【正文】 0kwh，用于三氯氧磷生產(chǎn)及污水處理車(chē)間，生活及照明用電，屆時(shí)選用一臺(tái) SI250KVA節(jié)能型變壓器即可滿足工藝要求。 （ 3）燒堿、石灰等均購(gòu)淮安當(dāng)?shù)厣a(chǎn)廠，采用公路運(yùn)輸。 l J x1 X! [ amp。此工藝成熟安全、產(chǎn)率高且不污染環(huán)境，主要包括合成、回流、蒸餾、精餾、過(guò)濾等操作單元。 14 第四章 工藝技術(shù)方案 工藝技術(shù)路線 電子級(jí)三氯氧磷工藝技術(shù)路線 三氯化磷是合成三氯氧磷的過(guò)程品。 ②原材料可以是黃磷，也可以是紅磷。 漣水縣永源 化工有限公司工藝流程： 產(chǎn)品可以達(dá)到 6N、 7N 級(jí) 5N 黃磷 高 純 Cl3 合成 蒸餾餾 合成 POCl3 精餾 精餾 精餾 精餾 % POCl3（ 在千級(jí)超凈環(huán)境下 ） % POCl3（ 在 百 級(jí)超凈環(huán)境下 ） 工業(yè)級(jí) POCl3 精餾 在通風(fēng)廚里包裝，包裝瓶用 H2 焰或乙炔封口 精餾 13 對(duì)行業(yè)技術(shù)進(jìn)步的重要意義和作用 掌握核心技術(shù)，打破國(guó)外產(chǎn)品對(duì)我國(guó)的市場(chǎng)壟斷 公司經(jīng)過(guò)多年的研究、開(kāi)發(fā)．已掌握了高純黃磷、電子級(jí)紅磷、電子級(jí)三氯氧磷的核心技術(shù)。 電子級(jí)三氯氧磷經(jīng)科技部西南信息中心 進(jìn)一步確認(rèn) ，結(jié)論為“國(guó)內(nèi)來(lái)見(jiàn)生產(chǎn)電子級(jí)三氯氧磷 (單項(xiàng)雜質(zhì)不大子 9PPB)的文獻(xiàn)報(bào)道，也未見(jiàn)采用本工藝生產(chǎn)三氧氧磷的報(bào) 道，故本項(xiàng)目具有新穎性”。 競(jìng)爭(zhēng)能力預(yù)測(cè) 公司已掌握了生產(chǎn)電子級(jí)三氯氧磷產(chǎn)品的核心技術(shù) ， 投入生 產(chǎn) 可以替代進(jìn)口，填補(bǔ)國(guó)內(nèi)生產(chǎn)電子級(jí)三氯氧磷產(chǎn)品的空白。另外還有 日 本的關(guān)東株式會(huì)社、住友合成、德川、三菱，我國(guó)臺(tái)灣地區(qū)的長(zhǎng)春、中華、長(zhǎng)新化學(xué)，韓國(guó)的 DONOWOOFINECHEM、DONGJIN SEMICHEM、 SAMYOUNG FINECHEM 等公司。產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)處于國(guó)內(nèi)先進(jìn)地位。 （ 2）充分利用新招聘的技術(shù)人員、管理人員及管理經(jīng)驗(yàn)。 (3)將塔板精餾器運(yùn)用到三氯化磷的精餾中，可以將雜質(zhì)元素從幾十個(gè) ppb 降到幾個(gè)甚至零點(diǎn)幾個(gè) ppb。產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)處于國(guó)內(nèi)先進(jìn)地位。提升我 國(guó) 在該領(lǐng)域的技術(shù)水平，打破國(guó)內(nèi)外產(chǎn)品的壟斷。 目前國(guó)際上從事工藝化學(xué)品研發(fā)及生產(chǎn)的 主要有德國(guó)的 及 MerckKanfo 公司（占全球市場(chǎng)份額的 %）；美國(guó)的 Ashlana 公司（占全球市場(chǎng)份額的%）， Arch 公司 (占全球市場(chǎng)份額的 %)， aliinckradt Baker 公司 (占全球市場(chǎng)份額的 %)；日本的 Wako(占 全球市場(chǎng)份額的 lO． 