led芯片制程-wenkub
2023-01-20 01:06:14 本頁(yè)面
【正文】 6參考文獻(xiàn)：《 LED照明設(shè)計(jì)與應(yīng)用》作者： (日 )LED照明推進(jìn)協(xié)會(huì) |譯者 :李農(nóng) //楊燕為什么 LED會(huì)發(fā)不同顏色的光？7LED發(fā)光波長(zhǎng)取決于什么因素216。8參考文獻(xiàn)： Introduction to Nitride Semiconductor Blue Lasers and Light Emitting Diodes混晶的發(fā)光波長(zhǎng)9用不同 顏 色及數(shù)目 LED加 熒 光粉所做成的白光 LED的 優(yōu) 點(diǎn)及缺點(diǎn)10LED 發(fā)光管是怎樣 “練 ”成的Sapphire藍(lán)寶石11LED生產(chǎn)流程圖基板（襯底 ） 磊晶制程 磊晶片清洗蒸鍍光刻作業(yè)化學(xué)刻蝕 熔合 研磨切割單晶爐、切片機(jī)磨片機(jī)、拋光機(jī) 外延爐（ MOCVD）清洗機(jī)、烘箱蒸鍍機(jī) /電子槍烘烤 上光阻照相曝光 顯影刻蝕機(jī)減薄機(jī)清洗機(jī)切割機(jī)、清洗機(jī)、甩干機(jī)測(cè)試探針測(cè)試臺(tái)顆粒度檢測(cè)儀封裝12MOCVD外延藍(lán)寶石緩沖層NGaNpGaNMQWMOCVD是金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相淀積 (Metalanic Chemical Vapor DePosition)的英文縮寫 MOCVD技術(shù)具有下列優(yōu)點(diǎn) : (l)適用范圍廣泛，幾乎可以生長(zhǎng)所有化合物及合金半導(dǎo)體 ?！ ?(5)可以生長(zhǎng)純度很高的材料 。主要溶劑有： H2SO4溶液、 H2O2溶液、氫氟酸溶液、鹽酸、 NH4OH等14n區(qū)光刻正性光刻膠光刻掩膜板紫外線 顯影光刻的目的就是在芯片或金屬薄膜上刻蝕出與掩模板完全
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