【總結(jié)】項目名稱:表面等離子體超分辨成像光刻基礎(chǔ)研究首席科學(xué)家:羅先剛中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所起止年限:依托部門:中國科學(xué)院二、預(yù)期目標(biāo)本項目以國家在國民經(jīng)濟和國防高科技領(lǐng)域?qū)π畔⒖茖W(xué)技術(shù)中新一代微納信息器件的重大需求為牽引,研究SP超衍射光刻中的關(guān)鍵基本物理問題,結(jié)合我國中長期科技戰(zhàn)略發(fā)展規(guī)劃中的“極大規(guī)模集成電路制造技術(shù)及成套工藝”
2025-06-23 14:54
【總結(jié)】、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質(zhì)的第四態(tài),當(dāng)外加電壓達到氣體的著火電壓時,氣體被擊穿,產(chǎn)生包括電子、各種離子、原子和自由基在內(nèi)的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高,但重粒子溫度很低,整個體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài),所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用,使污染物分子在極短的時間內(nèi)發(fā)生分解,并發(fā)生后續(xù)的各種反應(yīng)以達到分解污染物的目的。
2024-11-07 09:53
【總結(jié)】酒泉鋼鐵(集團)有限責(zé)任公司嘉峪關(guān)2×350MW自備熱電聯(lián)產(chǎn)工程鍋爐等離子體點火系統(tǒng)調(diào)試措施煙臺龍源電力技術(shù)股份有限公司2020年12月1措施名稱:嘉峪關(guān)2
2025-08-21 02:28
【總結(jié)】1某市某某制藥有限公司制藥車間廢氣治理初步設(shè)計方案有限公司2020年12月17日2某市某某制藥有限公司制藥車間廢氣治理初步設(shè)計方案目錄一、項目概述
2024-10-20 04:17
2024-11-07 16:58
【總結(jié)】表面等離子體子共振(SurfacePlasmonResonance)光波導(dǎo)傳感器2021年3月electron——電子photon——光子magnon——磁子proton——質(zhì)子neutron——中子phonon——聲子plasmon——表面等離子體子,是指金屬表面沿著金
2025-05-11 20:25
【總結(jié)】第2章等離子體基本概念?介紹一些等離子體物理的基本概念,為進一步學(xué)習(xí)等離子體物理做些引導(dǎo)。等離子體與等離子體物理學(xué)?等離子體:當(dāng)物質(zhì)的溫度從低到高變化時,物質(zhì)將經(jīng)歷固體、液體和氣體三種狀態(tài),當(dāng)溫度再升高,氣體中的原子、分子出現(xiàn)電離狀態(tài),形成電子、離子組成的體系,這種由大量帶電粒子(有時還有中性粒子
2025-07-20 09:15
【總結(jié)】低溫等離子體(děnglízǐtǐ)消毒,第一頁,共四十三頁。,低溫(dīwēn)等離子體消毒,1.消毒(xiāodú)滅菌的定義2.低溫等離子體滅菌技術(shù)3.低溫等離子體的消毒機理4.低溫等離子滅菌的...
2024-11-01 17:00
【總結(jié)】等離子體物理習(xí)題與思考題第1章習(xí)題與思考題1、聚變能利用的基本原理和重要意義。2、實現(xiàn)聚變能利用的困難及解決的途徑。3、實現(xiàn)受控?zé)岷朔磻?yīng)能源利用的勞孫條件和自持燃燒條件(點火條件)第2章習(xí)題與思考題1、等離子體電荷屏蔽現(xiàn)象與準(zhǔn)電中性2、屏蔽庫侖勢與德拜屏蔽長度的意義3、試驗證
2025-08-01 13:42
【總結(jié)】第三章,等離子體診斷?概述?靜電探針和其它固體探針?磁探圈?電磁波散射?電磁波干涉和Faraday旋轉(zhuǎn)測量?電磁波發(fā)射?粒子束測量?漲落測量1,概述診斷的作用(對ITER而言)?保證安全運轉(zhuǎn)和等離子體控制(電流、電壓、位置、雜質(zhì)水平、硬X射線等)?為維持先進等離子體控制而提
2024-10-17 12:47
【總結(jié)】以下是西安交通大學(xué)最新的光機電一體化方面的科研成果信息,如企業(yè)對某個科研成果有合作意向,可注冊寧波市產(chǎn)學(xué)研創(chuàng)新服務(wù)平臺()企業(yè)會員查看專家聯(lián)系方式,也可聯(lián)系生產(chǎn)力促進中心詢問專家的聯(lián)系方式進行洽談。聯(lián)系人:俞文明聯(lián)系電話:0574-27877186快速成形集成制造系統(tǒng)負(fù)責(zé)人:盧秉恒所在院所:西安交通大學(xué)機械工程學(xué)院先進制
2025-07-30 05:56
【總結(jié)】微電子封裝中等離子體清洗及其應(yīng)用聶磊,蔡堅,賈松良,王水弟(清華大學(xué)微電子學(xué)研究所,北京100084)摘要:隨著微電子工藝的發(fā)展,濕法清洗越來越局限,而干法清洗能夠避免濕法清洗帶來的環(huán)境污染,同時生產(chǎn)率也大大提高。等離子體清洗在干法清洗中優(yōu)勢明顯,本文主要介紹了等離子體清洗的機理、類型、工藝特點以及在微電子封裝工藝中的應(yīng)用。關(guān)鍵詞:等離子體清洗;干法清洗;微電子封裝中圖分類號
2025-06-20 05:57
【總結(jié)】等離子體滲氮(輝光離子氮化)工藝作為一種有效的鋼鐵及合金表面強化技術(shù)在工業(yè)上已得到廣泛的應(yīng)用,與其他滲氮相比,離子滲氮具有滲速快、滲層脆性疏松理想、零件變形小、有利于不銹鋼、鑄鐵滲氮、節(jié)能、無污染等特點。七十至八十年代,以直流電源(即LD系列)設(shè)備進行離子滲氮,問題明顯突出,裝爐要求嚴(yán)格。以曲軸為例:曲軸滲氮前必須對其油孔、平衡孔進行封堵,其中若有一孔未堵或封堵件在滲氮過程中有一件掉落
2025-06-27 07:21
【總結(jié)】電弧等離子體發(fā)生器中傳熱與流動的數(shù)值模擬*黎林村,夏維東**(中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)熱科學(xué)與能源工程系,安徽合肥230027)摘要:本文利用CFD軟件FLUENT,將等離子體發(fā)生器陽極歸入計算域,對其內(nèi)部的傳熱與流動進行了數(shù)值模擬。計算結(jié)果表明,在本文中,將陽極邊界簡化為等溫條件是合理的。提高進氣速度或減小電弧電流,都會使得陽極弧根向下游移動。等離子體發(fā)生器出口處溫度和速度
2025-08-09 13:26
【總結(jié)】分類號密級:機密碩士學(xué)位論文題目:PECVDSiOx-SiNx疊層鈍化膜及等離子體氧化的研究英文并列題目:TheStudyofPECVDSiOx-SiNxStackPassivationFilmsandPlasmaOxidation
2025-06-28 11:12