電子束離子束加工ppt課件(已修改)
2025-05-13 12:17 本頁(yè)面
【正文】 第七章 其他特種加工技術(shù) 電子束和離子束加工 第七章 其他特種加工技術(shù) 電子束加工 1. 加工原理 電子束加工是利用高速電子的沖擊動(dòng)能來(lái)加工工件的 ， 如圖 1所示 。 在真空條件下 ， 將具有很高速度和能量的電子束聚焦到被加工材料上 ， 電子的動(dòng)能絕大部分轉(zhuǎn)變?yōu)闊崮?， 使材料局部瞬時(shí)熔融 、 汽化蒸發(fā)而去除 。 第七章 其他特種加工技術(shù) 圖 1 電子束加工原理 電子槍系統(tǒng)聚焦系統(tǒng)電子束工件抽真空系統(tǒng)電源及控制系統(tǒng)第七章 其他特種加工技術(shù) 控制電子束能量密度的大小和能量注入時(shí)間 ， 就可以達(dá)到不同的加工目的 。 如只使材料局部加熱就可進(jìn)行電子束熱處理；使材料局部熔化就可以進(jìn)行電子束焊接；提高電子束能量密度 ， 使材料熔化和汽化 ，就可進(jìn)行打孔 、 切割等加工；利用較低能量密度的電子束轟擊高分子材料時(shí)產(chǎn)生化學(xué)變化的原理 ， 即可進(jìn)行電子束光刻加工 。 2． 特點(diǎn)與應(yīng)用 電子束加工的特點(diǎn)如下： (1) 電子束能夠極其微細(xì)地聚焦 (可達(dá) l～ μm)，故可進(jìn)行微細(xì)加工 。 第七章 其他特種加工技術(shù) (2) 加工材料的范圍廣 。 由于電子束能量密度高 ， 可使任何材料瞬時(shí)熔化 、 汽化且機(jī)械力的作用極小 ， 不易產(chǎn)生變形和應(yīng)力 ， 故能加工各種力學(xué)性能的導(dǎo)體 、 半導(dǎo)體和非導(dǎo)體材料 。 (3) 可通過(guò)磁場(chǎng)或電場(chǎng)對(duì)電子束的強(qiáng)度 、 位置 、 聚焦等進(jìn)行控制 ， 所以整個(gè)加工過(guò)程便于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化 。 (4) 電子束的能量密度高 ， 加工效率很高 。 (5) 加工在真空中進(jìn)行 ， 污染少 ， 加工表面不易被氧化 。 (6)
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