【正文】 物質(zhì)是否超標(biāo) 委托處理 分類收集 委托有資質(zhì)單位處置 液體包裝桶 固體木料、袋 分類存放 逐漸加入廢水處理 原料企業(yè)回收復(fù)用 生活垃圾 廢物（回收站）利用 環(huán)衛(wèi)部門處理 N Y 國家環(huán)境保護(hù)總局南京環(huán)境科學(xué)研究所 21 （ 4）噪聲 本擴(kuò)建項(xiàng)目主要噪聲源空壓機(jī)等都安置在室內(nèi)進(jìn)行隔聲降噪，空調(diào)排風(fēng)風(fēng)機(jī)均加裝消聲器，噪聲對(duì)廠界的影響貢獻(xiàn)很小，且本項(xiàng)目位于工業(yè)區(qū)，周圍無居民點(diǎn)，無擾民噪聲源，不需強(qiáng)制安裝環(huán)境保護(hù)圖形標(biāo)志牌。為確保廢水的收集和處理正常運(yùn)行，在車間設(shè)有中央控制室和自控設(shè)備，對(duì)整個(gè)廢水的輸送和處理進(jìn)行自動(dòng)控制，在廢水接管排口和清下水排口設(shè)置在線流量計(jì)和 COD 監(jiān)測儀，以確保廢水歸類處理和達(dá)標(biāo)排放。目前本項(xiàng)目附近無居民點(diǎn)，可以滿足衛(wèi)生防護(hù)距離的要求。 根據(jù)噪聲預(yù)測結(jié)果分析， 項(xiàng)目建成后，各測點(diǎn)在晝間均能達(dá)標(biāo)排放，夜間除1和 4超標(biāo)外，其他均能達(dá)標(biāo)。 評(píng)價(jià)結(jié)果表明，本項(xiàng)目建設(shè)投產(chǎn)后，廢氣凈化裝置正常運(yùn)行時(shí)，排放的大氣污染物對(duì)周圍環(huán)境影響很小，不會(huì)造成周圍區(qū)域的空氣環(huán)境質(zhì)量下降。 對(duì)各 主要保護(hù)目標(biāo)典型日均濃度和年均濃度貢獻(xiàn)值很小。 地下水、 土壤和底泥均達(dá)到相應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境質(zhì)量良好。當(dāng)?shù)卮髿猸h(huán)境質(zhì)量良好 ,符合功能區(qū)劃二類區(qū)要求。根據(jù)臺(tái)灣統(tǒng)計(jì)的數(shù)字，用每噸用水量可創(chuàng)造的年產(chǎn)值來衡量，電子半導(dǎo)體晶圓廠是鋼鐵廠的 倍、 石化廠的 倍、果糖漿廠的 22 倍。故本次清潔生產(chǎn)對(duì)比，選用韓國利川本社的同種產(chǎn)品、同種工藝、產(chǎn)量相當(dāng)?shù)纳a(chǎn)線的數(shù)據(jù)進(jìn)行對(duì)比，表中列出韓國利川本社 12 英寸生產(chǎn)線物料消耗和能源消耗指標(biāo) 。 進(jìn)口自用生產(chǎn)性原材料符合國家海關(guān)總署的稅收優(yōu)惠政策。 原輔材料的選用和嚴(yán)格管理。 原材料和產(chǎn)品的先進(jìn)性分析 PFC 氣體的改進(jìn)。 集成電路生產(chǎn)過程中用到大量的氣體，除一些有毒的化學(xué)氣體外還包括壓縮空氣、氮?dú)?、氦氣、氧氣等，每類系統(tǒng)都 有著獨(dú)立的供應(yīng)系統(tǒng)，以保證穩(wěn)定和連續(xù)地供應(yīng)生產(chǎn)需要的高質(zhì)量氣體。 電機(jī)變頻驅(qū)動(dòng)。 使用清潔工藝。本項(xiàng)目 12 英寸 微米集成電路，屬于 外商投資高新技術(shù)產(chǎn)品 。 國務(wù)院國發(fā) [2020]18 號(hào) 文《鼓勵(lì)軟件產(chǎn)業(yè)和集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的若干政策》第四十條“鼓勵(lì)境內(nèi)外企業(yè)在中國境內(nèi)設(shè)立合資和獨(dú)資的集成電路生產(chǎn)企業(yè)??”以及第四十二條“符合下列條件之一的集成電路生產(chǎn)企業(yè)，按鼓勵(lì)外商對(duì)能源、交通投資的稅收優(yōu)惠政策執(zhí)行。 發(fā)改委 2020 年第 26 號(hào)公告《當(dāng)前優(yōu)先發(fā)展的高技術(shù)產(chǎn)業(yè)化重點(diǎn)領(lǐng)域指南（ 2020 年度）》中第 17 條指出 “集成電路產(chǎn)業(yè)包括設(shè)計(jì)、制造、封裝和測試等環(huán)節(jié)。