【正文】 晶圓 2～ 3um， 0 8— um技 書術(shù) ）及超大規(guī)模集成電路（ 6 和 8英寸晶圓， ～ ， ， ， 技術(shù)）、極大規(guī)模集成電路（ 12 英寸晶圓， ～ 技術(shù)）生產(chǎn)線及廠家按月生產(chǎn)l 萬片硅片生產(chǎn)線平均需三氯氧磷 5 千克／月的用量計(jì)算，年需 7N（相當(dāng)于 BVⅣ級(jí)）大約在 170 噸／年的規(guī)模，并呈每年 20%以上增長(zhǎng)的態(tài)勢(shì)；三氯氧磷 國(guó) 內(nèi)外需求量 ：國(guó)內(nèi) 300 噸 /年，國(guó)際 200噸 /年。 9 第二章 市場(chǎng)需求預(yù)測(cè)和擬建規(guī)模 項(xiàng)目產(chǎn)品市場(chǎng)調(diào)查與競(jìng)爭(zhēng)能力預(yù)測(cè) 項(xiàng)目產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電子產(chǎn)業(yè)、太陽能電池、高 純 化合物半導(dǎo)體等工業(yè)。 （ 3）通過技術(shù)及財(cái)務(wù)評(píng)價(jià)看出，該項(xiàng)目可為 高新技術(shù) 企業(yè)、 產(chǎn)品附加值高 ， 可以為 國(guó)家創(chuàng)造較好的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益。 研究結(jié)論 （ 1）該項(xiàng)目技術(shù)較先進(jìn) ,設(shè)備可立足國(guó)內(nèi)。 (4)原材料利用率高、過程的廢氣、廢水容易處理。 (2)原材料可以是黃磷，也可以是紅磷。 項(xiàng)目技術(shù)的創(chuàng)新點(diǎn)在于從原材料開始嚴(yán)格控制各道工序的提純及防止 8 雜質(zhì)元素的二次污染，能有效的保證產(chǎn)品的質(zhì)量，產(chǎn)品質(zhì)量達(dá)到國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)。項(xiàng)目產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電子產(chǎn)業(yè)、太陽能電池、高純化合物半導(dǎo)體等工業(yè)。 項(xiàng)目的主要內(nèi)容、創(chuàng)新點(diǎn) 項(xiàng)目的主要內(nèi)容是電子級(jí)三氯氧磷 (6N、 7N)在貴州實(shí)驗(yàn)室取得成功的基礎(chǔ)上進(jìn)行電子級(jí)三氯氧磷 (6N、 7N)的試產(chǎn)，以及對(duì)電子級(jí)三氯氧磷的包裝、安全運(yùn)輸?shù)冗M(jìn)行研究，并推動(dòng)其它高附加值磷化產(chǎn)品（電子級(jí)磷酸、亞磷酸三甲酯等）的系列化開發(fā)，創(chuàng)造出其有國(guó)內(nèi)先進(jìn)水平的技術(shù)或產(chǎn)品。 公司已掌握了生產(chǎn)電子級(jí)三氯氧磷產(chǎn)品的核心技術(shù) ， 投入生 產(chǎn) 可以替代進(jìn)口，填補(bǔ)國(guó)內(nèi)生產(chǎn)電子級(jí)三氯氧磷產(chǎn)品的空白。另外還有 日 本的關(guān)東株式會(huì)社、住友合成、德川、三菱，我國(guó)臺(tái)灣地區(qū)的長(zhǎng)春、中華、長(zhǎng)新化學(xué)，韓國(guó)的 DONOWOOFINECHEM、DONGJIN SEMICHEM、 SAMYOUNG FINECHEM 等公司。 (2)通過掌握電子級(jí)三氯氧磷產(chǎn)品生產(chǎn)的核心技術(shù)，有利于打 破 國(guó)內(nèi)外產(chǎn)品的壟斷 ， 電子級(jí)三氯氧磷產(chǎn)品是超大規(guī)模集成電路 (IC)制作過程中的關(guān)鍵性基礎(chǔ)化工材料之一，主要用 于 芯片的 N 型摻雜，它的純度 和 潔凈度對(duì)集成電路的成品率、電性能及可靠性都有著十分重要的影響 。因此，把該項(xiàng)目作為高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)化示范工程是十分必要的 。