1%）， Sumitomo（占全球市場(chǎng)份額的 %）。帶動(dòng)磷化工新產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)，形成產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展，為開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)其他起大規(guī)模集成電路輔助材料奠定基礎(chǔ)，同時(shí)推動(dòng)地方經(jīng)濟(jì)發(fā)展，增加就業(yè)機(jī)會(huì)。其中，超高純材料和超高純?cè)噭┑陌l(fā)展更為滯后，目前基本依靠進(jìn)口，主要進(jìn)口商為日本、美國(guó)和德國(guó)的企業(yè)。近年來(lái)，由于我國(guó)國(guó)民經(jīng)濟(jì)持續(xù)、健康發(fā)展 ， 尤其是電子信息產(chǎn)品的巨大需求，吸引了世界上一些著名 IC 企 業(yè) 和太陽(yáng)能電池生產(chǎn)廠商對(duì)中國(guó)大陸的投資。該公司自立項(xiàng)以來(lái)一直得到 漣水縣 政府、 江蘇漣水經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)薛行工業(yè)園 區(qū)管委會(huì)的大力支持和協(xié)助。 （ 4）優(yōu)化設(shè)計(jì) 方案，提高企業(yè)經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益。 （ 2） 《化工建設(shè)項(xiàng)目可行性研究報(bào)告內(nèi)容和深度的規(guī)定》 （修訂本）。 71 附件： 漣水縣永源化工有限公司選址地理位置示意圖 63 第十五章 財(cái)務(wù)、經(jīng)濟(jì) 效益及社會(huì)效益評(píng)價(jià) 58 第十三章 投資估算與資金籌措 48 第十一章 企業(yè)組織與勞動(dòng)定員 40 第十章 勞動(dòng)保護(hù)與安全衛(wèi)生 30 第八章 安全對(duì)策措施 17 第六章 建設(shè)項(xiàng)目危險(xiǎn)有害因素分析 10 第四章 工藝技術(shù)方案 鑒于經(jīng)驗(yàn)和水平，本項(xiàng)目可行性研究報(bào)告書(shū)中難免有 不足之處，敬請(qǐng)批評(píng)指正。 1 漣水縣永源化工公司 120t/a 高純?nèi)妊趿坠こ? 可 行 性 研 究 報(bào) 告 2 3 前 言 為貫徹落實(shí)“安全第一，預(yù)防為主、綜合治理”的安全生產(chǎn)方針，落實(shí)國(guó)家安全生產(chǎn)監(jiān)督管理總局、省政府、省安監(jiān)局等有關(guān)建設(shè)項(xiàng)目 (工程 )“三同時(shí)”相關(guān)規(guī)定。 4 目 錄 第一章 總論 4 第二章 市場(chǎng)需求預(yù)測(cè)和擬建規(guī)模 64 第十六章 社會(huì)評(píng)價(jià) 編制原則 （ 1）項(xiàng)目技術(shù)和設(shè)備立足國(guó)內(nèi)。 （ 5）貫徹工廠布置一體化，生產(chǎn)裝置露天化，建構(gòu)筑物輕型化，設(shè)備技術(shù)國(guó)產(chǎn)化的原則。該公司各項(xiàng)工作進(jìn)展順利。目前我國(guó)已初步形成以北京為基點(diǎn)的 北 方微電子產(chǎn)業(yè)門(mén)戶基地和以上海為基點(diǎn)的華東微電子產(chǎn)業(yè) 門(mén) 戶基地。 