建設(shè)新一代高速寬帶信息網(wǎng)絡(luò)、深亞微米（ 微米以上）集成電路、數(shù)字高清晰度電視（ HDTV）系統(tǒng)??高技術(shù)高附加值船舶設(shè)計(jì)制造工程等一批重大工程。 工業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整規(guī)劃綱要指出了我國在高技術(shù)的關(guān)鍵和核心領(lǐng)域，國有資本 國家環(huán)境保護(hù)總局南京環(huán)境科學(xué)研究所 13 要發(fā)揮帶動(dòng)作用。同時(shí)開發(fā)區(qū)內(nèi)可提供 H O N2等多種氣體，并根據(jù)用戶需要提供工業(yè)用液化氣。 供氣 國家環(huán)境保護(hù)總局南京環(huán)境科學(xué)研究所 12 目前新區(qū)工業(yè)主要采用人工煤氣，民用為管道液化氣。 港口交通 開發(fā)區(qū)建有運(yùn)河港池碼頭，能停泊 220250 噸的貨船，通過長江可達(dá)全國各主要港口及聯(lián)通海外。新城污水處理廠于 2020 年 10月開始建設(shè)，規(guī)劃接納處理新區(qū)內(nèi)工業(yè)廢水、生活污水，一期 5 萬噸 /日，目前已建成投入運(yùn)行。 海力士 意法 半導(dǎo)體有限 公司 現(xiàn)已建成投入試生產(chǎn)，排水量達(dá)到 8000 噸 /日左右，給新區(qū)新城污水處理廠造成了較大的壓力，為確保 海力士 意法 半導(dǎo)體有限 公司 二期擴(kuò)建工程的廢水得到妥善處 理，無錫新區(qū)規(guī)劃在 海力士 意法 半導(dǎo)體有限 公司 以東，即 312國道東側(cè)與 海力士 意法 半導(dǎo)體有限 公司 平行的地塊，建設(shè)無錫新區(qū)中水 回用示范工程 ，總規(guī)模為 30000 噸 /日，一期規(guī)劃 15000 噸 /日，規(guī)劃于 2020 年 6 月建成投入運(yùn)行。 2020 年，海力士－意法半導(dǎo)體有限公司在無錫新區(qū)出口加工區(qū)落戶，此項(xiàng)目對(duì)推動(dòng)中國微電子產(chǎn)業(yè)的發(fā)展具有深遠(yuǎn)影響，無錫在國內(nèi) IC 產(chǎn)業(yè)高地的地位更加凸現(xiàn)。在 312 國道敷設(shè)有 d800～ d1000 污水主干管、高浪路敷設(shè)有 d800～ d1200 污水主干管、長江南路、新梅路敷設(shè) d800。 梅村污水處理廠位于雪梅東路東、伯瀆港南，一期處理規(guī)模為 3 萬 m3/d，用于處理梅村工業(yè)園及鎮(zhèn)區(qū)污水。 污水處理廠概況 國家環(huán)境保護(hù)總局南京環(huán)境科學(xué)研究所 10 無錫新區(qū)經(jīng)過十多年的開發(fā) 建設(shè)，市政設(shè)施較完善，建成雨水、污水分流體制和市政污水處理廠。C ，供汽半徑約 10 公里。 2020 年，協(xié)聯(lián)熱電有限公司全年供汽量為 52 萬噸，新區(qū)為主要熱負(fù)荷。新區(qū)供電采用雙回路供電，可根據(jù)用戶需要分別提供 110KV、 35KV、 10KV、 不同等級(jí)的電壓。其 中新、老中橋水廠現(xiàn)狀供水能力 萬 m3/d，主干管沿太湖大道敷設(shè) DN1000、沿長江北路敷設(shè) DN800 主干管；貢湖水廠取水頭部設(shè)計(jì)規(guī)模為 100 萬 m3/d、凈水廠設(shè)計(jì)規(guī)模 國家環(huán)境保護(hù)總局南京環(huán)境科學(xué)研究所 9 為 50 萬 m3/d，現(xiàn)已完成 50 萬 m3/d 取水頭部工程以及相配套的渾水管輸水管工程， 25 萬 m3/d 凈水廠工程；貢湖水廠主干管沿高浪路敷設(shè) DN2200 至 312 國道，沿 312 國道敷設(shè) DN1800、 DN1400 主干管， DN1400 主干管沿新錫路、高田東路敷設(shè)至錫山片區(qū)。 國家環(huán)境保護(hù)總局南京環(huán)境科學(xué)研究所 6 激光打標(biāo) 柵控制膜生長 介質(zhì)膜生長 預(yù)對(duì)準(zhǔn)圖形成形 離子注入薄氧化層 浮柵薄膜生長 隧道 氧化層生長 對(duì)準(zhǔn)圖形成形 高壓區(qū)成形 胞區(qū)隔離 Vt 注入 三井成形（ N 型、 P 型井） 低壓區(qū)成形 平面化工藝 周邊隔離 源漏型區(qū)域成形 柵選擇性氧化層生長 刻蝕 接下一頁 廢氣：酸性廢氣、堿性廢氣、有機(jī)廢氣等 廢水：含 F 廢水、酸堿廢水、含四甲基氫氧化銨等 TCA、 N OH光刻膠、顯影液、純水等 廢氣：含 F、酸性、堿性、有機(jī)廢氣等。 