無(wú)塵車(chē)間改造培訓(xùn)教材-wenkub
2023-01-28 19:46:18 本頁(yè)面
【正文】 作區(qū)域 100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至 10級(jí)以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。 (2)垂直層流式：空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會(huì)影響其它工作區(qū)域。 潔凈室之分類(lèi) (按形式） 10 亂流式典型結(jié)構(gòu)形式 適用潔凈等級(jí) 1,000100,000級(jí) 11 層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻直線(xiàn)形，空氣過(guò)濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)，此型式適用于潔凈室等級(jí)需求較高之環(huán)境使用，一般其潔凈室等級(jí)為 Class 1~100。氣流非直線(xiàn)型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。 對(duì)照我國(guó)標(biāo)準(zhǔn)及美國(guó)標(biāo)準(zhǔn)可以看出，我國(guó)的 3級(jí)標(biāo)準(zhǔn)與美國(guó)的 1級(jí)標(biāo)準(zhǔn)相當(dāng)。 N— 潔凈度等級(jí)，數(shù)字不超出 9，潔凈度等級(jí)整數(shù)之間的中間 數(shù)可以按 為最小允許遞增量。 ? 高效空氣過(guò)濾器 HEPA ：在額定風(fēng)量下，對(duì)粒徑大于等于 粒子的捕集效率在 %以上及氣流阻力在 250Pa 以下的空氣過(guò)濾器。 ? 潔凈度 ：用以表征單位體積空間內(nèi)空氣中所含微粒大小及數(shù)量的多少，是區(qū)分空間潔凈程度的標(biāo)準(zhǔn)。 潔凈室是指能將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的懸浮微粒、細(xì)菌等污染物排除，并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、壓力、氣流速度及靜電等影響生產(chǎn)之環(huán)境因素控制在某一設(shè)計(jì)需求范圍內(nèi)，而給予特別設(shè)計(jì)的房間。亦即不論外面空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能具有維持所設(shè)定的潔凈度、溫濕度及壓力等生產(chǎn)所需環(huán)境因素性能的特性。 ? 氣閘室 ：設(shè)置在潔凈室出入口，阻隔室外或鄰室污染氣流和壓差控制而設(shè)置的緩沖間。 ? 超高效空氣過(guò)濾器 ：在額定風(fēng)量下，對(duì)粒徑 ～ 粒子的捕集效率在%以上及氣流阻力在 280Pa 以下的空氣過(guò)濾器。 D— 要求的粒徑 (μm)。從而可以看出隨著半導(dǎo)體行業(yè)從 um量級(jí)向 nm量級(jí)發(fā)展的過(guò)程中，潔凈室等級(jí)要求也越來(lái)越高。此型式適用于潔凈室等級(jí) 1,000100,000級(jí)。其型式可分為二種： (1)水平層流式：水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出，由對(duì)邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。 優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運(yùn)轉(zhuǎn)開(kāi)始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。每經(jīng)過(guò)一段發(fā)塵試驗(yàn)，測(cè)量不發(fā)塵時(shí)過(guò)濾器前后采樣濾紙通光量的差別，用特定計(jì)算方法得出所謂”過(guò)濾效率“。 ? Q=Max(Q1Q2)或 Q=Max( Q1Q2 )+ Q泄漏量 Q泄漏量 =181。ACH換氣次數(shù) .) 19 濾網(wǎng)的使用壽命 當(dāng)過(guò)濾網(wǎng)達(dá)到額定容塵量的時(shí)候即需要更換 . T=P/N1*103Qtη T過(guò)濾器使用壽命；（ d） P過(guò)濾器容塵量 。(h) η 計(jì)算過(guò)濾器的計(jì)重效率 . ? 此外、在下列任何一種情況下，應(yīng)更換高效空氣過(guò)濾器 : 1 氣流速度降到最低限度。 20 無(wú)塵室 初級(jí)濾網(wǎng) 預(yù)冷盤(pán)管 預(yù)熱盤(pán)管 加濕器 截水器 冷卻盤(pán)管 加熱盤(pán)管 初級(jí)濾網(wǎng) 送風(fēng)機(jī)組 中級(jí)濾網(wǎng) ＨＥＰＡ 逆止風(fēng)門(mén) 外氣空調(diào)箱 溫濕度控制 21 通常無(wú)塵 室均 需 維持正 壓 以防止 外部 污染 流入 ,并有利于內(nèi)部微塵的排出 。 人 發(fā)塵主要來(lái)自人，占 90%左右。 （ 3）口水：包括鈉、酶、鹽、鉀、氯化物及食品微粒。 （ 7）人類(lèi)以 。 , January 25, 2023 雨中黃葉樹(shù)，燈下白頭人。 :48:0922:48:09January 25, 2023 1他鄉(xiāng)生白發(fā)，舊國(guó)見(jiàn)青山。 2023年 1月 25日星期三 10時(shí) 48分 9秒 22:48:0925 January 2023 1做前，能夠環(huán)視四周；做時(shí)，你只能或者最好沿著以腳為起點(diǎn)的射線(xiàn)向前。 :48:0922:48Jan2325Jan23 1世間成事，不求其絕對(duì)圓滿(mǎn)，留一份不足，可得無(wú)限完美。 。 , January 25
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