無(wú)塵車間管理制度-wenkub
2023-04-22 23:12:42 本頁(yè)面
【正文】 期發(fā)展需要更高潔凈級(jí)別要求的潔凈區(qū)域（指高于ISO Class7級(jí)別）進(jìn)入前，需要設(shè)置盟洗室用洗手器洗手（先用潔凈洗滌劑洗滌，再用潔凈水沖洗。 為保持潔凈室空氣潔凈度，應(yīng)盡量減少進(jìn)入潔凈室人員帶入的污染物。 JVP1301C 《公共設(shè)施管理規(guī)定》5．3 潔凈室人員管理制度5．3．1 潔凈室的人員管理包括：制定專職管理人員的職責(zé)、潔凈室人員的準(zhǔn)入制度、人員培訓(xùn)教育規(guī)定、進(jìn)入潔凈室人員的“人凈程序”管理和退出管理制度等。 FSDSOP12 《廠務(wù)部運(yùn)行管理制度》 178。 FSDSOP44 《制冷機(jī)操作指導(dǎo)書》178。 FSDSOP01 《供電操作指導(dǎo)書及規(guī)范制度》178。 檢測(cè)測(cè)試設(shè)備：激光粒子記數(shù)器 檢測(cè)周期：每周一上午、下午對(duì)各潔凈區(qū)域進(jìn)行一次檢測(cè) 檢測(cè)條件：靜態(tài)潔凈度測(cè)試 數(shù)據(jù)收集整理：將每次檢測(cè)的結(jié)果輸入監(jiān)控室的電腦中儲(chǔ)存，并在每個(gè)季度末（或下季度初）給各部門發(fā)該季度的潔凈度記錄圖表電子檔通報(bào)給各部門。以前的原料成品倉(cāng)庫(kù)入口將被保護(hù)。潔凈要用IPA和水的混合物擦拭。178。 必須采取潔凈措施保持安裝潔凈。 所有進(jìn)入潔凈區(qū)域的材料，工具和設(shè)備要用IPA和水的混合物擦拭。氣體鼓風(fēng)機(jī)將持續(xù)運(yùn)行以維護(hù)房間的壓力要求。178。178。178。178。216。 第二部分主要針對(duì)直到gridline B西邊潔凈區(qū)域的內(nèi)墻完成。178。178。每個(gè)入口將會(huì)有清洗店。5．1．3．1第一部分178。 5．1．2．5重復(fù)違反規(guī)則和程序的人員將被開除。5．1．2．3 承包商建造區(qū)域入口并對(duì)其進(jìn)行管理。5．1．2．2 承包商負(fù)責(zé)執(zhí)行潔凈室草案。這包括除了原料和成品倉(cāng)庫(kù)以外的所有主廠房?jī)?nèi)的地方。5．0 管理程序5．1 無(wú)塵車間潔凈室施工管理制度5．1．1 背景5．1．1．1 半導(dǎo)體制造業(yè)必須在潔凈的環(huán)境中進(jìn)行，在施工中必須遵循行業(yè)規(guī)則和程序。潔凈輔助間 是潔凈廠房不可缺少的必備房間。 清掃、滅菌管理，對(duì)潔凈室內(nèi)的各類設(shè)備、設(shè)施的清掃、滅茵以及方法、周期和檢查作明確的規(guī)定，防止、捎除潔凈室內(nèi)塵粒、微生物的產(chǎn)生、滯留、繁殖。2．0 無(wú)塵車間管理的原則 進(jìn)入潔凈室的管理，包括對(duì)潔凈室工作人員進(jìn)入、物料進(jìn)入、各類設(shè)備的搬入以及相關(guān)的設(shè)備、管線的維護(hù)管理，應(yīng)做到不得將微粒、微生物帶入潔凈室。 操作管理技術(shù)，對(duì)潔凈室內(nèi)人員用潔凈工作服的制作、穿著和清洗；操作人員的移動(dòng)和動(dòng)作；室內(nèi)設(shè)備及裝修材料的選擇和清掃、滅茵等，盡可能地減少、防止?jié)崈羰覂?nèi)塵粒、微生物的產(chǎn)生、滯留、繁殖等。 潔凈室環(huán)境控制的內(nèi)容包括：空氣凈化、潔凈建筑、與產(chǎn)品直接接觸的水或氣體或化學(xué)品和生產(chǎn)設(shè)備、工器具等的污染物控制以及微振動(dòng)、噪聲、靜電的控制、防止等。潔凈輔助間對(duì)潔凈廠房的平面關(guān)系密切，對(duì)潔凈廠房的建造帶來(lái)影響和投產(chǎn)后能否滿足產(chǎn)品生產(chǎn)的需要以及能否可靠地防止生產(chǎn)過(guò)程的污染或交叉污染至關(guān)重要。