【正文】 視窗版自動(dòng)化鍍膜製程系統(tǒng)操作手冊 　　使用單位：PreOptix 　　編寫單位：永韶科技有限公司　　　版權(quán)所有：永韶科技有限公司　 翻印必究 編寫時(shí)間：2009 01/13版 本： 　視窗版自動(dòng)化鍍膜製程系統(tǒng)目錄 檔案 硬體設(shè)定 功能測試 製程分析 製程監(jiān)控 線上量測 其他功能 系統(tǒng)特色 監(jiān)控系統(tǒng)簡要1. 如何進(jìn)入自動(dòng)化鍍膜製程系統(tǒng): 開啟電腦進(jìn)入視窗(Windows)作業(yè)系統(tǒng)後,點(diǎn)選桌面捷徑(須注意開啟路徑是否正確)即可開啟畫面如下圖:注意：1) 中間顯示圖框會(huì)出現(xiàn)兩次，第一次顯示，提示所載入之製程檔(***.tfc)，一般是上次最後一次進(jìn)入之製程檔，提供操作者判斷所選擇之製程檔是否正確，不正確就需重選。2) 按下 OK 會(huì)出現(xiàn)另一個(gè)提示圖框，顯示是否正確載入製程分析檔(***.mit) ，若顯示無法讀取此檔資料，即可能上次新建立之製程檔時(shí)，沒有正確的分析及存檔，必需重新分析存檔，如此才能進(jìn)入蒸著程序。3) 再按下 OK 即可呈現(xiàn)下面圖示，此圖示即為此製程執(zhí)行檔之主畫面。 Auto1 執(zhí)行檔若出現(xiàn)問題，無法正常關(guān)閉時(shí)，請使用 Windows 關(guān)閉，再開啟 Auto1 即可。 : 此系統(tǒng)主要功能 分為下列七大項(xiàng)，將逐項(xiàng)說明。 檔案 建立新製程檔、開啟已存製程檔、存檔及另存新檔 硬體設(shè)定 電腦與硬體之連線設(shè)定如 PLC，真空計(jì)，石英振盪…等 功能測試 細(xì)部製程相關(guān)硬體測試 製程分析 製程檔案編輯、材料檔編輯及膜層分析 製程監(jiān)控 自動(dòng)蒸著、補(bǔ)層蒸著、製程相關(guān)資料檔編輯及各顯示畫面 線上量測 可將廣波域當(dāng)光譜儀量測,暗電流校正及重新取光 其他功能 計(jì)算nk值及膜厚微調(diào) PS: 1)主功能或次功能出現(xiàn)反白時(shí)，表示此功能在此系統(tǒng)不提供或在此狀況下無法作動(dòng)。 2)主功能下方有訊息提示欄，顯示動(dòng)作訊息，有助對(duì)系統(tǒng)動(dòng)作的掌握與除錯(cuò)。 檔案功能 此主下拉功能細(xì)分下列幾項(xiàng)次功能 新製程檔 開啟製程 存檔 另存新檔 英文顯示 中文顯示 離開 新製程檔：游標(biāo)移至檔案，按下滑鼠左鍵，即呈現(xiàn)如上圖之畫面，選擇”新製程檔”,即可進(jìn)入新製程檔設(shè)定畫面,，按一下”顯示資料”，在此畫面下即可進(jìn)行編輯。PS: 1)新製程檔名內(nèi)定為 ，以前一次所開啓之檔案為樣板，建議另存新檔、更名後再進(jìn)行編輯。 2)如何編輯製程檔資料，詳細(xì)見後。 開啟製程： 將游標(biāo)移至”檔案”224。”開啟製程”點(diǎn)選,。在此畫面下即可點(diǎn)選之前已存舊檔案，開啟舊檔後便可進(jìn)行編輯(副檔名為*.tfc)。 存檔： 將游標(biāo)移至”檔案”224?！贝鏅n”點(diǎn)選,即可進(jìn)行檔案儲(chǔ)存,需注意檔案存檔路徑以及檔名，、。必須密碼正確才允許存檔。 另存新檔： 將游標(biāo)移至”檔案”224?！绷泶嫘聶n”點(diǎn)選,，在檔案名稱位置上輸入所要儲(chǔ)存之名稱(不需輸入副檔名，系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)添加)，再按存檔鈕即可存檔。 英文顯示: 可將系統(tǒng)顯示切換為英文顯示， 中文顯示 可將系統(tǒng)顯示切換為中文顯示 離開: 點(diǎn)選”檔案”224。 ”離開”,即可關(guān)閉此系統(tǒng)。 硬體設(shè)定功能此主下拉功能細(xì)分下列幾項(xiàng)次功能 主控 PLC 介面 真空計(jì)介面 石英振盪器介面 膜厚監(jiān)控器介面 離子鎗流量控制器介面 離子鎗陰極控制器介面 離子鎗陽極控制器介面 D/A Channel 設(shè)定 ,每項(xiàng)皆有內(nèi)定值。系統(tǒng)中若有某些功能項(xiàng)反白，表示此系統(tǒng)沒有此項(xiàng)硬體設(shè)備。 要點(diǎn)說明：1) 硬體設(shè)定功能是電腦監(jiān)控系統(tǒng)與被控制設(shè)備之間訊號(hào)傳輸設(shè)定， 其設(shè)定與硬體連接線有密切的一對(duì)一關(guān)係。 2) 在此系統(tǒng)中，硬體設(shè)定介面有下列幾項(xiàng)： 或 RS485 傳輸介面，其傳輸埠位置是以 COM 命名，如PLC RS232 連接線插在 PC COM1 上，其PLC 傳輸設(shè)定埠就需選擇 COM1 的位置，以此類推，如石英振盪器介面、真空計(jì)介面、離子鎗控制器介面…也是如此。，一般指的是光學(xué)膜厚監(jiān)視器，系統(tǒng)中之類比訊號(hào)控制通道，也是一對(duì)一關(guān)係。3) 進(jìn)入此項(xiàng)次功能，必須有通關(guān)密碼，**此項(xiàng)功能深具破壞性，非製程維修專業(yè)人員請勿設(shè)定** 主控 PLC 介面： 將游標(biāo)移至”硬體設(shè)定功能”224?！敝骺?PLC 介面”點(diǎn)選,即出現(xiàn)通關(guān)密碼畫面，；若輸入正確密碼，在此功能設(shè)定上，需設(shè)定二個(gè)參數(shù)PLC型式、PLC傳輸埠。說明如下:1) 下拉列表點(diǎn)選 PLC 型式，若無需此項(xiàng)功能或欲關(guān)閉此功能，則須點(diǎn)選”NONE”。2) 在傳輸埠列項(xiàng)中，點(diǎn)選與硬體相對(duì)應(yīng)的傳輸埠設(shè)定3) 若確定無誤，需點(diǎn)按”確定”按鈕才能有效設(shè)定與離開，若無法確認(rèn)或只是查看請按 ”取消”離開。4) 點(diǎn)按”內(nèi)定值”可查看原始設(shè)定，只要不按”確認(rèn)”就不會(huì)儲(chǔ)存。 其他傳輸埠介面： 其他硬體如真空計(jì)、石英振盪器、離子鎗流量控制器、離子鎗陰極控制器或離子鎗陽極控制器…，若是透過 RS232 或 RS485 傳輸埠控制，其硬體設(shè)定如同 PLC 介面設(shè)定一般。 膜厚監(jiān)控器介面： 將游標(biāo)移至”硬體設(shè)定功能”224。”膜厚監(jiān)控器介面”點(diǎn)選,即出現(xiàn)通關(guān)密碼畫面，；若輸入正確密碼。說明如下:1) 下拉列表點(diǎn)選膜厚監(jiān)控器，若無需此項(xiàng)功能或欲關(guān)閉此功能，則須點(diǎn)選”NONE”。2) 若確定無誤，需點(diǎn)按”確定”按鈕才能有效設(shè)定與離開，若無法確認(rèn)或只是查看請按 ”取消”離開。3) 點(diǎn)按”內(nèi)定值”可查看原始設(shè)定，只要不按”確認(rèn)”就不會(huì)儲(chǔ)存。 D/A Channel 設(shè)定： 將游標(biāo)移至”硬體設(shè)定功能”224?！?D/A Channel 設(shè)定”點(diǎn)選,即出現(xiàn)通關(guān)密碼畫面，；若輸入正確密碼。說明如下:1) 系統(tǒng)中若需透過 D/A(數(shù)位轉(zhuǎn)類比)卡之類比通道(Channel)控制之功能，必需由此畫面來選擇設(shè)定。