本項(xiàng)目是一個(gè)技術(shù)先進(jìn)、生產(chǎn)工藝成熟、經(jīng)濟(jì)上可行，具有較高抗風(fēng)險(xiǎn)能力的高新技術(shù)項(xiàng)目，項(xiàng)目符合國(guó)家產(chǎn)業(yè)政策，具有廣 闊 的發(fā)展空間。因此，把該項(xiàng)目作為高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)化示范工程是十分必要的 。另外還有 日 本的關(guān)東株式會(huì)社、住友合成、德川、三菱，我國(guó)臺(tái)灣地區(qū)的長(zhǎng)春、中華、長(zhǎng)新化學(xué)，韓國(guó)的 DONOWOOFINECHEM、DONGJIN SEMICHEM、 SAMYOUNG FINECHEM 等公司。 項(xiàng)目的主要內(nèi)容、創(chuàng)新點(diǎn) 項(xiàng)目的主要內(nèi)容是電子級(jí)三氯氧磷 (6N、 7N)在貴州實(shí)驗(yàn)室取得成功的基礎(chǔ)上進(jìn)行電子級(jí)三氯氧磷 (6N、 7N)的試產(chǎn)，以及對(duì)電子級(jí)三氯氧磷的包裝、安全運(yùn)輸?shù)冗M(jìn)行研究，并推動(dòng)其它高附加值磷化產(chǎn)品（電子級(jí)磷酸、亞磷酸三甲酯等）的系列化開(kāi)發(fā)，創(chuàng)造出其有國(guó)內(nèi)先進(jìn)水平的技術(shù)或產(chǎn)品。 項(xiàng)目技術(shù)的創(chuàng)新點(diǎn)在于從原材料開(kāi)始嚴(yán)格控制各道工序的提純及防止 8 雜質(zhì)元素的二次污染，能有效的保證產(chǎn)品的質(zhì)量，產(chǎn)品質(zhì)量達(dá)到國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)。 (4)原材料利用率高、過(guò)程的廢氣、廢水容易處理。 （ 3）通過(guò)技術(shù)及財(cái)務(wù)評(píng)價(jià)看出，該項(xiàng)目可為 高新技術(shù) 企業(yè)、 產(chǎn)品附加值高 ， 可以為 國(guó)家創(chuàng)造較好的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益。目前 ， 中小規(guī)模（ 5 u m L 上技術(shù)）、分立器 {阜生產(chǎn)廠家及晶體硅太陽(yáng)能電 池 、光纖制造廠家對(duì)于6N 級(jí)三氯氧磷的需求總量將達(dá)到 100 噸／年 以上 ；大規(guī)模集成電路（ 4 英寸晶圓 2～ 3um， 0 8— um技 書(shū)術(shù) ）及超大規(guī)模集成電路（ 6 和 8英寸晶圓， ～ ， ， ， 技術(shù)）、極大規(guī)模集成電路（ 12 英寸晶圓， ～ 技術(shù)）生產(chǎn)線及廠家按月生產(chǎn)l 萬(wàn)片硅片生產(chǎn)線平均需三氯氧磷 5 千克／月的用量計(jì)算，年需 7N（相當(dāng)于 BVⅣ級(jí)）大約在 170 噸／年的規(guī)模，并呈每年 20%以上增長(zhǎng)的態(tài)勢(shì)；三氯氧磷 國(guó) 內(nèi)外需求量 ：國(guó)內(nèi) 300 噸 /年，國(guó)際 200噸 /年。在技術(shù)方面，美國(guó)、德國(guó)、日本、韓國(guó)及我國(guó)的臺(tái)灣地區(qū)目前已經(jīng)在規(guī)模生產(chǎn) u m 技術(shù)用的工藝化學(xué)品， — 0. 2u m 技術(shù)用工藝化學(xué)品也已經(jīng)完成了實(shí)驗(yàn)室 工 藝 10 研究并 開(kāi)始規(guī)模生產(chǎn)。