【正文】 氣體質(zhì)量流量控制器 氣體體積流量控制器 操作手冊 10/26/2020 DOCALIMAN16C 1 保護(hù)你的權(quán)益和延長你的產(chǎn)品使用壽命 設(shè)備應(yīng)用的注意事項 請不要 隨意 拆卸，替換部件，或者執(zhí)行未經(jīng)認(rèn)可的修正。這樣會使產(chǎn)品失去保修。本設(shè)備無用戶可維護(hù)部件，并且只能由廠家授權(quán)方維護(hù)或維修。 不要 在易爆，潮濕或腐蝕的環(huán)境下使用此產(chǎn)品。 不要 用于任何腐蝕性的氣體，例如：氨，丙烯， HCI， SO2， H2S， NO2， NO，硅 烷，氯，等等 不要 在流動氣體，當(dāng)水蒸汽凝結(jié)成水，并堵塞產(chǎn)品內(nèi)部的條件下使用此產(chǎn)品，這樣會造成壓力傳感器的破壞 不要 使用一個量程范圍超出實際測量值很多的流量計，例如，不要把 1000 升的量程用在 100升的應(yīng)用上，這樣會導(dǎo)致流量計達(dá)不到理想的精度。 判斷 你的流量計量程，確定工況流量是流量計滿量程的 70%左右。 設(shè)備安裝的注意事項 不要快速 的切斷 /開啟閥，那樣會致使流量計處在瞬時的高壓下－（尤其重要的是低流量（ 50SCCM 和更低）和小流量的流量線路），因為那樣能造成差壓傳感器的損壞。 在固定或 移動配件時， 不要 讓控制器的閥門處于受力狀態(tài) —— 閥門是一個精密設(shè)備，任何閥徑的扭曲都會影響產(chǎn)品的控制性能。 不要 讓流量控制器的外殼置于任何液體中，因為本產(chǎn)品不具有防水的電氣外殼。 保證 電源具有正確的正負(fù)極，電壓和電流 確保在使用一個 DC61 或其他鈍切電纜時，在通電之前請仔細(xì)檢查你的接線線路。 如果可能的話，請確保 在設(shè)備的前端使用一個 2050 微米）過濾系統(tǒng)（ 2 設(shè)備操作的建議 確保 質(zhì)量和體積流量計的標(biāo)定介質(zhì)與測量介質(zhì)一致。 確保 考慮到了當(dāng)改變測量氣體或測混合氣體時，會減小質(zhì)量和體積流量計的 精度，和出現(xiàn)無法預(yù)測的結(jié)果。請查看手冊中關(guān)于校正附備氣體粘度的指示。 確保設(shè)備不要 使用在高壓，或高背壓的環(huán)境中。通常使用在 10~15 PSIG（ ~1bar）的壓力下。不可超過此壓力，否則測量數(shù)據(jù)不準(zhǔn)確，并且還會給儀表造成損害。 確保 設(shè)備經(jīng)常復(fù)位，在復(fù)位的時候，應(yīng)該確保此時絕對沒有流量通過。（控制器將在設(shè)定點為零的時候自動復(fù)位） 確保 產(chǎn)品使用在 150PSIG 壓力下。對于壓力表和壓力控制器，產(chǎn)品的壓力應(yīng)該在其滿量程之內(nèi)。產(chǎn)品特別指定，在低壓使用時可能會減小耐壓極限。 確保 產(chǎn)品在最佳性能下運行 確保 可以調(diào)節(jié)你的控制器 P 和 D 閥參數(shù)設(shè)置，以便適應(yīng)您的系統(tǒng)要求，注意調(diào)節(jié)前的最初設(shè)置 永遠(yuǎn)不要 在沒有壓力的情況下，來設(shè)置控制器的非零的設(shè)定點。這樣的話，控制器會給閥門提供一個滿電壓，來達(dá)到這個設(shè)定點。