液體噴射拋光技術ppt課件-wenkub
2023-05-16 07:56:59 本頁面
【正文】 oroughness of optical glasses under deterministic microgrinding, APPLIED OPTICS, Vol. 35, No. 22 ,1 August 1996,44484462 48 （二）、材料特性與表面粗糙度的關系 （ 2） 與楊氏模量（ E）和顯微硬度 (Hk)的關系 ~kESRH2()ckKH圖 表面粗糙度與材料特性的關系 七、表面粗糙度 49 （三）、工作壓力與表面粗糙度 ?結果 近似線性關系，但大壓力（ 6~11bar）對表面粗糙度的增加量比小壓力（ 2~5bar）的效果大 圖 七、表面粗糙度 50 （四）、噴射角與表面粗糙度 噴射角 0176。 SR（ nm） 表 七、表面粗糙度 ?噴射角度不同，得到的表面粗糙度的值也不同 ?以不同的角度噴射時，磨料粒子對工件產生的沖擊及剪切力不同 51 補 充 ? 散粒磨料拋光 （ loose abrasive conditions） ： ? Buijs and KorpelVan Houten [10] 得到： 七、表面粗糙度 ? 固著磨料拋光 （ deterministic microgrinding） [9]： 12vE H12~vESR H? Aleinikov and Kryukova[7,8] SiC abrasive particles(100~150um) ~1 vS R H2~ ( )ckKSRH[10] John C. Lambropoulos, et al, Loose abrasive lapping hardness of optical glasses and its interpretation. APPLIED OPTICS, , , March, 1997, 15011516. 52 二、將要開展的工作 從課題研究的方向 （一）、基礎型研究 ? 去除方式及去除特性的研究 ? 工件與粒子的作用形式 ? 下表面破壞層的研究 （二）、應用型研究 ? 消除高頻誤差的方法 ? 修正面形的能力 53 （一）、材料的去除方式 ? 需要解決的問題 ： 在一定條件下，材料是以脆性裂紋的形式還是以塑性變形的方 式去除 ? 擬采取的研究方案： 從塑性變形與脆性斷裂的不同特征出發(fā) ? 去除量的 大小 ? 去除量與 噴射角 的關系 ? 去除量的 分布形狀 ? 工件材料與 磨料粒子 的相對性質 基礎型研究 54 依據(jù)一、材料去除量的大小 ? 材料的去除量很小，材料的脆性不再起作用 ? 磨料粒子的能量較小，不能達到使工件表面產生裂紋的程度，則材料是以塑性變形的形式去除的 ?措施 從實驗及材料結構方面考察材料的去除量是不是以 nm量級去除的 去除方式 55 依據(jù)二、去除量與沖擊角的關系 [11] ? 若材料是以脆性裂紋的形式去除 沖擊角為 90度時去除量最大 ? 若以塑性變形的方式 與磨料粒子的沖擊及橫向剪 切有關，且沖擊角為 40度時有最大去除量。 討 論 問 題（二） 71 應用型研究 ? 如何消除工件表面的高頻誤差 ? 去除函數(shù)的優(yōu)化 ? 改變射流的性質 ? 修正面形 ? 尋求最佳的運動方式 ? 尋求最佳的運動路徑 ? 駐留函數(shù)的優(yōu)化求解 72 （一）、去除函數(shù)的優(yōu)化 ? 根據(jù)實驗得到的對去除函數(shù)進行優(yōu)化的方式，尋求新的優(yōu)化方案 ? 改變噴管的形狀或內部結構 ? 改變拋光頭的運動方式及路徑 應用型研究 一、消除高頻誤差 73 （二）、改變射流的特性 ? 加入新的媒質 比如利用三相射流脈動射流 ? 采用其它性質的拋光液 采用粘滯系數(shù)大的液體 應用型研究 一、消除高頻誤差 注：國防科大正在從事磁性磨料射流拋光 74 （一）、拋光頭的運動方式及路徑 ? 根據(jù)去除函數(shù)為 W型，從理論上具體研究拋光頭及工件的運動方式及路徑，以實現(xiàn)快速修正面形的目的 ? 現(xiàn)有設備的局限：噴管只能作一維運動 —— 只能對旋轉對稱的表面進行修正 ? 若噴管能做兩維或多維運動（如利用噴管轉動或工件的傾斜來改變噴射角），則需要根據(jù)儀器的改進結果，具體從理論及實驗上研究快速收斂面形誤差的方法 應用型研究 二、修正面形的能力 75 （二）、駐留函數(shù)的求解 ? 根據(jù)機床改進的結果，根據(jù)噴管的運動方式及路徑，對駐留函數(shù)開展具體的研究工作。 )SR ? 對于固著磨料拋光 [14]： Edwards發(fā)現(xiàn)： SSR=(177。 45176。 41 七、表面粗糙度 ?光學元件的表面粗糙度是表面微觀幾何形狀的表征，即加工表面上的微觀不平度。 ? 資料介紹有用小波變換方法求駐留函數(shù)的，比如離子束拋光（去除函數(shù)為理想的高斯型分布的），看該方法能不能借用于 FJP中。 [6] John C. Lambropoulos, Su Xu, and Tong Fang, Loose abrasive lapping hardness of optical glasses and its interpretation. APPLIED OPTICS, , , March, 1997, 15011516. 23 三 、數(shù)學模型的建立 ? 材料去除的本質：高速磨料粒子與工件表面之間的碰撞剪切作用 ,區(qū)別于傳統(tǒng)的拋光技術 ? 利用計算機控制拋光技術，需要根據(jù)被加工件的面形誤差進行定量修正 ? 為此，有必要提出并建立一個數(shù)學物理模型，來定量描述整個光學加工過程 已開展的工作 24 （一）
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