電子探針epmappt課件-wenkub
2023-05-16 13:17:12 本頁面
【正文】 射電子 表面 觀察 元素分析 EPMA ＥＰＭＡ 可 分析 對象 金屬材料 電 子材料 高分子材料 氧化物 生物樣品 鋼鐵 有色 金屬 合金 電工電 子半 導 體材料 玻璃 礦物 陶瓷 樹脂 纖維 動物 植物 設備主要技術參數 ? 元素測量范圍： 5B ~ 92U ? 束流范圍 ： 106 ~ 1012A ? 二次電子像分辨率 : W燈絲 : 60197。 由于電子束照射面積很小 ， 因而相應的 X射線特征譜線將反映出該微小區(qū)域內的元素種類及其含量 。 這就是利用電子探針儀作定性、定量分析的理論根據。 若有一束包括不同波長的 X射線照射到一個晶體表面上，平行于該晶體表面的晶面 (hkl)的間距為 d，入射 X射線與該晶面的夾角為 θ1，則其中只有滿足布喇格方程 λ1=2dsinθ1 的那個波長的 X射線發(fā)生衍射。若將發(fā)生某一元素特征 X射線的入射角 θ固定，對樣品進行微區(qū)掃描，即可得到某一元素的線分布或面分布圖像。聚焦圓半徑不變，圓心在以光源為中心的圓周上運動，光源、彎晶和接收狹縫也都始終落在聚焦圓的圓周上。因此，恰當地選用彎晶是很重要的。選擇晶體的其他條件是晶體的完整性、波長分辨本領、衍射效率、衍射峰強度和峰背比都要高，以提高分析的靈敏度和準確度。 4)樣品室 電子探針定量分析要求在完全相同的條件下，對未知樣品和待分析元素的標樣測定特定譜線的強度，樣品臺常可同時容納多個樣品座，分別裝置樣品和標樣，后者可有十幾個。 對于原子序數高于 濃度高于 10%左右的元素來說，定量分析的相對精度約為 177。樣品質量的好壞，對分析結果影響很大。但對于原子序數低于 10的一些輕元素或超輕元素來說，無論從定性還是定量分析的角度來看，尚有許多方面需要改善和提高。所以，樣品臺除了可作 X、 Y軸方向的平移運動外，一般不作傾斜運動，對于定量分析更是如此。 (2) 入射電子束流的選擇 樣品為了提高 X射線信號強度，電子探針儀必須采用較大的
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