半導(dǎo)體制造工藝第2版(文件)
【正文】 臟物，一定要很好地清洗；? 清洗可用 10~20% NaOH或 KOH溶液煮幾次，或用 10~20% NaOH溶液電解。 打開蒸發(fā)開關(guān)，將鎢絲通電加熱，并逐步加大電壓。 待襯底溫度降低到 150℃ 左右，關(guān)閉高真空、預(yù)真空閥門及擴散泵加熱開關(guān)；學(xué)習(xí)情景三常州信息職業(yè)技術(shù)學(xué)院216。 如果 鋁 太薄，在 鍵 合工序中容易開 焊 ，造成半 導(dǎo) 體器件或集成 電 路斷路， 嚴(yán) 重影響成品率；216。 實際中，源距大于 7cm，硅片加熱溫度為180~220℃ 。 適合于淀積合金，而且具有保持復(fù)雜合金成分的能力；216。 CVD淀積銅216。 ECP是工業(yè)上傳統(tǒng)的鍍膜工藝之一，電鍍工藝存在 較大污染 和 難以控制 的工藝過程，在半導(dǎo)體工藝中一直未得到采用；216。 無需真空支持216。 二月 21二月 21Monday, February 01, 2023? 雨中黃葉樹，燈下白頭人。 二月 21二月 2104:50:0604:50:06February 01, 2023? 1他鄉(xiāng)生白發(fā)，舊國見青山。 2023/2/1 4:50:0604:50:0601 February 2023? 1做前，能夠環(huán)視四周；做時，你只能或者最好沿著以腳為起點的射線向前。 二月 2104:50:0604:50Feb2101Feb21? 1世間成事，不求其絕對圓滿，留一份不足，可得無限完美。 。 二月 21二月 21Monday, February 01, 2023? 閱讀一切好書如同和過去最杰出的人談話。勝人者有力，自勝者強。 2023/2/1 4:50:0604:50:0601 February 2023? 1一個人即使已登上頂峰，也仍要自強不息。 01 二月 20234:50:06 上午 04:50:06二月 21? 1最具挑戰(zhàn)性的挑戰(zhàn)莫過于提升自我。 二月 2104:50:0604:50Feb2101Feb21? 1越是無能的人，越喜歡挑剔別人的錯兒。 2023/2/1 4:50:0604:50:0601 February 2023? 1空山新雨后，天氣晚來秋。 二月 21二月 2104:50:0604:50:06February 01, 2023? 1意志堅強的人能把世界放在手中像泥塊一樣任意揉捏。 二月 21二月 21Monday, February 01, 2023? 很多事情努力了未必有結(jié)果，但是不努力卻什么改變也沒有。 。 二月 2104:50:0604:50Feb2101Feb21? 1故人江海別，幾度隔山川。學(xué)習(xí)情景三常州信息職業(yè)技術(shù)學(xué)院解決措施：? 添加劑法? 加入添加劑是改善高深寬比溝槽的填充性能非常關(guān)鍵的因素；添加劑類型：? 加速劑? 抑制劑? 平坦劑學(xué)習(xí)情景三常州信息職業(yè)技術(shù)學(xué)院原理及步驟：? 添加劑吸附到銅種子層表面，溝槽內(nèi)首先進行均勻性填充；? 當(dāng)加速劑 A達到臨界濃度時，電鍍開始從均勻性填充變成由底部向上填充；? 抑制劑 S大量吸附在溝槽開口處，在和氯離子的共同作用下，通過擴散 淀積的陰極表面形成一層連續(xù)抑制電流的單層膜，通過阻礙銅離子擴散來抑制銅的繼續(xù)沉積；學(xué)習(xí)情景三常州信息職業(yè)技術(shù)學(xué)院雙大馬士革工藝216。 成本低216。 Cu淀積，需要在制備銅互連之前， CVD一層薄 Cu種子層；252。 形成的薄膜與硅片的黏附性比蒸發(fā)工藝好；216。蒸發(fā)源加熱時，溫度較高不可避免的造成鎢 鋁金屬和雜質(zhì)的相互擴散，使鎢絲中的 Na+進入蒸發(fā)源中，并伴隨鋁一起蒸發(fā)到硅片表面。腐 蝕時間 一 長 ，容易造成脫膠， 鉆蝕現(xiàn) 象；學(xué)習(xí)情景三常州信息職業(yè)技術(shù)學(xué)院216。一般鋁層為 1~2181。 當(dāng)熔融的鋁層表面的雜質(zhì)揮發(fā)以后，迅速打開擋板，使純凈的鋁淀積到硅片上數(shù)秒鐘后關(guān)閉擋板，開始蒸發(fā)；216。打開電源開關(guān)和機械泵開關(guān)及真空室放氣閥門，開啟鐘罩；? 將處理好的鋁絲
教學(xué)課件相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號-1