這樣會使閥門變得非常熱而永久損壞 確保 根據(jù)你的重新校準(zhǔn)表來使用產(chǎn)品 如果您有問題請聯(lián)系我們。我們樂意為您提供幫助！ 北京頗特儀器有限公司 聯(lián)系電話： 010－ 6442403轉(zhuǎn) 28 分機(jī) 技術(shù)部 3 目錄 頁數(shù) 安裝 5 管道設(shè)備 5 裝配 5 應(yīng)用 5 電源和信號連 接 6 輸入信號 7 模擬輸入信號 7 RS232 數(shù)字輸入信號 7 輸出信號 7 RS232 數(shù)字輸出信號 7 標(biāo)準(zhǔn)（ 05Vdc）電壓輸出信號 8 選項 010Vdc 電壓輸出信號 8 選項（ 420mA）電流輸出信號 8 選項第 2 路模擬輸出信號 8 氣體質(zhì)量流量控制器操作說明 10 主模式 10 設(shè)定點 10 氣體絕對壓力 10 氣體溫度 10 體積流量 11 質(zhì)量流量 11 閃爍報警信息 11 選擇菜單模式 11 控制設(shè)定點模式 12 輸入 12 回路 13 選擇回路 13 氣體選擇模式 14 通信選擇模式 15 部件 ID 15 波特率 15 數(shù)據(jù)速率 15 廠家數(shù)據(jù)模式 16 4 目錄 頁數(shù) 氣體體積流量控制器操作說明 17 主模式 17 體積流量 17 設(shè)定點 17 閃爍報錯信息 17 選擇菜單模式 18 控制設(shè)定點模式 18 輸入 18 選擇回路 19 氣體選擇模式 20 通信選擇模式 20 廠家數(shù)據(jù)模式 20 RS232 輸出和輸入 20 超級終端的使用和設(shè)置 20 切換流模式到輪循模式 20 通過 RS232 發(fā)送設(shè)定點 21 通過 RS232 線纜調(diào)節(jié)比例和導(dǎo)數(shù)條款 22 選擇一種氣體 23 數(shù)據(jù)格式 24 RS232 通訊協(xié)議基本結(jié)構(gòu) 25 Alicat 質(zhì)量流量控制器的設(shè)定點輸入方式切換 26 操作原理 27 常見問題及技術(shù)支持 28 標(biāo)準(zhǔn)氣體數(shù)據(jù)表 30 氣體質(zhì)量流量控制器和體積流量控制器性能指標(biāo) 32 氣體質(zhì)量流量控制器和體積流量控制器尺寸圖 36 選項：累計模式 39 選項： 9V電池包 40 選項：本地設(shè) 定點模塊 42 選項：高溫選項 43 附件： FlowVision 軟件 44 附件說明 45 5 感謝您購買 ALICAT 氣體流量控制器。請仔細(xì)查找和閱讀該操作手冊。這樣會幫助您更好地使用 ALICAT 產(chǎn)品。該手冊介紹了以下 Alicat 的產(chǎn)品： 16 位 氣體質(zhì)量流量控制器 16 位 氣體體積流量控制器 安 裝 管道設(shè)備 所有 ALICAT 氣體流量控制器，進(jìn)口和出口都是內(nèi)螺紋連接。由于流量計在流量主 體中安裝了一個層流元件，因此流量計的前端或后端無須是直管道。進(jìn)口和出口尺寸相同，并且是同軸對稱。通常說來， 端口大小和尺寸根據(jù)量程的不同而變化。 配有 1032 端口的控制器，有“ O”型環(huán)面密封，無須其他的密封劑和膠帶。注意不要在端口上面使用密封劑或粘稠物，因為當(dāng)這些化合物進(jìn)入流量計時，會致使流量計永久性的損害。