提升我 國(guó) 在該領(lǐng)域的技術(shù)水平，打破國(guó)內(nèi)外產(chǎn)品的壟斷。 工藝特點(diǎn)及與現(xiàn)有工藝比較所具有的優(yōu)勢(shì) （ 1）電子級(jí)三氯氧磷創(chuàng)新點(diǎn)論述 本項(xiàng)目創(chuàng)新點(diǎn)在于從原材料（ 5N 黃磷或 5N 紅磷）開(kāi)始嚴(yán)格控制各道工序的提純及防止雜質(zhì)元素的進(jìn)入，能有效的保證產(chǎn)品的質(zhì)量，產(chǎn)品質(zhì)量達(dá)到國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)。目前，在我國(guó)微電子行業(yè)使用的電子級(jí)紅磷和三氯氧磷，幾乎全部是美國(guó)、日本、德國(guó)等國(guó)家的產(chǎn)品。但其純度必須為 % ③三氯氧磷的精餾在石英塔板精餾器中進(jìn)行，其設(shè)備便于保持蒸餾過(guò)程的干凈及使用后便于清洗。三氯化磷的生產(chǎn)必須以 5N 級(jí)的黃磷或紅磷為原料與經(jīng)過(guò)處理的高純氯氣反應(yīng)，主要包括 氯 氣 、黃磷 的生產(chǎn)、提純、分離、蒸餾等操作單元。得到的產(chǎn)品純度高，穩(wěn) 定性好，達(dá)到國(guó)際SEMI 標(biāo)準(zhǔn)．其單項(xiàng)雜質(zhì)最高含量為 9ppb。 2⑵ 2PCl3 + 2Cl2+ 2H2O → 2APOCl3+4HCl↑ : o, L* u, R。 產(chǎn)品規(guī)格及質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn) 檢測(cè)報(bào)告 一、 樣品名稱：高純?nèi)妊趿? 二、 分子式： POCL3 三、 分子量： 四、 分析儀器： Agilent ICPMS 7500ce 五、 批次： 六、 檢測(cè)指標(biāo)及結(jié)果 （表 3） 分析項(xiàng)目 指標(biāo)（ PPb） 檢測(cè)值（ PPb） 分析項(xiàng)目 指標(biāo)（ PPb） 檢測(cè)值（ PPb） As,max 30 Mg,max 20 Ba,max 20 Mn,max 30 Ca,max 30 Ni,max 20 Co,max 20 Pb,max 10 Cu,max 20 Se,max 5 Cr,max 20 Ti,max 5 Fe,max 40 Zn,max 5 Al,max 40 K,max 30 Ag,max 1 Li,max 10 Au,max 1 Na,max 10 Bi,max 10 Nb,max 2 Ga,max 1 Sn,max 5 Hg,max 10 含量 ,min % 動(dòng)力供應(yīng) 本工程日用水約為 萬(wàn)噸，主要為三氯氧磷生產(chǎn)以及冷卻用水，生 17 活用水等。 本項(xiàng)目?jī)x表設(shè)計(jì)選用新型的 DCS 操作系統(tǒng)，具有記錄、報(bào)警、調(diào)節(jié)等功能，能實(shí)現(xiàn)對(duì)工藝參數(shù)的集中控制管理和監(jiān)控，有利于生產(chǎn) 控制操作，提高勞動(dòng)生產(chǎn)率，增加經(jīng)濟(jì)效益。公共綠地為 平方公里，占總用地的 %。 二 、氣象條件 ——四季分明 漣水地處淮北平原，屬 暖溫帶季風(fēng)氣候區(qū)，氣候宜人，四季分明，光照充足，雨量充沛。常年主導(dǎo)風(fēng)向?yàn)闁|北風(fēng)和東南風(fēng)，平均風(fēng)速 /秒。后期又受黃泛影響，地表普遍覆蓋了一層厚 15 米的沖積相粉砂和亞粘土，構(gòu)成了典型的平原地貌類型。漣城、保灘一帶地勢(shì)最高，一般在黃海高程 14 米左右以上，東北逐漸降低。 