光柵和激光位移測(cè)量技術(shù)(文件)
【正文】 精密位移 長(zhǎng)光柵 直線位移；圓光柵 角位移 構(gòu)成：主光柵 標(biāo)尺光柵，定光柵；指示光柵 動(dòng)光柵 長(zhǎng)度 測(cè)量范圍；刻線密度 測(cè)量精度 ( 2 50、 100、 125線 /mm ) (1) 莫爾條紋（ Moire） 條紋寬度： ????WWB)2/si n (2W柵距， a線寬， b縫寬 W=a+b ， a=b=W/2 特例：當(dāng) ?=0, w1=w2 → B=? → 光閘莫爾條紋 當(dāng) ?=0, w1≠w2 → 縱向莫爾條紋 均勻刻線 主光柵 指示光柵 夾角 明暗相間條紋 莫爾條紋 移動(dòng) 莫爾條紋特性： 方向性：垂直于角平分線，當(dāng)夾角很小時(shí) → 與光柵移動(dòng)方向垂直 同步性：光柵移動(dòng)一個(gè)柵距 → 莫爾條紋移動(dòng)一個(gè)間距一方向?qū)?yīng) 放大性：夾角 θ很小 → BW → 光學(xué)放大 → 提高靈敏度 可調(diào)性：夾角 θ↓→ 條紋間距 B↑ → 靈活 準(zhǔn)確性：大量刻線 → 誤差平均效
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