光柵和激光位移測量技術(shù)-全文預(yù)覽
【正文】 應(yīng) → 克服個別 /局部誤差 → 提高精度 (2) 光柵傳感器分類與結(jié)構(gòu)原理 按運動形式分： 直線型 主光柵為直尺形 →直線移動 旋轉(zhuǎn)型 主光柵為圓盤形 →旋轉(zhuǎn)運動 按光學形式分： 透射式 光源與光電元件在兩側(cè) →透射光 反射式 光源與光電元件同一側(cè) →反射光 (3)圓光柵傳感器 光柵 徑向光柵、切向光柵、環(huán)形光柵 徑向圓光柵 切向圓光柵 ① 徑向光柵的圓弧形莫爾條紋 兩塊徑向光柵 柵距角相同 /不大偏心量 光柵不同區(qū)域， 柵 線交角 不同 圓弧形莫爾條紋 （不同曲率半徑） 條紋寬度 隨位置變化 偏心垂直位置上 條紋近似垂直于柵線 偏心方向上 條紋近似平行于柵線 橫向莫爾條紋 縱向莫爾條紋 其他位置 斜向莫爾條紋 實際應(yīng)用
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