5光電子能譜分析-wenkub
2023-02-11 17:32:18 本頁(yè)面
【正文】 層的元素信息，分析的靈敏度極高。發(fā)射源（信號(hào)）：二次離子。離子探針對(duì)二次離子的收集效率比特征 X射線高，因此分析效率高，可以作包括 H元素的成分分析，而且還可以分析同位素。激發(fā)源：紫外光（ 4） 光電子能譜（或 X光電子能譜（ XPS）又稱(chēng)電子能譜化學(xué)分析（ ESCA： 用 X射線作激發(fā)源轟擊出樣品中元素的 內(nèi)層電子 ，并直接測(cè)量二次電子的能量，這能量表現(xiàn)為元素內(nèi)層電子的結(jié)合能 Eb。光與物質(zhì)的相互作用當(dāng)具有一定能量 hν的入射光子與 樣 品中的原子相互作用 時(shí) ，單 個(gè)光子把全部能量交 給 原子中某殼 層 上的一個(gè)受束 縛 的 電 子，這 個(gè) 電 子就 獲 得了能量 hν。2. 受激原子的弛豫 去激發(fā) 當(dāng)入射光子與原子相互作用產(chǎn)生了光電子，這時(shí)原子處于受激發(fā)高能量狀態(tài)，有趨于平衡的趨向，以達(dá)到低能量狀態(tài)，這稱(chēng)為 弛豫過(guò)程 。（粒子在連續(xù)兩次碰撞之間自由通過(guò)的距離為自由程，在多次碰撞以后的自由程平均值稱(chēng)平均自由程）。（ 1）電子因光吸收而激發(fā)；（ 3）克服表面勢(shì)場(chǎng)而射出 脫離固體表面。光電子能譜測(cè)量原理根據(jù)光電效應(yīng)定律， X射線被自由原子或分子吸收后， X射線的能量 hν將 轉(zhuǎn)變?yōu)?光 電 子的 動(dòng) 能 Ek以及激 發(fā)態(tài)原子能量的 變 化，表示 為 ：Er原子的反沖能；Eb電 子的 結(jié) 合能；Ek光 電過(guò) 程中 發(fā) 射光 電 子的 動(dòng) 能。電子的質(zhì)量 m相對(duì)于原子的質(zhì)量 M是很小的，所以 Er一般都很小。而電子能譜也正是通過(guò)對(duì)結(jié)合能的計(jì)算及其變化規(guī)律來(lái)了解被測(cè)樣品，因而對(duì)于結(jié)合能應(yīng)當(dāng)有深入的理解。電子要脫離原子，必須從費(fèi)米能級(jí)躍遷到真空靜止電子（自由電子）能級(jí)，這一躍遷所需的能量稱(chēng)為 逸出功 （功函數(shù) Φ）對(duì)于固體樣品， X射線的能量被固體吸收后將分配在：（ 1）內(nèi)層電子躍遷到費(fèi)米能級(jí)所需的能量（ Eb）；（ 2）電子由費(fèi)米能級(jí)進(jìn)入自由電子能級(jí)所需的能量，即克服功函數(shù) Φ；（ 3）自由 電 子所具有的 動(dòng) 能。 這 個(gè) 電場(chǎng) 阻止 電 子 繼續(xù) 從儀 器向 樣 品遷移，兩者達(dá)到 動(dòng)態(tài) 平衡 時(shí) ，兩材料的化學(xué) 勢(shì) 相同，費(fèi) 米能 級(jí) 完全重合。激發(fā)光源 —— X射線（軟 X射線； Mg=:eV）或 UV；2chamber（ XPS的儀器的儀器 Instrumentation vX射線光電子譜儀vX射線光電子譜儀216。eV~10XPS的儀器的儀器 Instrumentation for XPSXPS的儀器 Instrumentation for XPS鈀的 XPS（ XPSausing910將 KE轉(zhuǎn)換為 BE， 價(jià)帶 4
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