固廢處理 所有廢物分類收集后，委托有資質(zhì)單位回收或處置。 供氣 本次需增加供氣量 154 Nm3/min，依托一 期。 公用 工程 給、排水 ①給水：凈水 廠依托一期，本期新建 10000m3的集水池一座。本項(xiàng)目生產(chǎn)過程中不使用蒸汽，加熱全部采用電加熱。 國家環(huán)境保護(hù)總局南京環(huán)境科學(xué)研究所 1 目 錄 建設(shè)項(xiàng)目基本概況 ...................................................................................................... 2 主要環(huán)境保護(hù)目標(biāo) ...................................................................................................... 2 主要原輔材料能源消耗 ............................................................................................... 2 主要生產(chǎn)工藝及設(shè)備 ................................................................................................... 5 選址所在地區(qū)域規(guī)劃概況 ............................................................................................ 8 產(chǎn)業(yè)政策相符性分析、清潔生產(chǎn)指標(biāo)水平分析 .......................................................... 12 環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀與影響預(yù)測結(jié)果 ................................................................................... 17 污染防治措施分析 .................................................................................................... 19 環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)評(píng)價(jià)結(jié)論及風(fēng)險(xiǎn)防治措施 ............................................................................ 21 污染物總量控制及公眾參與結(jié)果 .............................................................................. 22 1總結(jié)論 .................................................................................................................... 25 國家環(huán)境保護(hù)總局南京環(huán)境科學(xué)研究所 2 建設(shè)項(xiàng)目基本概況 建設(shè)項(xiàng)目名稱： 海力士－意法半導(dǎo)體有限公司 月產(chǎn) 40k 片 12 英寸超大規(guī)模集成電路制造項(xiàng)目 建設(shè)單位： 海力士－意法半導(dǎo)體有限公司 項(xiàng)目性質(zhì)：擴(kuò)建 建設(shè)地點(diǎn)：江蘇省無錫高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)的出口 加工區(qū)（地塊 K7）