光柵ccd光纖傳感器-全文預(yù)覽
【正文】 上一頁 返 回 圖像傳感器 是一種能進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換存儲信息及轉(zhuǎn)換信息電荷功能的特殊半導(dǎo)體器件，用于傳真、圖像掃描及光特性識別工業(yè)自動檢測等多個領(lǐng)域。 被測對象長度 L pnfanpML ????? )1(1pnllL ??21l1 －視場 l2－ 傳感器的長度 上一頁 下一頁 返 回 27 投影法適合小尺寸物體或者對物體邊緣進(jìn)行測量的情形，當(dāng)一束平行光照射到被測物體后再投射到CCD時，物體的陰影也同時投射到 CCD上，若光的準(zhǔn)直度很好，其陰影的尺寸就代表了待測物體的尺寸。 ? 線列和面陣 上一頁 下一頁 返 回 17 MOS電容器組成的光敏元及數(shù)據(jù)面的顯微照片 CCD光敏元顯微照片 CCD讀 出移位寄存器的 數(shù)據(jù)面 顯 微照片 彩色 CCD顯微照片（放大 7000倍） 19 CCD圖像傳感器的分類 (1)線陣 CCD 20 (2)面陣 CCD 面陣 CCD能在 x、 y兩 個方向都能實現(xiàn)電子自掃描，可以獲得二維圖像。 圖 光 柵傳 感器外形 6 反射式光柵 7 透射式光柵 8 透射式圓光柵 固定 9 光柵在機(jī)床上的安裝位置（ 2個坐標(biāo)） 10 光柵在機(jī)床上的安裝位置（ 3個坐標(biāo)） 數(shù)顯表 11 光柵在機(jī)床上 的安裝位置 （ 3個坐標(biāo)）（續(xù)） 12 3自由度光柵數(shù)顯表 13 光柵數(shù)顯表（續(xù)） 三坐標(biāo) 數(shù)顯表 14 安裝有直線、角度光柵的數(shù)控機(jī)床加工實況 防 護(hù)罩內(nèi)為 直 線 光 柵 光 柵掃 描 頭 被加工工件 切削刀具 角 編碼 器安裝在 夾 具的端部 電荷耦合器件 ?在 MOS電容金屬電極上，加以脈沖電壓，排斥掉半導(dǎo)體襯底內(nèi)的多數(shù)載流子，形成“勢阱”的運(yùn)動，進(jìn)而達(dá)到信號電荷（少數(shù)載流子）的轉(zhuǎn)移。因此可得到比光柵本身的刻線精度高的測量精度。 （ 2）莫爾條紋的光強(qiáng)度變化近似正弦變化，便于將電信號作進(jìn)一步細(xì)分，即采用“倍頻技術(shù)”。 光柵傳感器的結(jié)構(gòu) 莫爾條紋形成的原理 2tantan?? ?橫向莫爾條紋的斜率 莫爾條紋間距 ???WWBCABBH ????2si n22si n莫爾條紋的寬度 BH由 光柵常數(shù)與光柵夾角決定 莫爾條紋技術(shù)的特點 （ 1）調(diào)整夾角即可得到很大的莫爾條紋的寬度，起到了放大作用，又提高了測量精度?？叹€的局部誤差和周期誤差對于精度沒有直接的影響。根據(jù)主光柵尺與指示光柵之間的相對運(yùn)動產(chǎn)生莫爾條紋移動，通過計算莫爾條紋數(shù)測量位移，精度高，用于自控機(jī)床及作長度減量標(biāo)準(zhǔn)。 ? 由于 CCD能實現(xiàn)低噪聲的電荷轉(zhuǎn)移，并且所有光生電荷都通過一個輸出電路檢測，且具有良好的 — 致性，因此，對圖像的傳感具有優(yōu)越的性能。 (1)衍射法 (2)投影法 (3)光學(xué)成像法 25
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