先進(jìn)制造技術(shù)顧明成(文件)
【正文】 是成形速度較慢，由于粉末鋪層密度低會(huì)導(dǎo)致精度較低和強(qiáng)度較低。 FDM工藝原理圖 RPM技術(shù)的應(yīng)用 RPM的應(yīng)用 快速模具制造工藝方法 第六節(jié) 微細(xì)加工技術(shù) 微機(jī)械及其特征 微細(xì)加工工藝方法 微細(xì)加工技術(shù)的發(fā)展與趨勢(shì) ? 微小機(jī)械 110mm； 微機(jī)械 1μm 1mm； 納米機(jī)械 1nm1μm 。 ? 消耗的能量遠(yuǎn)小于傳統(tǒng)機(jī)械 如 5*5*比其體積大得多的小型泵流量的 1000倍 。 光刻加工工藝示例 體刻蝕加工技術(shù) ? 體微機(jī)械加工 ：用腐蝕方法將硅基片有選擇性地去除部分材料的方法。 在光致抗蝕劑上生成 曝光圖形實(shí)體 ； 用曝光蝕刻的圖形實(shí)體作電鑄用胎膜，在胎膜上沉積金屬形成金屬微結(jié)構(gòu)件； 用 金屬微結(jié)構(gòu)件作為注塑模具注塑出所需的微型零件。 淀積密封膜 ：是用化學(xué)氣相淀積法在構(gòu)件和襯底之間淀積密封膜。 美國(guó)的 IBM公司用 STM操縱 35個(gè)氙原子 ，在鎳板上拼出了 “ IBM”三個(gè)字母； 日本用原子拼成了 “ Peace”一詞 中國(guó)科學(xué)院化學(xué)研究所用原子擺成 中國(guó)地圖 ； ? 加工方法多樣化 兩個(gè)領(lǐng)域：微機(jī)械加工、半導(dǎo)體化學(xué)加工； 從單一加工技術(shù)向組合加工技術(shù)發(fā)展。 微細(xì)加工技術(shù)的發(fā)展與趨勢(shì) 。 ? 提高微細(xì)加工的經(jīng)濟(jì)性 LIGA出現(xiàn)是微機(jī)械進(jìn)行批量生產(chǎn)的范例。 分子裝配技術(shù) 掃描隧道顯微鏡 ST
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