【正文】 尺寸圖請(qǐng)參考第 36 頁(yè) 。 ALICAT氣體質(zhì)量流量控 制器、體積流量控制器機(jī)械指標(biāo) 質(zhì)量流量控制器 滿量程范圍 體積流量控制器 滿量程范圍 尺寸 過(guò)程連接 壓降 ** （ PSID） ＞ 250SLPM ＞ 250LPM ″ Hх ″ Wх ″ D 3/4″ NPT 內(nèi)螺紋 1000SLPM 1000LPM 1500SLPM 1500LPM *可選 1/8″ NPT 內(nèi)螺紋。302 不銹鋼， Viton174。 % 滿量程 量程比 100:1 測(cè)量和控制 響應(yīng)時(shí)間 100 毫秒（可調(diào)） 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài) (STP) 25℃ amp。 %讀數(shù)177。 %讀數(shù)177。 **可選擇更低的壓降，請(qǐng)聯(lián)系廠家。 RTV 硅樹脂，玻璃纖維增強(qiáng)尼龍，鋁，銅， 410 不銹鋼 *對(duì)于體積流量控制器，若入口壓力＞ 10PSIG時(shí)，須同廠家聯(lián)系。 （ ） 無(wú) 僅測(cè)量質(zhì)量流量用 溫度范圍 10～ 50 ℃ 零點(diǎn)漂移 ％ 滿量程 /℃ /Atm 量程漂移 ％ 滿量程 /℃ /Atm 濕度范圍 0100% 無(wú)冷凝 測(cè)量流量范圍 ％ 滿量程 最大耐壓 150 150* PSIG 輸入 /輸出（數(shù)字） 質(zhì)量流量、體積流量、絕壓和溫度 體積流量 RS232 串口 輸入 /輸出（模擬） 質(zhì)量流量 體積流量 05VDC 可選輸入 /輸出 第二路模擬 質(zhì)量流量、體積流量、絕壓或溫度 體積流量 05VDC,010VDC 或 420mA 電氣連接 8 針 小型圓插頭 供電電壓 2430VDC 供電電流 最大 安裝位置敏感度 0% 安 裝后清零 預(yù)熱時(shí)間 ＜ 1 秒 接液材質(zhì) 303amp。 %滿量程 清零后在校準(zhǔn)條件下 重復(fù)性 177。 %滿量程 清零后在校準(zhǔn)條件下 高精度 177。 34 尺寸圖請(qǐng)參考第 35 頁(yè) Alicat 氣體質(zhì)量流量控制器、體積流量控制器性能 指標(biāo) 量程范圍 ：＞ 20 SLPM ～ 0250SLPM 指標(biāo) 質(zhì)量流量控制器 體積流量控制器 描述 精度 177。 **使用 24V 時(shí)需指定 24V線圈 . ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器、體積流量控制器機(jī)械指標(biāo) 質(zhì)量流量控制器 滿量程范圍 體積流量控制器 滿量程范圍 尺寸 過(guò)程連 接 壓降 ** （ PSID） ＞ 50SCCM～ 500SCCM ＞ 50CCM～ 500CCM ″ Hх ″ Wх ″ D 1/8″ NPT 內(nèi)螺紋 1SLPM 1LPM 5SLPM 5LPM 10SLPM 10LPM 20SLPM 20LPM ″ Hх ″ Wх ″ D 1/8″ NPT 內(nèi)螺紋 *可選 1/8″ NPT 內(nèi)螺紋。302 不銹鋼， Viton174。 % 滿量程 量程比 100:1 測(cè)量和控制 響應(yīng)時(shí)間 100 毫秒（可調(diào)） 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài) (STP) 25℃ amp。 %讀數(shù)177。 %讀數(shù)177。 **可選擇更低 的壓降，請(qǐng)聯(lián)系廠家。 RTV 硅樹脂，玻璃纖維增強(qiáng)尼龍 ，鋁，銅， 410 不銹鋼 *對(duì)于體積流量控制器，若入口壓力＞ 10PSIG時(shí)，須同廠家聯(lián)系。 （ ） 無(wú) 僅測(cè)量質(zhì)量流量用 溫度范圍 10～ 50 ℃ 零點(diǎn)漂移 ％ 滿量程 /℃ /Atm 量程漂移 ％ 滿量程 /℃ /Atm 濕度范圍 0100% 無(wú)冷凝 測(cè)量流量范圍 ％ 滿量程 最大耐壓 150 150* PSIG 輸 入 /輸出（數(shù)字） 質(zhì)量流量、體積流量、絕壓和溫度 體積流量 RS232 串口 輸入 /輸出（模擬） 質(zhì)量流量 體積流量 05VDC 可選輸入 /輸出 第二路模擬 質(zhì)量流量、體積流量、絕壓或溫度 體積流量 05VDC,010VDC 或 420mA 電氣連接 8 針 小型圓插頭 供電電壓 1218VDC（ 420mA 輸出時(shí)為： 1530VDC） ** 供電電流 安裝位置敏感度 0% 預(yù)熱時(shí)間 ＜ 1 秒 接液材質(zhì) 303amp。 %滿量程 清零后在校準(zhǔn)條件下 重復(fù)性 177。 %滿量程 清 零后在校準(zhǔn)條件下 高精度 177。 新老部件的差異 請(qǐng)看“標(biāo)準(zhǔn)氣體數(shù)據(jù)表”（ 2020 年 10 月修改） 30 標(biāo)準(zhǔn)氣體數(shù)據(jù)表 氣體號(hào)碼 氣體縮寫 氣體全稱 粘度 25℃ PSIA 密度 25℃ PSIA 可壓縮性 25℃ PSIA 0 Air Air 1 Ar Argon 2 CH4 Methane 3 CO Carbon Monoxide 4 CO2 Carbon Dioxide 5 C2H6 Ethane 6 H2 Hydrogen 7 He Helium 8 N2 Nitrogen 9 N2O Nitrous Oxide 10 Ne Neon 11 O2 Oxygen 12 C3H8 Propane 13 nC4H10 normalButane 14 C2H2 Acetylene 15 C2H4 Ethylene 16 iC4H10 isoButane 17 Kr Krypton 18 Xe Xenon 19 SF6 Sulfur Hexafluoride 20 C25 75%Aegon/25%CO2 21 C10 90%Aegon/10%CO2 22 C8 92%Aegon/8%CO2 23 C2 98%Aegon/2%CO2 24 C75 75%CO2/25%Argon 25 A75 75%Argon/25%Helium 26 A25 75%Helium/25%Argon 27 A1025 90%Helium/%Argon/%CO2 (PraxairHelistar A1025) 28 Star29 90%Argon/8% CO2/2%Oxygen (PraxairStargon CS) 29 P5 90%Argon/5%Methane *in microposie(1 Poise=gram/(cm)(sec)) **Grams/Liter (NIST REFPROP 7database) 31 在 25℃氣體黏度，比重和可壓縮性 氣體號(hào)碼 氣體縮寫 氣體全稱 粘度 0℃ PSIA 密度 0℃ PSIA 可壓縮性 0℃ PSIA 0 Air Air 1 Ar Argon 2 CH4 Methane 3 CO Carbon Monoxide 4 CO2 Carbon Dioxide 5 C2H6 Ethane 6 H2 Hydrogen 7 He Helium 8 N2 Nitrogen 9 N2O Nitrous Oxide 10 Ne Neon 11 O2 Oxygen 12 C3H8 Propane 13 nC4H10 normalButane 14 C2H2 Acetylene 15 C2H4 Ethylene 16 iC4H10 isoButane 17 Kr Krypton 18 Xe Xenon 19 SF6 Sulfur Hexafluoride 20 C25 75%Aegon/25%CO2 21 C10 90%Aegon/10%CO2 22 C8 92%Aegon/8%CO2 23 C2 98%Aegon/2%CO2 24 C75 75%CO2/25%Argon 25 A75 75%Argon/25%Helium 26 A25 75%Helium/25%Argon 27 A1025 90%Helium/%Argon/%CO2 (PraxairHelistar A1025) 28 Star29 90%Argon/8% CO2/2%Oxygen (PraxairStargon CS) 29 P5 90%Argon/5%Methane *in microposie(1 Poise=gram/(cm)(sec)) **Grams/Liter (NIST REFPROP 7database) 在 0℃氣體黏度，比重和可壓縮性 32 Alicat 氣體質(zhì)量流量控制器、體積流量控制器性能指標(biāo) 量程范圍： ～ 050SCCM 指標(biāo) 質(zhì)量流量控制器 體積流量控制器 描述 精度 177。通過(guò) RS232通訊可在滿量程的 0 到 %調(diào)節(jié)死區(qū)。 低流量時(shí)跳到零點(diǎn) 體積流量控制器和質(zhì)量流量控制器系列流量計(jì)， 具有一個(gè) RS232 可編程零點(diǎn)死區(qū)。