2) 每一功能項(xiàng)對(duì)應(yīng)唯一通道編碼。3) 不同型態(tài)的鍍膜機(jī)，其透過 D/A 輸出的功能可能有所不同。4) 一般情況下，若各功能輸出控制沒問題，請勿任意更改通道設(shè)定，否則會(huì)產(chǎn)生誤動(dòng)作，輕者製程不良，重者機(jī)械受損5) 若某一功能輸出有誤(一般是有設(shè)定，無輸出或全輸出) ，可在功能測試的相關(guān)位置設(shè)定一個(gè)值，然後在相對(duì)應(yīng)的硬體通道，利用三用電表量一量輸出。若是輸出正常，表示DA 通道無誤，可能是後端接線有誤或後端設(shè)備有問題；若輸出不正常，表示此通道受損，就必須更換到其他未用之通道，記得軟體設(shè)定也必須更替到相關(guān)通道編碼，如此才能正常工作。若通道用完，無通道可換，就需送修。6) 若同時(shí)有數(shù)個(gè)通道有誤，有可能卡沒插好或翹起，可試著打開電腦重新安裝(注意:務(wù)必關(guān)閉電腦電源) ，若幾次尚不能解決，此卡就需考慮送修。7) 若確定無誤，需點(diǎn)按”O(jiān)K”按鈕才能有效設(shè)定與離開，若無法確認(rèn)或只是查看請按 ”Cancel”離開。 * PIO D/A(ISO D/A) 其通道編碼與硬體接腳定義如下：DTYPE 37 PIN: PIN: 1CH00 6CH04 11CH08 16CH12 2CH01 7CH05 12CH09 17CH13 3CH02 8CH06 13CH10 18CH14 4CH03 9CH07 14CH11 19CH15 5Com(GD) 10Com(GD) 15Com(GD) 20Com(GD) 功能測試此主下拉功能細(xì)分下列幾項(xiàng)次功能 氧流量控制測試 真空計(jì)功能測試 石英監(jiān)控測試 PLC相關(guān)功能測試 廣波域介面功能測試 離子鎗相關(guān)功能測試 ,點(diǎn)選其中一項(xiàng)就可進(jìn)入相對(duì)應(yīng)之測試畫面，進(jìn)而進(jìn)行所需之功能測試。系統(tǒng)中，若有某些功能項(xiàng)反白，表示系統(tǒng)沒有此項(xiàng)硬體功能測試。如此做，方便使用者進(jìn)行硬體功能除錯(cuò)，提高系統(tǒng)維護(hù)之效益。 氧流量控制測試 將游標(biāo)移至”功能測試”224?！毖趿髁靠刂茰y試”點(diǎn)選,即出現(xiàn)。說明如下:1) 若腔體氧流量控制(APC)是由 PLC D/A模組輸出控制，而不是經(jīng)由獨(dú)立 D/A卡輸出控制，則此測試功能反白無效，將此測試功能併入 PLC相關(guān)功能測試中。2) 其測試相當(dāng)簡單，在設(shè)定框輸入所想輸出之流量，再點(diǎn)擊”輸出”按鈕即可。3) 若無法正常作動(dòng)，其檢查步驟如下:，(MFC)是否正常。4) 測試前，務(wù)必打開氧氣瓶、流量閥、電磁閥，以免誤判5) “歸零”按下則流量輸出會(huì)歸零，若想離開此測試畫面，按下”退出”鈕即可。 真空計(jì)功能測試 將游標(biāo)移至”功能測試”224?！闭婵沼?jì)功能測試”點(diǎn)選,即出現(xiàn)。說明如下:1) 若真空壓力回授是來自PLC A/D模組，而不是來自獨(dú)立Gauge Monitor的話，則此測試功能反白無效，將此測試功能併入 PLC相關(guān)功能測試中。2) 測試也相當(dāng)簡單，祇要按下”擷取”鈕，若能持續(xù)擷取真空壓力值，就表示功能正常；若擷取停止，呈現(xiàn)當(dāng)機(jī)現(xiàn)象或有警告對(duì)話框出現(xiàn)，就表示此功能無法正常工作，必需檢修。若要停止擷取按”停止”鈕即可，若要離開測試則按”退出”。3) 誠如 ，Gauge Monitor 是透過 RS232