真空與真空鍍膜技術(shù)簡介-閱讀頁
2025-05-31 00:44本頁面
【正文】 貴。 壓縮型真空計 測量范圍： 103 ～ 103 Pa U型計 測量范圍： 105 ～ 10 Pa 2. 相對真空計 熱 偶真空計 (熱傳導真空計 ) 測量范圍： 100— 101 Pa 測量下限：熱絲溫度較高，氣體分子熱傳導很小，熱絲引線本身的熱傳導和熱輻射引起的熱量減小占主導地位，這兩部分與壓強無關(guān)。 熱陰極電離真空計 原理 ：電子與氣體分子碰撞引起分子電離，形成電子和正離，電子最終被加速極收集，正離子被收集極接收形成離子流： I+ = kIep = cp 其中， k稱為電離計的靈敏度，是單位電子電流、單位壓強下的離子流。 電離計線路圖 電離規(guī)管 理論解釋： 當 p較高時， kx / p k，此時 當 p很低時， kx / p k，此時 與壓強無關(guān) exexe IkpkIIpkII ?????ppkkII xe?????? ???kpIIe??xekII ???I B— A真空計 (超高真空熱陰極電離計 ) 50年代初， Bayard 和 Alpert經(jīng)過改進電離規(guī)，減小光電流，減小受照面積，制成 BA規(guī)，收集極面積減小了 100—1000倍，測量下限也降低 100—1000倍。 ? 真空蒸發(fā) ：在真空中把制作薄膜的材料加熱蒸發(fā)，使其 淀積在適當?shù)谋砻嫔稀? 膜厚的計算： 在真空中氣體分子的平均自由程為：L = / p (cm)，其中 p的單位是 Pa。 L基片到蒸發(fā)源的距離，分子作 直線運動。 ?Amt?
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