它也會(huì) 導(dǎo)致流量數(shù)據(jù)的響應(yīng)時(shí)間緩慢。 比規(guī)定的響應(yīng)緩慢 體積質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量控制器系列流量計(jì)， 具有 RS－ 232 可編程幾何運(yùn)算平均值（ GRA）的特點(diǎn)。確定 RS232 的端口接線是否正確。 RS232 串行通訊未響應(yīng) 檢查你的流量計(jì)是否通電，并且連接是否正確。 體積流量計(jì)的讀數(shù)非常的奇怪，不 協(xié)調(diào)或者不正確 確保你的體積流量計(jì)僅在低壓環(huán)境下（接近大氣壓），和低背壓環(huán)境下，有精確的讀數(shù)。 輸出信號(hào)低于顯示器讀數(shù) 29 有可能是因?yàn)槭褂幂^長(zhǎng)的電纜，而導(dǎo)致輸出信號(hào)產(chǎn)生電壓衰減。 不恰當(dāng)?shù)?PID 控制設(shè)置會(huì)引起此問(wèn)題。校準(zhǔn)表中提供了每個(gè)流量計(jì)的標(biāo)準(zhǔn)條件。 ALICAT 質(zhì)量流量計(jì)設(shè)置的標(biāo)準(zhǔn)溫度是 25℃，壓力為。如果在兩個(gè)流量計(jì)之間沒有泄漏，并且具有相同的標(biāo)準(zhǔn)溫度和壓力的情況下，質(zhì)量流量計(jì)可以相互校正。 流量計(jì)不可以和其他流量計(jì)使用一條線路 一般體積流量計(jì)和控制器，不允許和另一個(gè)流量計(jì)，或控制器用在同一個(gè)管路中，因?yàn)樗鼈儠?huì)受到壓降的影響。如果設(shè)定點(diǎn)輸入信號(hào)線，或者設(shè)定點(diǎn)輸出信號(hào)線相對(duì)較長(zhǎng)，必須要提供更粗的電線（特別是地線），來(lái)取消長(zhǎng)線所導(dǎo)致的電壓衰減。同時(shí)檢查地線是否連接正確。 安裝過(guò)后，發(fā)現(xiàn)無(wú)流量 Alicat 公司的體積質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量控制器 ，通常情況下出廠時(shí)閥門是關(guān)閉的，需要有一個(gè)設(shè)定點(diǎn)來(lái)開啟它。當(dāng)任何一項(xiàng)閃爍的時(shí)候，則顯示的參數(shù)和質(zhì)量流量測(cè)量數(shù)值都是不精確的。 由于過(guò)壓引起的損壞不在保修范圍之內(nèi)。避免安裝時(shí) ,使差壓傳感器所受壓降超過(guò) 10PSID。 Alicat 按照工業(yè)規(guī)范來(lái)確定測(cè)量單位，例如 SLPM（標(biāo)準(zhǔn)升 /分鐘）或 SCFM（標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下立方英寸 /分鐘），來(lái)表示在一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)壓力和溫度下通過(guò)的體積流量。如果氣體不是選擇的，則流量計(jì)的計(jì)算使用的粘度值是不正確的，并且輸出的在兩種不同的氣體粘度的正比結(jié)果是不準(zhǔn)確的。我們的 16 種流量計(jì)因?yàn)槠湓矶加腥缦碌仁剑? Q=(P1P2) π r4/8η L 此處： Q=體積流量， P1=入口靜壓， P2=出口靜壓， r=層流元件半徑， η =流體絕對(duì)黏度， L=層流元件長(zhǎng)度 根據(jù)π， r和 L是恒量；方程 1可以重新寫為： Q＝ K（△ P/η） 這里 K由于幾何因素而是常量，方程 2表示體積流量 Q，差壓△ P和絕對(duì)粘度是一般形式 氣體粘度 ：為了得到精確的體積流量，必須測(cè)量所選擇的氣體。被測(cè)氣體在通過(guò)整個(gè)層流部件時(shí)被強(qiáng)制分流為相互平行的流層；因此我們?cè)O(shè)備的運(yùn)行方式都有層流部件所決定。此時(shí)控制器 4號(hào)針口輸入信號(hào)方式則變?yōu)閿?shù)字 RS232輸入！ 27 操作原理 Alicat 所有的 M 系列和 V 系列的氣體流量計(jì)（以及 MC 系列河 VC 系列的氣體流量控制器）都是以精確測(cè)量體積流量為基礎(chǔ)的。 這個(gè)數(shù)據(jù) 減去 16384，算出一個(gè)新的數(shù)據(jù)。例如，算出一個(gè)數(shù)據(jù)為 24000 然后鍵入 *W20=24000,再 回車。23636