【正文】 品方案 ......................................... 19 生產(chǎn)規(guī)模 .................................................... 19 2 產(chǎn)品方案 .................................................... 19 第四章 工藝技術(shù) 方案 ............................................... 21 工藝技術(shù)方案的選擇 .......................................... 21 工藝技術(shù)概況 .......................................... 21 工藝技術(shù)方案的確定 .................................... 22 工藝流程 .............................................. 23 工藝裝置 .................................................... 24 三氯氫硅車間 .......................................... 24 氯硅烷提純車間 ........................................ 29 多晶硅車間 ............................................ 32 高純多晶硅后處理工序 .................................. 36 硅芯制備工序 .......................................... 38 氫氣制備及凈化車間 .................................... 38 產(chǎn)品產(chǎn)量和原材料、輔助材料及公用工程消耗定額及消耗量 ....... 40 產(chǎn)品產(chǎn)量 .............................................. 40 原材料、輔助材料及公用工程消耗定額及消耗量 ............ 40 自控技術(shù)方案 ................................................ 41 簡述 .................................................. 41 控制水平 .............................................. 42 儀表選型 .............................................. 42 儀表電源及儀表空氣 .................................... 43 主要設(shè)備的選擇 .............................................. 43 設(shè)備選擇原則 .......................................... 43 主要設(shè)備選型 .......................................... 43 主要設(shè)備表 ............................................ 45 第五章 原料、燃料及動(dòng)力供應(yīng) ....................................... 47 主要原材料 .................................................. 47 工業(yè)硅粉 .............................................. 47 液氯 .................................................. 48 3 脫鹽水 ................................................ 48 氫氣 .................................................. 49 輔助材料 .................................................... 49 苛性鈉 ................................................ 49 生石灰 ................................................ 50 氫氟酸 ................................................ 50 硝酸 .................................................. 50 公用工程規(guī)格及供應(yīng) .......................................... 50 、蒸汽 ................................................. 50 循環(huán)水 ................................................ 51 新鮮水 ................................................ 51 電力 .................................................. 51 氮?dú)? .................................................. 52 儀表空氣 .............................................. 52 第六章 建廠條件及廠址方案 ......................................... 53 建廠條件 .................................................... 53 廠址區(qū)域概況 .......................................... 53 供熱 .................................................. 55 廠址方案 .................................................... 55 第七章 總圖運(yùn)輸 ................................................... 55 總平面布置 .................................................. 55 總平面布置原則 ........................................ 55 功能劃分 .............................................. 56 總 平面布置方案 ........................................ 57 主要技術(shù)經(jīng)濟(jì)指標(biāo) ...................................... 57 豎向設(shè)計(jì) .................................................... 58 設(shè)計(jì)原則 .............................................. 58 豎向設(shè)計(jì)方式及土方工程量 .............................. 58 工廠運(yùn)輸 .................................................... 58 4 運(yùn)輸量 ................................................ 58 運(yùn)輸方案及運(yùn)輸車輛 .................................... 59 工廠防護(hù)設(shè)施 ............................................ 59 綠化 ........................................................ 60 第八章 公用、輔助工程 ............................................. 60 供水 ........................................................ 60 供水水源 .............................................. 60 項(xiàng)目用水量 ............................................ 61 供水系統(tǒng) .............................................. 62 排水量及排水系統(tǒng)劃分 ........................................ 64 排水量 ................................................ 64 排水系統(tǒng)劃分 .......................................... 65 供電 ........................................................ 66 全廠用電負(fù)荷及負(fù)荷等級 ................................ 66 電源狀況 .............................................. 67 配電方案 .............................................. 67 功率因素補(bǔ)償 .......................................... 68 電氣設(shè)備選型 .......................................... 68 節(jié)能措施 .............................................. 68 電信 ........................................................ 69 電信系統(tǒng)狀況及設(shè)置 .................................... 69 電信設(shè)施方案 .......................................... 69 供熱及供冷 .................................................. 71 供熱 .................................................. 71 供冷 .................................................. 71 空壓、制氮 .................................................. 72 空氣壓縮 .............................................. 72 制氮 .................................................. 73 維修和倉庫 .................................................. 74 5 維修 .................................................. 74 倉庫 .................................................. 74 化驗(yàn)室 ...................................................... 74 化驗(yàn)室設(shè)置的目的 ...................................... 74 化驗(yàn)室設(shè)置的任務(wù) ...................................... 74 化驗(yàn)室的規(guī)模、要求和組成 .............................. 75 分析儀器設(shè)備 .......................................... 75 貯運(yùn)設(shè)施 .................................................... 76 概述 .................................................. 76 原料、中間產(chǎn)品及成品的貯存天數(shù)與貯存量 ................ 76 工藝及供熱外管 ............................................ 77 工作范圍及介質(zhì)情況 .............................