改良西門子法制備高純多晶硅(已修改)
2025-07-09 15:51 本頁面
【正文】 改良西門子法制備高純多晶硅摘 要：本文主要敘述了高純多晶硅的各種制備方法，有三氯氫硅氫還原法、硅烷熱分解法、四氯化硅氫還原法、流化床法、物理提純法等其他制備高純多晶硅的工藝。[1]其中重點介紹了現(xiàn)在普遍都使用，技術(shù)相對成熟的改良西門子法，包括改良西門子法的制備工藝、三氯氫硅的提純與尾氣處理。關(guān)鍵詞:高純多晶硅；良西門子法；尾氣處理The preparation of high purity poly crystalline silicon modified SiemensAbstract：This paper mainly describes various preparation methods of high purity poly crystalline silicon,hydrogen reduction method,the silicon crosslinked with hydrogen silica thermal deposition method,silicon tetra chloride hydrogen reduction method,fluidity bed method,physical purification method preparation of high purity poly crystalline silicon and other crafts. Which focus on widely used now， the technology is relatively mature and improved Siemens method,including improved Siemens method of preparation,chemical hydrogen purification of silicon and tail gas treatment.Keywords: high purity poly crystalline silicon；a good method of Siemens；tail gas treatment.緒論 近年來，太陽能硅電池、半導體工業(yè)和電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅猛，而多晶硅是這些產(chǎn)業(yè)的最基本和主要的功能材料，因此，多晶硅的生產(chǎn)受到了各國企業(yè)的重視。越來越多的人注重多晶硅的研究與生產(chǎn)。在此我主要介紹一下改良西門子法制備高純多晶硅的生產(chǎn)過程以及尾氣處理。1 高純多晶硅的生產(chǎn)方式 三氯氫硅氫還原法 三氯氫硅氫還原法是德國西門子（Siemens）公司于1954年發(fā)明的，又稱西門子法，是廣泛采用的高純多晶硅制備技術(shù)，國際上生產(chǎn)高純多晶硅的主要大公司都采用該技術(shù)，包括瓦克（Walker）、海姆洛克（Hemlock）和德山（Tokoyama）。其化學反應式為： Si+3HCl→SiHCl3+H2 （1）反應除了生成中間化合物三氯氫硅外，還有附加產(chǎn)物，如SiClSiH2Cl2和FeClBClPCl3等雜質(zhì)，需要精餾提純。經(jīng)過粗餾和精餾兩道工藝，三氯氫硅中間化合物的雜質(zhì)含量可以降到107～1010 數(shù)量級。 將置于反應室的原始高純多晶硅細棒（直徑約5mm）通電加熱到110
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