當(dāng)使用螺紋密封時，通常采用特伏龍密封膠帶，來防止螺紋周邊的泄漏。當(dāng)使用密封膠帶時，避免殘留在第一個牙或第二個牙上，這樣降低密封帶碎片進(jìn)入氣流的可能性（它會使流量計損壞）。當(dāng)更換配件時，一定要先清除螺紋 外部的任何密封帶，否則它們可能會松落，并進(jìn)入氣流中。 此外，推薦在滿量程為 1（ S） LPM，或者低于 1（ S） LPM 的控制器前端管路中，安裝一個20 微米過濾器，或者在滿量程為 1（ S） LPM 以上的控制器的前端管路，安裝一個 50 微米的過濾器。 裝配 所有 ALICAT 氣體流量控制器，都帶有方便安裝在平坦的面板上的裝配孔。在手冊的 36 到38 頁說明了這些孔的尺寸大小。小閥門控制器對位置通常是不敏感的。大閥門控制器對于位置有些敏感，因為由于閥門是由相當(dāng)厚重的柱體裝置而成的。推薦閥門柱體要豎直安裝。如果大閥門安裝的位置與 推薦位置不同，這時給控制器一個零設(shè)定值，當(dāng)彈簧力關(guān)閉閥門的時候，容易會產(chǎn)生泄漏。 應(yīng)用 允許最大的在線操作壓力為 125PSIG（ 862 kPa）。 注意：超過 150 PSIA 在線壓力時，會導(dǎo)致固態(tài)差壓傳感器永久性的損壞。 如果在線壓力高于 125 PSIG（ 862 kPa） , 應(yīng)當(dāng)在流量控制器的前端管路中，安裝一個壓力調(diào)節(jié)器，使壓力降低到 125 PSIG（ 862 kPa），或更低壓力。我們控制器的許多類型都是根據(jù)廣泛咨詢顧客的特殊應(yīng)用才設(shè)計出來的。根據(jù)應(yīng)用的不同，兩個控制器會有相同量程，但是型號會有所不同 ?？刂破鲝囊粋€應(yīng)用領(lǐng)域到另一個時，應(yīng)該仔細(xì)測試它在新應(yīng)用中的適應(yīng)性。注意體積流量計和控制器不適合應(yīng)用在高壓或高背壓的環(huán)境中。通常都應(yīng)用在 10~15 PSIG（ ~1bar）的壓力條件下。不可超過此壓力，否則測量數(shù)據(jù)不準(zhǔn)確，而且還會給儀表造成損害 。 6 電源和信號連接 如圖 1 所示， ALICAT 控制器通過電源插座，或者的 8 針 MiniDIN 連接器來供應(yīng)電源。如下面的注釋，用一個適配器來使交流轉(zhuǎn)換為直流電壓和電流。電源插座配有正極為 的凹槽電壓插頭。電纜和直流 /交流適配器可從制造廠家購買（看 45 頁配 件），或者由當(dāng)?shù)氐闹圃焐讨圃?。通過 MiniDIN 連接器供應(yīng)電源，如下面所示： 小型閥門：如果你的控制器使用小閥門（大約是你的拇指大小），則需要一個 1218Vdc（標(biāo)準(zhǔn) 的 68歐姆閥門線圈）或 1928Vdc（選項為 136 歐姆閥門線圈） 帶有 mm 正極凹槽插頭，同時須配有 300mA 電流的電源供應(yīng)。 注意： 420mA 輸出模式時，電源要求至少15Vdc。 大型閥門：如果你的控制器使用一個大型閥門（大約你拳頭的大?。?要一個 2430VDC帶有 mm 正極凹槽插頭，配有 750mA的供應(yīng)電流的電源供應(yīng)。 