真空與真空鍍膜技術(shù)簡(jiǎn)介-wenkub
2023-05-22 00:44:30 本頁(yè)面
【正文】 以達(dá)到抽氣目的的真空泵，例如旋片 機(jī)械泵、油擴(kuò)散泵、渦輪分子泵。 人為真空：用真空泵抽掉容器中的氣體。真空與真空鍍膜技術(shù)簡(jiǎn)介 一 . 真空技術(shù)入門 真空：低于一個(gè)大氣壓的氣體狀態(tài)。 真空量度單位 ? 1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓 =760mmHg=760(Torr) ? 1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓 = Pa ? 1Torr= 真空區(qū)域的劃分 目前尚無(wú)統(tǒng)一規(guī)定，常見的劃分為： 粗真空 低真空 高真空 超高真空 極高真空 )10760(1010 35 T or rpa ??)1010(1010 8361 T or rpa ???? ??)1010(1010 128106 T or rpa ???? ??)10(10 1210 T or rpa ?? ??)1010(1010 313 T or rpa ?? ??真空技術(shù)的應(yīng)用 電子技術(shù)、航空航天技術(shù)、加速器、表面物理、微電子、材料科學(xué)、醫(yī)學(xué)、化工、工農(nóng)業(yè)生產(chǎn)、日常生活等各個(gè)領(lǐng)域。 氣體捕集泵 : 是一種使氣體分子短期或永久吸附、凝 結(jié)在泵內(nèi)表面的真空泵，例如分子篩 吸附泵、鈦升華泵、濺射離子泵、低溫 泵和吸氣劑泵。 ? 定子浸在油中起潤(rùn)滑，密封和堵塞縫隙的作用。 ? 擴(kuò)散泵不能單獨(dú)使用，一般采用機(jī)械泵為前級(jí)泵，以滿足出口壓強(qiáng)(最大 40Pa)，如果出口壓強(qiáng)高于規(guī)定值，抽氣作用就會(huì)停止。 1. 動(dòng)葉輪； 2. 泵殼； 3. 渦輪排； 4. 中頻電動(dòng)機(jī)； 5. 底座； 6. 出氣口法蘭； 7. 潤(rùn)滑油池； 8. 靜葉輪； 9. 電機(jī)冷卻水管 . 三 . 真空的測(cè)量 — 真空計(jì)
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