pecvd操作手冊word版-wenkub
2023-04-07 13:25:02 本頁面
【正文】 決定的，表2總結(jié)了所需的微波功率（見峰值功率，Ppeak）I=400600mmI=600800mmI=8001000mm微波峰值功率（kW）平均微波功率（kW）允許最高平均微波功率（kW）表2：不同等離子體長度（）的Si3N4沉積所用的典型的微波功率（MWPower）根據(jù)表2所示，1米長的線型等離子體發(fā)射源兩端各需要最高將近4kW的微波功率，然而這大大超過了一個石英管所能允許的最大微波功率的值（石英管會有熱變形的風(fēng)險）?，F(xiàn)在讓我們研究一下圖4所示的情況。圖4：線型微波等離子體產(chǎn)生的原理 圖4表現(xiàn)的是等離子體帶電體密度（Charge Carrier density）n(z)是如何取決于Z方向（等離子體軸）中等離子體發(fā)射源兩端輸入微波功率的量。圖3：配備一個石英管的LPS1型微波等離子體發(fā)射源的典型斷面圖在科技文獻(xiàn)中所描述的LPS1型等離子體發(fā)射源和“等離子體線”式發(fā)射源之間最大的區(qū)別是前者附加的磁力系統(tǒng)，這為發(fā)射源帶來了兩個方面的優(yōu)勢。圖1：線型微波的圖解和部件圖（英文注釋見第6章中的備配件清單） 線型微波等離子體發(fā)射源類型圖2表現(xiàn)的是一個典型的線型微波等離子體發(fā)射源，在科技文獻(xiàn)中常被稱為“二極等離子線”（DuoPlasmaline），因為該發(fā)射源的兩端各有一個微波發(fā)射器。同軸系統(tǒng)激活在石英管上的表面波，可以產(chǎn)生高度均勻的微波等離子體。微波等離子體具有一些顯著而突出的等離子體特性，如當(dāng)離子和電子層低于10個電子伏特（eV）時的高帶電性水平（high charge carrier concentrations），這種等離子十分適合于需要不能有明顯離子沖擊的薄膜沉積技術(shù)。）的強(qiáng)度。 Rau AG Gewerbering 3 D09337 HohensteinErnstthal OT Wuestenbrand Germany 目錄1 安全指示 …………………………………………………………………………………………… 3 介紹 …………………………………………………………………………………………… 3 安全標(biāo)志 ……………………………………………………………………………………… 32 描述 ………………………………………………………………………………………………… 4 概要 …………………………………………………………………………………………… 4 線型微波等離子體發(fā)射源類型 …………………………………………………………… 5 線型微波等離子體的產(chǎn)生 ……………………………………………………………………… 63 技術(shù)數(shù)據(jù) …………………………………………………………………………………………… 9 概要 …………………………………………………………………………………………… 9 性能 …………………………………………………………………………………………… 10 電氣數(shù)據(jù) ……………………………………………………………………………………… 10 連接 …………………………………………………………………………………………… 10 氣體連接 ………………………………………………………………………………… 10 水路連接 ………………………………………………………………………………… 104 組裝 ………………………………………………………………………………………………… 115 設(shè)備維護(hù) …………………………………………………………………………………………… 12 石英管的拆卸 ………………………………………………………………………………… 13 沉積罩的拆卸 ………………………………………………………………………………… 15 等離子體發(fā)射源的清洗 ……………………………………………………………………… 16 沉積罩的替換 ………………………………………………………………………………… 17 玻璃石英管的替換 …………………………………………………………………………… 17 安全性能 ……………………………………………………………………………………… 216 備配件 ………………………………………………………………………………………………… 22 介紹 …………………………………………………………………………………………… 22 備配件清單 ……………………………………………………………………………………… 227 推薦備配件 …………………………………………………………………………………………… 27 配圖目錄圖1：線型微波的圖解和部件圖 …………………………………………………………………………… 4圖2：線型微波等離子體發(fā)射源的工作原理 …………………………………………………………… 5圖3：配備一個石英管的LPS1型微波等離子體發(fā)射源的典型斷面圖 ………………………………… 5圖4：線型微波等離子體產(chǎn)生的原理 ……………………………………………………………………… 6圖5：以時間為函數(shù)的典型的脈沖微波 ………………………………………………………………… 7圖6：覆膜均勻性和沉積率的獨(dú)立控制效果示意圖 ……………………………………………………… 8圖7：SiNA型LPS
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