【正文】 方案 I 設(shè)備、工藝管道開車前的化學(xué)清洗方案 根據(jù)業(yè)主和 EPC(信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計(jì)研究院 )技術(shù)交底的要求：合成、精餾提純、還原整理、尾氣回收、氯硅烷儲(chǔ)存及外管等（部分）工藝管道和設(shè)備，在安裝前后必須保證一定的潔凈度要求，循環(huán)水系統(tǒng)必須進(jìn)行清洗預(yù)膜。本方案的編制還參照了我們以往在亞洲硅業(yè)（青海） 1200 噸 /年、黃河水電新能源公司（青海） 1500 噸 /年和浙江中寧硅業(yè)（衢州） 21500 噸 /年多晶硅裝置的清洗經(jīng)驗(yàn)和施工方法，結(jié)合浙江 協(xié)成硅業(yè)多晶硅 生產(chǎn) 裝置的特點(diǎn) ，加以修改和完善 。 中標(biāo)后，將根據(jù)圖紙 和設(shè)計(jì)的具體要求編制詳細(xì)技術(shù)方案予以指導(dǎo)施工。 HG 202022020《脫脂工程施工及驗(yàn)收規(guī)范》； HG/T 23872020《工業(yè)設(shè)備化學(xué)清洗質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》； HB528284《 不銹鋼酸洗鈍化質(zhì)量檢驗(yàn) 》； SJ208932020《 不銹鋼酸洗與鈍化規(guī)范 》； JB/T689693《 空分設(shè)備表面清潔度 》； HG/T 35232020《 冷卻水化學(xué)處理標(biāo)準(zhǔn)腐蝕試片技術(shù)條件 》； GB892388《涂裝前鋼材表面銹蝕等級(jí)和除銹等級(jí)》 ； GB 89781999《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》； 多晶硅廠是一個(gè)純度要求高、工藝復(fù)雜、設(shè)備種類眾多的化工系統(tǒng)（部分具備冶金系統(tǒng)和半導(dǎo)體電子元器件的特點(diǎn)）。為了減少工藝系統(tǒng)調(diào)試時(shí)凈化處理的時(shí)間，最大限度地降低調(diào)試費(fèi)用（系統(tǒng)凈化處理階段的廢品率高，產(chǎn)品產(chǎn)出價(jià)值低），使得裝置早日生產(chǎn)出高純度多晶硅產(chǎn)品，必須做好工藝設(shè)備和工藝管道安裝前的清洗處理工作。針對(duì)不同的工藝要求、不同的設(shè)備材質(zhì)以及不同的設(shè)備類型、清洗處理要求和達(dá)到的基本標(biāo)準(zhǔn)（達(dá)到無油、無水、無塵與無雜質(zhì)的四無要求和循環(huán)水的預(yù)膜要求） 需要采取不同的清洗方法，清洗施工工藝可劃分為四類：噴淋清洗、循環(huán)清洗、浸泡清洗（槽浸法和灌浸法）和擦拭清洗。 清洗范圍 本次清洗主要針對(duì)浙江協(xié)成硅業(yè)有限公司千噸級(jí)多晶硅裝置，工程中所涉及的 合成、精餾提純、還原整理、尾氣回收、氯硅烷儲(chǔ)存及外管等（部分） 相關(guān)的設(shè)備（塔、罐、儲(chǔ)槽、換熱器、機(jī)泵和閥門管件等）及相應(yīng)的不銹鋼管道和碳鋼管道 ，詳見 。 清洗工作范圍 100 工號(hào)（一般清洗） a 三氯氫硅合成爐之后走氯化合成料的設(shè)備，如儲(chǔ)罐、計(jì)量罐、 空冷器，換熱器等 ； b 工藝管道、尾氣（廢氣）管道 ； c 氫氣管道 ； d 氮?dú)夤艿?； e 以上設(shè)備管道上的工藝閥門、儀表（調(diào)節(jié)閥、切斷閥、流量計(jì)、液位計(jì)） ； f合成尾氣淋洗界區(qū)以內(nèi)的設(shè)備和管道不清洗。 200 工號(hào)及 210 工號(hào)（一般清洗） a 全部工藝設(shè)備，如儲(chǔ)罐、換熱器（再沸器、冷凝器）、塔器、屏蔽泵等 ； b 全部工藝管道、尾氣（廢氣）管道、氮?dú)夤艿?； c 以上設(shè)備或管道上的工藝閥門、儀表（調(diào)節(jié)閥、切斷閥、流量計(jì)、液位計(jì)） ； d 尾氣淋洗界區(qū)以內(nèi)的設(shè)備和管道不清洗。 