通適本項(xiàng)目的實(shí)施，將當(dāng)?shù)亓踪Y源優(yōu)勢(shì)轉(zhuǎn)化為經(jīng)濟(jì)優(yōu)勢(shì)，促進(jìn)磷化工科技水平的提高。 本項(xiàng)目是一個(gè)技術(shù)先進(jìn)、生產(chǎn)工藝成熟、經(jīng)濟(jì)上可行，具有較高抗風(fēng)險(xiǎn)能力的高新技術(shù)項(xiàng)目，項(xiàng)目符合國(guó)家產(chǎn)業(yè)政策，具有廣 闊 的發(fā)展空間。由于技術(shù)和政策等原因，我國(guó) IC 和太陽能 電池 行業(yè)的支撐材料業(yè)發(fā)展很緩慢，絕大多數(shù)材料依靠進(jìn)口，同快速發(fā)展的主體制造業(yè)極不配套。目前我國(guó)已初步形成以北京為基點(diǎn)的 北 方微電子產(chǎn)業(yè)門戶基地和以上海為基點(diǎn)的華東微電子產(chǎn)業(yè) 門 戶基地。 以微電子、計(jì)算機(jī)、通訊和網(wǎng)絡(luò)技術(shù)為代表的信息技術(shù)，是現(xiàn) 代科學(xué)進(jìn)步中發(fā)展最快、滲透性最強(qiáng)、應(yīng)用最廣泛的關(guān)鍵技術(shù)．現(xiàn)已成 為 世界各國(guó)科技、經(jīng)濟(jì)、軍事、政治競(jìng)爭(zhēng)的焦點(diǎn)，成為各國(guó)綜合 國(guó) 力較量的一個(gè)重要方面，加快信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展， 早 已成為我國(guó)的一項(xiàng)重要國(guó)策。該公司各項(xiàng)工作進(jìn)展順利。 項(xiàng)目提出的背景、投資必要性和經(jīng)濟(jì)意義 企業(yè)概況 漣水縣永源化工 有限公司是 漣水縣人民政府招商局 招商引資項(xiàng) 目 。 （ 5）貫徹工廠布置一體化，生產(chǎn)裝置露天化，建構(gòu)筑物輕型化，設(shè)備技術(shù)國(guó)產(chǎn)化的原則。 （ 3）主體工程與環(huán)境保護(hù)、安全和工業(yè)衛(wèi)生、消防同時(shí)考慮，以消除工廠生產(chǎn)對(duì)周圍環(huán)境及職工健康的影響。 編制原則 （ 1）項(xiàng)目技術(shù)和設(shè)備立足國(guó)內(nèi)。 72 附件： 2 、太陽能電池的運(yùn)用領(lǐng)域 附件： 新型專利證書 附件： 原瓶圖片及潔凈廠房圖片 附件： 5 第一章 總論 項(xiàng)目名稱及建設(shè)單位 項(xiàng)目名稱 120t/a高純?nèi)妊趿?工程 漣水縣永源 化 工有限公司 法人代表： 吳志勇 項(xiàng)目主管部門 江蘇漣水經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)薛行工業(yè)園 區(qū) 經(jīng) 濟(jì)發(fā)展局 可行性研究編制的依據(jù)和原則 編制依據(jù) （ 1）漣水縣永源化工有限公司提供的設(shè)計(jì)基礎(chǔ)資料。 69 第十八章 結(jié)論 64 第十六章 社會(huì)評(píng)價(jià) 60 第十四章 工程招標(biāo) 57 第十二章 十二章 項(xiàng)目實(shí)施進(jìn)度建議 31 第九章 環(huán)保與消防 22 第七章 項(xiàng)目產(chǎn)業(yè)政策符合性分析 13 第五章 建設(shè)條件與廠址選擇項(xiàng)目概況 8 第三章 產(chǎn)品方案及生產(chǎn)規(guī)模 4 第二章 市場(chǎng)需求預(yù)測(cè)和擬建規(guī)模 4 目 錄 第一章 總論 本報(bào)告共 十 五 章，內(nèi)容包括： 總論 、 市場(chǎng)需求預(yù)測(cè)和擬建規(guī)模 、 產(chǎn)品方案和生產(chǎn)規(guī)模 、 工藝技術(shù)方案 、 建設(shè)條件與廠址選擇項(xiàng)目概況 、 建設(shè)項(xiàng)目危險(xiǎn)有害因素分析、 項(xiàng)目產(chǎn)業(yè)政策符合性分析、 安全對(duì)策措施 、 環(huán)保與消防、勞動(dòng)保護(hù)與安全衛(wèi)生 、 投資估算與資金籌措 、結(jié)論 等 。 1 漣水縣永源化工公司 120t/a 高純?nèi)妊趿坠こ? 