掃描電子顯微鏡與電子探針分析資料-wenkub
2023-01-21 05:38:15 本頁面
【正文】 EM的加速電壓遠(yuǎn)比TEM低；在 SEM中加速電壓一般在 200V 到 50 kV范圍內(nèi)。它們分別被相應(yīng)的收集器接受，經(jīng)放大器按順序、成比例地放大后，送到顯像管。3 掃描電子顯微分析 工作原理及構(gòu)造1. 掃描電鏡的基本原理 SEM的工作原理是利用細(xì)聚焦電子束在樣品表面逐點(diǎn)掃描，與樣品相互作用產(chǎn)行各種物理信號(hào)，這些信號(hào)經(jīng)檢測(cè)器接收、放大并轉(zhuǎn)換成調(diào)制信號(hào)，最后在熒光屏上顯示反映樣品表面各種特征的圖像。第五章 掃描電子顯微鏡和電子探針分析? 掃描電子顯微鏡（ Scanning electron microscopeSEM）是以類似電視攝影顯像的方式，通過細(xì)聚焦電子束在樣品表面掃描激發(fā)出的各種物理信號(hào)來調(diào)制成像的顯微分析技術(shù)。 4 掃描電鏡的成像原理，和透射電鏡大不相同，它不用什么透鏡來進(jìn)行放大成像，而是象閉路電視系統(tǒng)那樣，逐點(diǎn)逐行掃描成像。9 供給電子光學(xué)系統(tǒng)使電子束偏向的掃描線圈的電源也是供給陰極射線顯像管的掃描線圈的電源，此電源發(fā)出的鋸齒波信號(hào)同時(shí)控制兩束電子束作同步掃描。 3） 樣品不需要復(fù)雜的準(zhǔn)備過程，制樣非常簡(jiǎn)單。 ◆ 放大倍數(shù)連續(xù)調(diào)節(jié)范圍大 。? 熱陰極電子槍 束斑可達(dá) 6nm ? 六硼化鑭和場(chǎng)發(fā)射電子槍，束斑更小 22? ② 電磁透鏡? 功 能： 聚焦電子槍束斑，使 50 ?m → 數(shù) nm斑點(diǎn)。 23③ 掃描系統(tǒng) ?? 掃描系統(tǒng)是掃描電鏡的特殊部件，它由掃描發(fā)生器和掃描線圈組成。 新式電鏡的樣品室是個(gè)微型試驗(yàn)室，帶有各種附件，可使樣品在樣品臺(tái)上加熱、冷卻和進(jìn)行機(jī)械性能試驗(yàn)。 信號(hào)電子進(jìn)入閃爍體即引起電離，當(dāng)離子和自由電子復(fù)合后產(chǎn)生可見光。 ? 為保證電子光學(xué)系統(tǒng)的正常工作，對(duì)鏡筒真空度有一定要求。32SEM的分辨率高低與 檢測(cè) 信號(hào)種 類 有關(guān)。 介于光學(xué)顯微鏡和透射電鏡之間。對(duì)于導(dǎo)電性較差或絕緣的樣品若采用常規(guī)掃描電鏡來觀察，則必須通過噴鍍金、銀等重金屬或碳真空蒸鍍等手段進(jìn)行導(dǎo)電性處理。（ 5－10 nm范圍）? 成像原理為：二次電子產(chǎn)額對(duì)微區(qū)表面的幾何形狀十分敏感。2）平面上的 SE產(chǎn)額較小，亮度較低。48C 斷裂過程的動(dòng)態(tài)研究
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