精密加工中的測量技術(shù)(1)-wenkub
2023-05-21 14:54:15 本頁面
【正文】 儀 ， 使加工精度達(dá)到了 1181。 例如制造超大規(guī)模集成電路 ， 目前半導(dǎo)體工藝的典型線寬為 ， 正向 渡 ， 2021年的預(yù)測線寬是 。 ? 1960年 10月 14日在巴黎通過用氦 Kr86在真空中的波長作為長度基準(zhǔn)： 1m＝ Kr86的波長 。 按 JJG2056－ 1990《 長度計(jì)量器具 （ 量塊部分 ） 檢定系統(tǒng) 》 的規(guī)定 ， 量塊分為 00、 0、 K、 3六級 。 ? 美國穆爾公司經(jīng)過實(shí)踐和反復(fù)研究 ， 采用 圓柱端面規(guī) 作為長度基準(zhǔn) 。 6 三、工廠自己專用的長度基準(zhǔn) ? ? 測量平臺(tái)采用 00或 0級 ， 生產(chǎn)中使用的平臺(tái)的測量表面多數(shù)為矩形 ， 長寬比約為 4： 3， 高精度的平臺(tái)采用正方形臺(tái)面 ， 平面度達(dá)到 。 7 測量平臺(tái) 一、測量平臺(tái)的選擇 常用三塊平臺(tái)輪流對研 ， 找出凸起進(jìn)行刮研 ， 直到接觸斑點(diǎn)分布均勻 。把平晶置于被測表面上 ， 在單色光的照射下 ， 兩者之間形成等厚干涉條紋 ， 然后讀出條紋彎曲度 a及相鄰兩條紋的間距 b值 ， 被測表面的直線度誤差為 。 測完一次 ， 平晶向前移動(dòng) 50mm（ 等于平晶的半徑 ） 。 移動(dòng)時(shí) ， 前次的測點(diǎn)位置 ， 就是后次測量的前支承點(diǎn)位置 ， 如此依次逐段測完全長 ， 最后數(shù)據(jù)處理 ， 即可求出被測件的直線度誤差 。 測微準(zhǔn)直望遠(yuǎn)鏡或自準(zhǔn)直儀發(fā)出的光線為理想直線 ， 測出被測直線相對于該理想直線的偏差值 ， 經(jīng)數(shù)據(jù)處理求出被測線的直線度誤差 。 14 5）雙頻激光準(zhǔn)直儀法 當(dāng)反射鏡 7的頂點(diǎn)在光軸上時(shí) ， 頻率為 f1的偏振光在 R1點(diǎn)反射 ， 頻率為 f2的偏振光在 R2點(diǎn)反射 ， 則匯合光束的兩個(gè)頻率的光程差為零 。調(diào)整平晶與被測表面間的相對位置，使之產(chǎn)生較明顯的干涉條紋，然后根據(jù)干涉條紋來評定平面度誤差。 2） 如在第二檢測位置 ， 光隙變到90度角尺根部且 δ 1＝ δ 2， 則角度誤差全在圓柱 90度角尺 。 19 角度和圓分度的測量 比較法 用角度樣板測角度 用角度極限樣板檢查角度 一、角度和圓錐角的測量 20 平臺(tái)法 1）兩內(nèi)表面的夾角和內(nèi)錐角的測量 rt2a rc s in??)2a rc s in(2 ddt ???dhhdhh13122c o s2c o s??＝＝右左??V形塊對稱 V形塊不對稱 21 2）兩外表面的夾角和外錐角的測量（用兩直徑相等的圓柱和量塊測量） )2a rc t a n( 12 h ll ???22 3）兩外表面的夾角和外錐角的測量（用正弦尺測量） LHa r c s in21??23 該方法不易獲得很高精度： （ 1） 兩圓柱中心矩 L的偏差 、 兩圓柱的圓柱度誤差 、 兩圓柱軸線的不平行 、 量塊尺寸H的偏差 、 測量工作臺(tái)的平面度誤差等都很難減到很小； （ 2） 當(dāng) α達(dá)到 45176。 在分度頭基座上有支座 5， 其上裝有測量時(shí)定位用的分度值小于 1”的自準(zhǔn)儀 4。 實(shí)現(xiàn)圓分度的器件為圓分度器件 ， 例如度盤 、 圓光柵盤 、 圓感應(yīng)同步器 、 多齒分度盤等均可做為標(biāo)準(zhǔn)圓分度器件 。 多齒分度盤由兩個(gè)直徑 、 齒數(shù)和齒形均相同的上 、 下端齒組成 。 。配合 1440齒分度盤的讀數(shù) ， 可測量 0～ 360度內(nèi)的任意角度 。
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