可 行 性 研 究 報(bào) 告 2 3 前 言 為貫徹落實(shí)“安全第一，預(yù)防為主、綜合治理”的安全生產(chǎn)方針，落實(shí)國(guó)家安全生產(chǎn)監(jiān)督管理總局、省政府、省安監(jiān)局等有關(guān)建設(shè)項(xiàng)目 (工程 )“三同時(shí)”相關(guān)規(guī)定。在建設(shè)項(xiàng)目設(shè)計(jì)之前，項(xiàng)目組到現(xiàn)場(chǎng)認(rèn)真、仔細(xì)地落實(shí)了設(shè)計(jì)條件，結(jié)合公司所在的江蘇漣水經(jīng)技術(shù)開發(fā)區(qū) 薛行工業(yè)園 區(qū) 的實(shí)際情況，根據(jù)公司提供的設(shè)計(jì)基礎(chǔ)資料和國(guó)際、國(guó)內(nèi)市場(chǎng)調(diào)研等相關(guān)資料 ； 按照《投資項(xiàng)目可行性研究指南》 ，依據(jù)《中華人民共和國(guó)安全生產(chǎn)法》、《危險(xiǎn)化學(xué)品 安全管理?xiàng)l例》、《江蘇省安全生產(chǎn)條例》、《危險(xiǎn)化學(xué)品建設(shè)項(xiàng)目安全許可實(shí)施辦法》（國(guó)家安全生產(chǎn)監(jiān)督管理總局令 【 20xx】 第 8 號(hào)、《建設(shè)項(xiàng)目安全設(shè)施“三同時(shí)”監(jiān)督管理暫行辦法》國(guó)家安監(jiān)總局【 20xx】36 號(hào)、《石油化工設(shè)計(jì)規(guī)范》 GB5010620xx、《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB5001620xx、 《使用有毒物品作業(yè)場(chǎng)所勞動(dòng)保護(hù)條例》 (國(guó)務(wù)院令第 352號(hào) ， 20xx 年 5月 19 日施行 )； 《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄》（國(guó)家發(fā)改委令 第40 號(hào) ， 20xx 年版， 20xx 年 12 月 2日施行）； 《工業(yè)金屬管道設(shè)計(jì)規(guī)范》 、 （流動(dòng)資金估算 表） 、 《 江蘇 省建 筑 工程 消耗量 定額》、《 江蘇 省 裝飾裝修 工程 消耗量 定額》 及費(fèi)用定額，《江蘇 省安裝工程 消耗量 定額 》及 國(guó)家有關(guān)法律、法規(guī)和相關(guān)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)，編制了《 漣水縣永源化工限公司年產(chǎn) 120噸三氯氧磷建設(shè)項(xiàng)目可行性研究報(bào)告》。 鑒于經(jīng)驗(yàn)和水平，本項(xiàng)目可行性研究報(bào)告書中難免有 不足之處，敬請(qǐng)批評(píng)指正。 10 第四章 工藝技術(shù)方案 17 第六章 建設(shè)項(xiàng)目危險(xiǎn)有害因素分析 30 第八章 安全對(duì)策措施 40 第十章 勞動(dòng)保護(hù)與安全衛(wèi)生 48 第十一章 企業(yè)組織與勞動(dòng)定員 58 第十三章 投資估算與資金籌措 63 第十五章 財(cái)務(wù)、經(jīng)濟(jì) 效益及社會(huì)效益評(píng)價(jià) 68 第十七章 風(fēng)險(xiǎn)分析 71 附件： 漣水縣永源化工有限公司選址地理位置示意圖 （ 2） 《化工建設(shè)項(xiàng)目可行性研究報(bào)告內(nèi)容和深度的規(guī)定》 （修訂本）。 （ 2）節(jié)約用地，節(jié)省基建投資，加快建設(shè)進(jìn)度。 （ 4）優(yōu)化設(shè)計(jì) 方案，提高企業(yè)經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益。 （ 6）設(shè)計(jì)中遵守國(guó)家法律、法規(guī)及有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范。該公司自立項(xiàng)以來一直得到 漣水縣 政府、 江蘇漣水經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)薛行工業(yè)園 區(qū)管委會(huì)的大力支持和協(xié)助。 