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【材料課件】13電子探針顯微(已修改)

2025-02-21 18:51 本頁(yè)面

　

【正文】第十三章電子探針顯微分析 ? 電子探針的原理 ? 電子探針儀的結(jié)構(gòu) ? 波譜儀 (WDS) ? 能譜儀 (EDS) ? 電子探針儀分析方法 3/1/2023 1 HNUZLP 電子探針的原理 ?用細(xì)聚焦電子束入射樣品表面，激發(fā)出樣品中各元素的特征（標(biāo)識(shí)） X射線： –定性分析分析特征 X射線的波長(zhǎng)（或特征能量），得到元素的種類； –定量分析－分析特征 X射線的強(qiáng)度，得到樣品中相應(yīng)元素的含量 3/1/2023 2 HNUZLP 電子探針儀的結(jié)構(gòu) ?電子探針儀主要由電子光學(xué)系統(tǒng)、 X射線譜儀、樣品室、掃描顯示系統(tǒng)、計(jì)算機(jī)與自動(dòng)控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)及一些必要的附件組成。 ?結(jié)構(gòu)示意圖。 ?電子探針儀常與掃描

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