水文地質(zhì)：漣水地處沂沭河下游地下水系統(tǒng)工程的南緣，屬沂沭沖積平原孔隙水亞系統(tǒng)。 工程所在地區(qū)的自然條件 ： （荷載規(guī)范中沒(méi)有江蘇漣水縣 n=50 的具體雪、風(fēng)荷載， 由于該縣區(qū)雖然隸屬淮安但距離連云港較近，可以 參照連云港 n=50 的具體雪、風(fēng)荷載） 基 本 風(fēng) 壓 : 基 本 雪 壓 : 常年主導(dǎo)風(fēng)向 : 西北風(fēng) 20 地震烈度 : 6 度 該場(chǎng)地地形較平坦。公司擬在江蘇省漣水縣經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū) 薛行工業(yè)園 區(qū) 征地總面積約 30畝廠區(qū)總占地面積 19980平方米。 ⑵ 項(xiàng)目建設(shè)自有資金有保障。企業(yè)已與國(guó)內(nèi)知名原料廠家簽訂合同，因此本項(xiàng)目原材料供應(yīng)及產(chǎn)品質(zhì)量有保障。項(xiàng)目實(shí)施后年均產(chǎn)值將實(shí)現(xiàn) 9600 萬(wàn)元，平均年利潤(rùn)將實(shí)現(xiàn) ，利稅總額 。 力求流程短捷流暢 ， 避免交叉 。 功能劃分及工廠組成 本工程分為： 三氯氧磷 生產(chǎn)區(qū)、辦公管理區(qū)。 管線綜合：本設(shè)計(jì)除消防、一次水管為埋地敷設(shè)排水為蓋板明溝外，其余外管線均為管架敷設(shè)。 界區(qū)四周沿道路栽種常綠低矮灌木 ， 并結(jié)合當(dāng)?shù)厍闆r選取合適的花草，將可利用空地綠化處理。 本項(xiàng)目 危險(xiǎn)、有害因素的分析與 辯 識(shí)主要從危險(xiǎn)、有害物質(zhì)特性、生產(chǎn)工藝及設(shè)備、輔助工程、公用工程、 自然環(huán)境條件等方面，對(duì) 漣水縣永遠(yuǎn)化工有限公司 在 120 噸 三氯氧磷 生產(chǎn)過(guò)程中可能存在的危險(xiǎn)有害因素及可能產(chǎn)生的后果進(jìn)行分析和 辯 識(shí)。 根據(jù)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》 GB50001620xx，根據(jù) 可知生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)中使用或產(chǎn)生的物質(zhì)及其數(shù)量等因素，可劃分為甲、乙、丙等五 類。 根據(jù)《高毒物品目錄》（衛(wèi)法監(jiān)發(fā) [20xx]142號(hào)）對(duì)該廠使用的主要原料和產(chǎn)品進(jìn)行了辯識(shí)： 液 氯為屬于高毒物品 。 24 根據(jù)《危險(xiǎn)化學(xué)品名錄》 氯氣屬于第 ；黃磷 屬于第 類自燃物品 ；三氯化磷 第 品， 三氯氧磷 屬于 第 類酸性腐蝕 品； 氯化氫第 不然 品 ； 氫氧化鈉第 ；生石灰第 。 表 62 危險(xiǎn)化學(xué)品的分級(jí) 序號(hào) 物質(zhì)名稱 火災(zāi)危險(xiǎn)性分類 HG20660 GB5044 GB50160 爆炸 危害 極度 高度 中度 輕度 1 黃磷 甲 — 高 — Ⅱ — — 2 三氯氧磷 甲 — 高 — Ⅱ — — 3 三氯化磷 甲 — 高 — — Ⅲ — 4 氯氣 助燃 — 高 — Ⅱ — — 5 氯化氫 不燃 — — — — Ⅳ 6 生石灰 不燃 — — — — — — 7 氫氧化鈉 可燃 — — — — — — 生產(chǎn)過(guò)程 及項(xiàng)目建設(shè) 的主要危險(xiǎn)、有害因素分析 三氯氧磷 生產(chǎn)過(guò)程的危險(xiǎn)、有害因素分析 在主產(chǎn)品三氯氧磷 的生產(chǎn)過(guò)程中， 涉及到的化工