項(xiàng)目提出的背景 6 隨著經(jīng)濟(jì)的迅猛發(fā)展。近年來，由于我國(guó)國(guó)民經(jīng)濟(jì)持續(xù)、健康發(fā)展 ， 尤其是電子信息產(chǎn)品的巨大需求，吸引了世界上一些著名 IC 企 業(yè) 和太陽能電池生產(chǎn)廠商對(duì)中國(guó)大陸的投資。在 IC 和太陽能電池的制造成本 中支 撐材料和輔助材料大約占五成比 例 或更多，高純?nèi)妊趿桩a(chǎn)品是支撐 材料或輔助材料的重要 組 成部份 之一 。其中，超高純材料和超高純?cè)噭┑陌l(fā)展更為滯后，目前基本依靠進(jìn)口，主要進(jìn)口商為日本、美國(guó)和德國(guó)的企業(yè)。本項(xiàng)目的電子級(jí)三氯氧磷是國(guó)內(nèi)研究，產(chǎn)品成功進(jìn)行生 產(chǎn)后， 既可以為 微電子行業(yè)提供高質(zhì)量的電子基礎(chǔ)材料，同時(shí) 也通過本項(xiàng)目的建設(shè) ， 減少我國(guó)對(duì)國(guó)外產(chǎn)品的依賴，打破國(guó)內(nèi)外產(chǎn)品的壟斷 ， 提品市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力，投入 生產(chǎn)后可以替代進(jìn)口．填補(bǔ)國(guó)內(nèi)無法生產(chǎn)電子級(jí)三氯氧磷產(chǎn)品的空白，推動(dòng)我國(guó)信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。帶動(dòng)磷化工新產(chǎn)品的開發(fā)，形成產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展，為開發(fā)和生產(chǎn)其他起大規(guī)模集成電路輔助材料奠定基礎(chǔ)，同時(shí)推動(dòng)地方經(jīng)濟(jì)發(fā)展，增加就業(yè)機(jī)會(huì)。 項(xiàng)目建設(shè)的經(jīng)濟(jì)意義 (1)通過本項(xiàng)目的實(shí)施，向我國(guó)微電子行業(yè)提供高端電 子級(jí)三氯氧磷產(chǎn)品，促進(jìn)我國(guó)信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展 ， 該項(xiàng)目產(chǎn)品填補(bǔ)我國(guó)電子級(jí)三氯氧磷的不 7 足，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電子產(chǎn)業(yè)、太陽能電池、等工業(yè)，對(duì)我國(guó)信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展具有極大的推動(dòng)作用，對(duì)這些產(chǎn)業(yè)在國(guó)際市場(chǎng)的競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)有較大 的提升作 用。 目前國(guó)際上從事工藝化學(xué)品研發(fā)及生產(chǎn)的 主要有德國(guó)的 及 MerckKanfo 公司（占全球市場(chǎng)份額的 %）；美國(guó)的 Ashlana 公司（占全球市場(chǎng)份額的%）， Arch 公司 (占全球市場(chǎng)份額的 %)， aliinckradt Baker 公司 (占全球市場(chǎng)份額的 %)；日本的 Wako(占 全球市場(chǎng)份額的 lO． 1%）， Sumitomo（占全球市場(chǎng)份額的 %）。在技術(shù)方面，美國(guó)、德國(guó)、日本、韓國(guó)及我國(guó)的臺(tái)灣地區(qū)目前已經(jīng)在規(guī)模生產(chǎn) u m 技術(shù)用的工藝化學(xué)品， — 0. 2u m 技術(shù)用工藝化學(xué)品也已經(jīng)完成了實(shí)驗(yàn)室 工 藝研究并開始規(guī)模生產(chǎn)。提升我 國(guó) 在該領(lǐng)域的技術(shù)水平，打破國(guó)內(nèi)外產(chǎn)品的壟斷。建設(shè)年產(chǎn) 120 噸 電子級(jí)三氧氧磷的生產(chǎn)線，達(dá)產(chǎn)后年產(chǎn)值 9600萬元 以上 。