本文件列出了這些規(guī)則和程序的概要。5．1．1．3 潔凈室施工管理制度目前主要針對(duì)一期主廠房?jī)?nèi)的局部改造和擴(kuò)建，后期所有潔凈室施工項(xiàng)目仍按照本制度規(guī)定的原則進(jìn)行管理。他將每天對(duì)潔凈建設(shè)區(qū)域進(jìn)行檢查，并填寫檢查清單。他提供清洗晾曬每個(gè)入口處鞋、外套和衣服的清洗店。沒有貫徹執(zhí)行本規(guī)則和程序的供應(yīng)商將被除名。 第一部分主要針對(duì)直到主要施工完成后。所有工人進(jìn)入必須保持鞋子干凈。 所有設(shè)備和材料必須從一個(gè)入口進(jìn)入施工現(xiàn)場(chǎng)，并且保持干凈，不允許有碎片掉下。 每班結(jié)束時(shí)，必須清走所有垃圾和廢舊物品。此時(shí)，只允許承包商雇傭的工人在潔凈區(qū)域。 gridlines 1和2之間的通向成品倉(cāng)庫(kù)的外門。 其它入口必須經(jīng)過(guò)潔凈工程承包商的書面批準(zhǔn)。 任何可能會(huì)造成污染的活動(dòng)必須必須提前經(jīng)過(guò)潔凈工程承包商的批準(zhǔn)。 裝好的地板必須用PVC板包裝保護(hù)。 第二部分草案執(zhí)行期間，潔凈區(qū)域必須每天吸塵。178。178。178。 潔凈安裝過(guò)程中，必須密切關(guān)注所采取的潔凈措施的可靠程度，對(duì)于隔離圍護(hù)設(shè)施一定要作到及時(shí)發(fā)現(xiàn)、立即糾正。先潔凈天花板，然后是墻壁，墻壁應(yīng)從上到下，最后是地面。178。 各潔凈區(qū)域潔凈級(jí)別標(biāo)準(zhǔn)：按照《半導(dǎo)體公司能源管理標(biāo)準(zhǔn)》要求執(zhí)行。 FSDSOP41 《AHU系統(tǒng)操作指導(dǎo)書》178。 FSDSOP06 《廠務(wù)部安全操作規(guī)程》178。 FSDSOP13 《市政動(dòng)力能源中斷緊急應(yīng)變計(jì)劃》178。5．3．2 人員凈化與進(jìn)入 在潔凈廠房?jī)?nèi)眾多的污染源中，人是主要污染源之一，尤其是工作人員在潔凈環(huán)境中的活動(dòng)，會(huì)明顯地增加潔凈環(huán)境的污染程度。所有進(jìn)人潔凈室的人員必須嚴(yán)格地按規(guī)定程序進(jìn)行人身凈化。洗滌后用自動(dòng)烘手器烘干）。5．3．3 潔凈室工作人員須知 進(jìn)入潔凈室的人員應(yīng)嚴(yán)格執(zhí)行人身凈化制度、路線和程序，任何人不得隨意更改。 嚴(yán)禁不通過(guò)風(fēng)淋而直接走旁通門進(jìn)入潔凈室。C. 風(fēng)淋室使用254。254。254。254。 如果系統(tǒng)處于不工作狀態(tài)：按電源開關(guān)鍵使系統(tǒng)處于工作狀態(tài)，LED被點(diǎn)亮。 系統(tǒng)處于正常等待工作狀態(tài)時(shí)，風(fēng)淋室的兩扇門處于關(guān)閉未鎖狀態(tài)。如果用戶進(jìn)入風(fēng)淋室，經(jīng)過(guò)紅外探頭，風(fēng)機(jī)將自動(dòng)工作一定時(shí)間，此時(shí)內(nèi)外門均閉鎖，風(fēng)機(jī)停止工作以后蜂鳴響，內(nèi)門開鎖，用戶出風(fēng)淋室。開門、關(guān)門，整個(gè)過(guò)程結(jié)束。若個(gè)別工位無(wú)特殊協(xié)作需求，其他工位員工禁止聚集、圍觀與自己工位工作不相干的其他工位正常工作事件。5．3．4 潔凈室人員退出時(shí)應(yīng)注意的事項(xiàng) 為了防止再次進(jìn)入和往返作業(yè)對(duì)潔凈室造成交叉污染按規(guī)定的順序退出潔凈
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