針數(shù) 功能 MiniDIN 線纜顏色 1 420mA輸出信號或無用 黑色 2 或 第二路模擬輸出（ 420mA,5 Vdc,10 Vdc） 或 報警 褐色 3 RS232 輸入信號 紅色 4 模擬設(shè)定點輸入信號 橙色 5 RS232 輸出信號 黃色 6 05 Vdc（或 010 Vdc）輸出信號 綠色 7 電源正極輸入（如上所述） 蘭色 8 地線（公共端） 紫色 注解：上面的針輸出說明，應(yīng)用在所有的使用 MiniDIN 連接器的流量計和控制器上。不同輸出信號的實用性， 決定于流量控制器的選項預(yù)定。 表中帶 下劃線 的選項，為儀表標(biāo)準(zhǔn)單上注明的可選配置 圖 1 通用 8 針 MiniDIN 連接器針口 注意：禁止連接電源到 1~6 針上以免造成永久的損壞！ 7 輸入信號 模擬輸入信號 如圖 1， 4 針連接模擬輸入信號 標(biāo)準(zhǔn)信號 05Vdc：標(biāo)準(zhǔn)模擬輸入信號是 05Vdc，除非訂購其它輸入方式。在 4 針上接 05Vdc的輸入信號， 8 針上接其公共地線端。在 2 針上有一個 的電壓輸出，然后通過一個 50K 歐姆的電位計，將轉(zhuǎn)換的模擬輸入信號再返回到 4 針，這樣就構(gòu)成一個可調(diào)節(jié)的05Vdc 輸入信號源。 如圖所示： 圖 可選信號 010Vdc：如果訂購時選用此模式，則把 010 Vdc 輸入信號接到 4針上，公共地線端接到 8 針上。 可選信號 4~20mA：如果訂購時選用此模式，則把 420mA輸入信號將接到 4 針上，公共地線接到 8 針上。 注意 ： 420mA的輸出模式要求至少由 15Vdc 的電源供應(yīng)。 RS232 數(shù)字輸入信號 如果你使用 RS232輸入信號，按圖 2 所示，必須把 RS232輸出信號（ 5針）， RS232輸入信號（ 3 針）， 和地線（ 8 針）接到你的計算機(jī)串行口上。連接電纜可以使用廠家制造的，或采用本地制造商制造。在圖 3中，注意圖表顯示的連接“端口”界面圖，連接器在流量計的上部， DB9型端口在計算機(jī)的背部。電纜終端和圖 3成鏡象顯示（見 20頁的 RS232輸出和輸入的詳細(xì)說明） 輸出信號 **注意 **回顧圖 1的針輸出類型表格（ page 6）。 通常容易誤將 2針（ Vdc輸出參考電壓）作為標(biāo)準(zhǔn)的 05 Vdc的模擬輸出信號！ 實際上 2 針只是普通的恒定的 電壓，它反映的是系統(tǒng)總電壓，也可以作為輸入信號的電源。允許用 戶通過一個 50K 歐姆電位計控制輸出，然后返回模擬設(shè)定點針口，這樣就構(gòu)成一個 05Vdc 的設(shè)定電源。 RS232 數(shù)字輸出信號 如果你使用 RS232輸出信號，按圖 2 所示，必須把 RS232輸出信號（ 5針）， RS232輸入信號（ 3 針），和地線（ 8 針）接到你的計算機(jī)串行口上。連接電纜可以使用廠家制造的，或根據(jù)采用本地制造商制造。在圖 3中，注意圖表顯示的連接“端口”界面圖，連接器在流量 8 計的上部， DB9 型端口在計算機(jī)的背部。電纜終端和圖 3成鏡象顯示（見 20 頁的 RS232輸出和輸入的詳細(xì)說明） 標(biāo)準(zhǔn)（ 05Vdc）電壓輸出信號 所有的 ALICAT 流量控制器的 6 針上都具有 05Vdc 的（選項 010Vdc）輸出信號。 這個通常也是 其他的訂購命令的輸出選項 ， 電壓對應(yīng)量程范圍：零流量時對應(yīng) ，滿量程時對應(yīng) 。輸出電壓在整個量程過程中呈線性的。接地端為信號的公共端 8 針。 選項 010Vdc 電壓輸出信號 如果你的流量計訂購的是