產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)處于國(guó)內(nèi)先進(jìn)地位。 (1)產(chǎn)品純度高，穩(wěn)定性好， 達(dá)到國(guó)際 SEMI標(biāo)準(zhǔn)，其單項(xiàng)雜質(zhì) 最高含量為 9ppb。 (3)將塔板精餾器運(yùn)用到三氯化磷的精餾中，可以將雜質(zhì)元素從幾十個(gè) ppb 降到幾個(gè)甚至零點(diǎn)幾個(gè) ppb。 研究的主要過程 可行性研究報(bào)告編制之前，項(xiàng)目組到現(xiàn)場(chǎng)認(rèn)真仔細(xì)地落實(shí)了設(shè)計(jì)條件，結(jié)合該公司所在的 江蘇漣水經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)薛行工業(yè)園 區(qū) 的實(shí)際情況，根據(jù)該公司提供的設(shè)計(jì)基礎(chǔ)資料，依據(jù)原化工部《化工建設(shè)項(xiàng)目可行性研究報(bào)告內(nèi)容和深度的規(guī)定》及國(guó)家有關(guān)規(guī)定編制了本報(bào)告。 （ 2）充分利用新招聘的技術(shù)人員、管理人員及管理經(jīng)驗(yàn)。因此該項(xiàng)目的建設(shè)是有意義的 ， 項(xiàng)目是可行的。產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)處于國(guó)內(nèi)先進(jìn)地位。 電子級(jí)三氯氧磷產(chǎn)品是超大規(guī)模集成電路 (IC)制作過程中的關(guān)鍵性基礎(chǔ)化工材料之一，主要用 于 芯片的 N 型摻雜，它的純度 和 潔凈度對(duì)集成電路的成品率、電性能及可靠性都有著十分重要的影響 。另外還有 日 本的關(guān)東株式會(huì)社、住友合成、德川、三菱，我國(guó)臺(tái)灣地區(qū)的長(zhǎng)春、中華、長(zhǎng)新化學(xué)，韓國(guó)的 DONOWOOFINECHEM、DONGJIN SEMICHEM、 SAMYOUNG FINECHEM 等公司。 項(xiàng)目所需主要原材料為工業(yè)黃磷。 競(jìng)爭(zhēng)能力預(yù)測(cè) 公司已掌握了生產(chǎn)電子級(jí)三氯氧磷產(chǎn)品的核心技術(shù) ， 投入生 產(chǎn) 可以替代進(jìn)口，填補(bǔ)國(guó)內(nèi)生產(chǎn)電子級(jí)三氯氧磷產(chǎn)品的空白。 目前，國(guó)內(nèi)尚無大規(guī)模的同類產(chǎn)品生產(chǎn)企業(yè) ，所以生產(chǎn)產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)明顯 。 電子級(jí)三氯氧磷經(jīng)科技部西南信息中心 進(jìn)一步確認(rèn) ，結(jié)論為“國(guó)內(nèi)來見生產(chǎn)電子級(jí)三氯氧磷 (單項(xiàng)雜質(zhì)不大子 9PPB)的文獻(xiàn)報(bào)道，也未見采用本工藝生產(chǎn)三氧氧磷的報(bào) 道，故本項(xiàng)目具有新穎性”。 國(guó)內(nèi)外工藝流程的對(duì)比 德國(guó)默克 流程 圖 產(chǎn)品可達(dá) 6 N、 7N 級(jí)。 漣水縣永源 化工有限公司工藝流程： 產(chǎn)品可以達(dá)到 6N、 7N 級(jí) 5N 黃磷 高 純 Cl3 合成 蒸餾餾 合成 POCl3 精餾 精餾 精餾 精餾 % POCl3（ 在千級(jí)超凈環(huán)境下 ） % POCl3（ 在 百 級(jí)超凈環(huán)境下 ） 工業(yè)級(jí) POCl3 精餾 在通風(fēng)廚里包裝，包裝瓶用 H2 焰或乙炔封口 精餾 13 對(duì)行業(yè)技術(shù)進(jìn)步的重要意義和作用 掌握核心技術(shù)，打破國(guó)外產(chǎn)品對(duì)我國(guó)的市場(chǎng)壟斷 公司經(jīng)過多年的研究、開發(fā)．已掌握了高純黃磷、電子級(jí)紅磷、電子級(jí)三氯氧磷的核心技術(shù)。 項(xiàng)目成受性和可靠性論述 項(xiàng)目的成熟性和可靠性見附件（用戶使用報(bào)告和權(quán)威機(jī)