xps能譜分析方法及原理-wenkub
2023-05-21 16:44:17 本頁面
【正文】 l :Ka1,2(1487ev ,線寬 ) Cu :Ka1,2(8048ev,線寬 ) Ti :Ka1,2(4511ev,線寬 ) ? 電子結(jié)合能： 由光電過程的 Einstein方程： hν=Eb+1/2mv2 ， 求出 ： Eb= hνEk。 ? 1954年研制成世界上第一臺雙聚焦磁場式光電子能譜儀。X— 射線光電子能譜 ( Xray Photoelectron Spectroscopy ) ? XPS 的發(fā)展 ? 基本概念 ? XPS 的工作流程及原理 ? XPS譜線中伴峰的來源 ? XPS譜圖中伴峰的鑒別 ? 利用 XPS譜圖鑒別物質(zhì) ? XPS的實驗方法 ? XPS譜圖的解釋步驟 ? XPS 的特點 主要內(nèi)容： XPS 的發(fā)展： ? XPS理論首先是由瑞典皇家科學(xué)院院士、烏普薩拉大學(xué)物理研究所所長 K ? XPS是一種對固體表面進(jìn)行定性、定量分析和結(jié)構(gòu)鑒定的實用性很強的表面分析方法。 引入 Fermi能級后，光電過程的能量關(guān)系如圖所示： 由圖可知： Eb=hν ф? Ek’ 而 Ek’+ ф?＝ Ek+ ф?p 知 Eb＝ hν Ek ф?p ( ф?p平均值約為 4ev) (其中， Ek’為從樣品出射光電子的動能； Ek為譜儀測量到的光電子的動能 ) 上式即為原子內(nèi)層電子結(jié)合能公式。 ? 光電截面 σ： 表示光離子化幾率。 XPS 的工作流程： 光 源 (Xray) 過濾窗 樣品室 能量分析器 檢測器 掃描和記錄系統(tǒng) 真空系統(tǒng) ( 105— 108Pa) 磁屏蔽系統(tǒng) (～ 1 108T) XPS 的工作原理： 電離放出光電子 Xray 樣品 能量分析器 檢測器 （記錄不同能量的電子數(shù)目） 光電子產(chǎn)生過程： e hν(Xray) A(中性分子或原子 )+
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