)理等及其豐富的內(nèi)容 。 薄膜科學(xué)的發(fā)展歷史 對液體薄膜首先作了正式描寫的是美國著名的科學(xué)家 、作家兼政治家的富蘭克林 (Benjamin Franklin)， 他在 1774年的文件中留下了這樣的描述： “ 不超過一茶匙的油 ， 迅即地展開為數(shù)平方碼 ， 然后很驚人地慢慢擴(kuò)展 ， 直到抵達(dá)在下風(fēng)處的水池邊緣 ， 布滿了水池的那個(gè)區(qū)域 ， 可能有半英畝 （ 1英畝約為 4000平方公尺 ）之廣 ， 而表面平滑的像面鏡子 。 ” 該薄膜的膜厚約為 10197。， 是一個(gè)單分子膜層 。 薄膜科學(xué)的發(fā)展歷史 薄膜科學(xué)的發(fā)展歷史 和液體薄膜相比較的話 ， 固體薄膜的歷史比較淺短 。 在現(xiàn)今留下的紀(jì)錄里 ， 最早的是 1852年德國的化學(xué)家本生 (Robert Wilhelm Bunsen)和 Grove分別由化學(xué)反應(yīng)和輝光放電 (glow discharge)確認(rèn)了其所產(chǎn)生的固體薄膜 。 一般的固體薄膜 ， 乃是由把原子或分子狀的蒸發(fā)粒子沉積 （ 或稱蒸鍍 ） 在表面平滑的基板表面上所獲得 。 而這類固體薄膜 ， 一般就僅以薄膜來稱呼 。 光學(xué)薄膜是薄膜科學(xué)中最早被深入研究的薄膜。隨著各種光學(xué)透鏡的發(fā)展，各種增透膜、減反射膜、濾光膜、分光膜等等被精確的制備、檢測和分析。進(jìn)入上世紀(jì) 70年代后，透光材料在建筑、裝璜等方面被廣泛應(yīng)用，在房屋、車輛、太陽能電池、太陽能熱水器等的透明光窗上采用增透、防輻射和反射等薄膜。這類產(chǎn)品已經(jīng)廣泛進(jìn)入我們的日常生活中。 薄膜科學(xué)的發(fā)展歷史 薄膜科學(xué)的發(fā)展歷史 我們一般可能沒有特別意識到薄膜的存在 ， 不過事實(shí)上在日常生活當(dāng)中 ， 我們可以見到各式各樣的薄膜 。 例如： ? 廚房用的鋁箔（厚度約 ， 20μm） ； ? 保鮮膜（厚度約 15μm） ； ? 保護(hù)或裝飾物品表面的電鍍層或膠膜； ? 油漆等較厚的膜； ? 眼鏡、照相機(jī)鏡片上的防紫外線或是防眩光膜； ? IC芯片及各種電子材料、裝置上的鍍膜等極
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