【正文】
Percent4 03 53 02 52 01 51 09 9 . 9 99 99 58 05 02 0510 . 0 1M e a n 2 2 .0 0S t D e v 3 .7 5 1N 1 5 0 0A D 6 2 .4 4 2P V a l u e 0 .0 0 5P r o b a b i l i t y P l o t o f D a t aN o r m a l 9 5 % C I製程能力分析 ? 答 直接利用原始數(shù)據(jù)做常態(tài)分配的檢定分析 : 得到 p value 所以是非常態(tài)分配 錯(cuò) 45 製程能力分析 改善前後 的數(shù)據(jù)分開(kāi)來(lái)做常態(tài)機(jī)率的檢定 答 46 製程能力分析 答 47 製程能力分析 答 48 製程能力分析 答 49 D a t aPercent3 02 52 01 51 09 9 . 9 99 99 58 05 02 0510 . 0 11 8 .9 7 3 .0 3 1 7 5 0 0 .5 2 6 0 .1 7 92 5 .0 3 0 .7 8 8 2 7 5 0 0 .3 5 6 0 .4 5 8M e a n S t D e v N A D PD a t a _ 改 善 前D a t a _ 改 善 後V a r i a b l eP r o b a b i l i t y P l o t o f D a t a _ 改 善 前 , D a t a _ 改 善 後N o r m a l 9 5 % C I製程能力分析 答 P value = , 表示為常態(tài)分配 50 製程能力分析 2. Cpk 計(jì)算 : 利用原始檔案來(lái)計(jì)算改善前後製程能力 答 51 製程能力分析 答 52 製程能力分析 答 53 3 0 . 2 52 7 . 2 52 4 . 2 52 1 . 2 51 8 . 2 51 5 . 2 51 2 . 2 56 04 53 01 50L S L U S LC p 0 . 6 5 9C P L 0 . 1 0 7C P U 1 . 2 1 2C p k 0 . 1 0 7W i t h i nP p 0 . 6 6 0P P L 0 . 1 0 7P P U 1 . 2 1 2P p k 0 . 1 0 7C p m *O v e r a l lW i t h i nO v e r a l l3 0 . 2 52 7 . 2 52 4 . 2 52 1 . 2 51 8 . 2 51 5 . 2 51 2 . 2 52 0 01 5 01 0 05 00L S L U S LC p 2 . 5 3 6C P L 2 . 9 7 0C P U 2 . 1 0 1C p k 2 . 1 0 1W i t h i nP p 2 . 5 3 6P P L 2 . 9 7 1P P U 2 . 1 0 2P p k 2 . 1 0 2C p m *O v e r a l lW i t h i nO v e r a l lC a p a b i l i t y H i s t o g r a m s o f D a t a b y 狀 態(tài)狀 態(tài) = 改 善 前狀 態(tài) = 改 善 後製程能力分析 答 54 製程能力分析 今製程工程師欲改善內(nèi)層蝕刻線的線寬品質(zhì),於是調(diào)整線速及噴嘴壓力,試根據(jù)改善前後的數(shù)據(jù)來(lái)分析其製程能力是否已經(jīng)有改善? (一片量測(cè)五個(gè)點(diǎn) ) (file:多 ) 。 4 製程能力分析 ? 我們一般將產(chǎn)品品質(zhì)特性之 6倍標(biāo)準(zhǔn)差範(fàn)圍 (μ?3?) 當(dāng)作是製程能力之量測(cè) 。這些工作稱為製程能力分析 (Process capability analysis)。 規(guī)格為 4? 19 製程能力分析 Minitab 操作 常態(tài)分佈 答 20 製程能力分析 Minitab 操作 常態(tài)分佈 答 21 製程能力分析 Minitab 操作 常態(tài)分佈 答 T H KPercent5 . 55 . 04 . 54 . 03 . 59 99 59 08 07 06 05 04 03 02 01 051M e a n 4 .3 2 7S t D e v 0 .3 1 8 6N 3 0A D 0 .1 8 8P V a l u e 0 .8 9 4P r o b a b i l i t y P l o t o f T H KN o r m a l 9 5 % C IP value = 22 製程能力分析 Minitab 操作 Cpk 答 23 製程能力分析 Minitab 操作 Cpk 答 24 製程能力分析 Minitab 操作 Cpk 答 25 製程能力分析 Minitab 操作 Cpk 答 5 . 04 . 84 . 64 . 44 . 24 . 03 . 83 . 6L S L U S LL S L 3 . 6T a r g e t *U S L 4 . 4S a m p l e M e a n 4 . 3 2 7 4 1S a m p l e N 3 0S t D e v ( W i t h i n ) 0 . 3 1 0 6 2 8S t D e v ( O v e r a l l ) 0 . 3 2 1 3 7 6P r o c e s s D a t aC p 0 . 4 3C P L 0 . 7 8C P U 0 . 0 8C p k 0 . 0 8P p 0 . 4 1P P L 0 . 7 5P P U 0 . 0 8P p k 0 . 0 8C p m *O v e r a l l C a p a b i l i t yP o t e n t i a l ( W i t h i n ) C a p a b i l i t yP P M L S L 0 . 0 0P P M U S L 4 3 3 3 3 3 . 3 3P P M T o t a l 4 3 3 3 3 3 . 3 3O b s e r v e d P e r f o r m a n c eP P M L S L 9 5 9 7 . 5 1P P M U S L 4 0 7 6 0 7 . 5 6P P M T o t a l 4 1 7 2 0 5 . 0 7E x p . W i t h i n P e r f o r m a n c eP P M L S L 1 1 8 0 5 . 1 8P P M U S L 4 1 0 6 4 4 . 2 0P P M T o t a l 4 2 2 4 4 9 . 3 8E x p . O v e r a l l P e r f o r m a n c eW i t h i nO v e r a l lP r o c e s s C a p a b i l i t y o f T H KCpk : 其良率為 142% = 58 % 26 製程能力分析 非常態(tài)分配 若數(shù)據(jù)不是常態(tài)分配則如何計(jì)算 Cpk ? 例 : 今現(xiàn)場(chǎng)技術(shù)員收集每天從化驗(yàn)室量得到測(cè)微蝕槽銅離子含量分析數(shù)據(jù),試計(jì)算其製程能力 : 銅離子規(guī)格為 100ml/L(file : 非常態(tài) ) 27 製程能力分析 非常態(tài)分配 銅 離 子Percent1 0 07 55 02 50 2 5 5 09 99 59 08 07 06 05 04 03 02 01 051M e a n 6 .2 4 3S t D e v 1 7 .7 4N 2 5A D 5 .9 9 6P V a l u e 0 .0 0 5P r o b a b i l i t y P l o t o f 銅 離 子N o r m a l 9 5 % C IP value = 表示不屬於常態(tài)分配 28 製程能力分析 非常態(tài)分配 29 製程能力分析 非常態(tài)分配 30 製程能力分析 非常態(tài)分配 31 製程能力分析 非常態(tài)分配 420 2 4U S L *t r a n s f o r m e d d a t aU S L * 4 . 6 0 5 1 7S a m p l e M e a n * 0 . 0 5 2 0 4 8 1S t D e v ( W i t h i n ) * 1 .