300 工號(hào) （高純清 洗） a 全部工藝設(shè)備，如儲(chǔ)罐、氣化器、氣液分離器、尾氣水冷器等 ； b 全部工藝管道、尾氣（廢氣）管道、氮?dú)夤艿?，氫氣管?； c 以上設(shè)備或管道上的工藝閥門、儀表（調(diào)節(jié)閥、切斷閥、流量計(jì)、液位計(jì)） ； d 尾氣淋洗界區(qū)以內(nèi)的設(shè)備和管道不清洗。 310 工號(hào)（一般清洗） a 全部工藝設(shè)備，如儲(chǔ)罐、換熱器、塔器（鼓泡淋洗塔、吸收塔、解吸塔），吸附器、屏蔽泵 ； b 全部工藝管道、尾氣（廢氣）管道、氮?dú)夤艿?，氫氣管道、鹽酸氣管道、純水管道 ； c 以上設(shè)備或管道上的工藝閥門、儀表（調(diào)節(jié)閥、切斷閥、流量計(jì)、液位計(jì)） ； d 尾氣淋洗界區(qū)以內(nèi)的設(shè)備和管道不清洗。 500 工號(hào)（潔凈清洗） 氬氣管道、真空管道以及這些管道上的閥門、儀表。 510 工號(hào)（潔凈清洗） 氮?dú)夤艿?、氫氣管道、純水管道? 600 工號(hào)（一般清洗） a 氮?dú)飧稍锲髦蟮墓艿兰伴y門、儀表 ； b 氫氣管道及閥門、儀表 ； c 純水管道及閥門、儀表 ； d 除鹽水管道及閥門、儀表。 650 工號(hào)（一般清洗） a 氫氣站界區(qū)以內(nèi)由設(shè)備供應(yīng)商負(fù)責(zé)清洗 ； b 界區(qū)以外（廠房圍墻外 1 米）的設(shè)備（主要是氫氣儲(chǔ)罐、緩沖罐） ； c 界區(qū)以外（廠房圍墻外 1 米）的氫氣管道、氮?dú)夤艿兰伴y門、儀表 。 廠區(qū)管網(wǎng)（潔凈清洗） a 工藝物料（氯硅烷）管道 ； b 氮?dú)夤艿馈錃夤艿?、純水管?； c 上述管道上的閥門、儀表。 200 工號(hào)三氯氫硅產(chǎn)品系統(tǒng)及 300 工號(hào)混合氣系統(tǒng)（高純清洗） a 工藝物料管：從 9 級(jí)塔塔頂冷凝器以下的冷凝液管、產(chǎn)品管、還原爐進(jìn)氣管、出氣管、尾氣管到還原尾氣水冷器止 ； b 與上述管道相連的工藝設(shè)備： 9 級(jí)塔的回流液罐 3 臺(tái)， 9 級(jí)塔的三氯氫硅產(chǎn)品罐 6 臺(tái)，氣化器 5 臺(tái)，氣液分離器 5 臺(tái)（不 含塔頂冷凝器和還原尾氣冷卻器） ； c 與上述設(shè)備相連的氮?dú)夤芎臀矚夤?、廢氣管，從設(shè)備到各自的主管道 ； d 參加反應(yīng)的主氫氣管道，從距離爐子最近的切斷閥起到氣化起止 ； e 還原爐置換用氮?dú)夤?、氫氣管，從距離爐子最近的流量計(jì)閥組起（含閥組）到進(jìn)氣管止。 根據(jù)工藝的要求，本次清洗工作的清洗質(zhì)量等級(jí)分為 高純清洗、 潔凈清洗和一般清洗（含循環(huán)水系統(tǒng)清洗預(yù)膜）。所有設(shè)備和管道的分級(jí)，應(yīng)由業(yè)主方在清洗前提出詳細(xì)的清單，并提出具體的技術(shù)指標(biāo)和具體要求。 本次清洗的檢驗(yàn)應(yīng)參照雙方共同確認(rèn)的統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)和檢驗(yàn)方法進(jìn)行檢 查驗(yàn)收。具體內(nèi)容詳見表 。 清洗級(jí)別劃分及技術(shù)要求 表 清洗等級(jí) 質(zhì)量要求 檢驗(yàn)方法 高純清洗 無油、無水、無銹蝕、無雜質(zhì)異物和粉塵 ， 無有機(jī)碳 ，不能出現(xiàn)洗滌死區(qū)。 黑光燈、露點(diǎn)儀法、目測(cè)法和擦拭法 潔凈清洗 無油、無水、無銹蝕、無雜質(zhì)異物和粉塵，所有被清洗表面純水沖洗合格，使用無油壓縮空氣（ 過濾器、露點(diǎn) ≤40℃ ）干燥，用溶劑全面擦拭設(shè)備和管道表面。 黑光燈、露點(diǎn)儀法、目測(cè)法和擦拭法 一般清洗 無油 、無水、無雜質(zhì)異物，使用無油壓縮空氣（ 、露點(diǎn) ≤40℃ ）干燥， 黑光燈、露點(diǎn)儀法、目測(cè)法 施工前準(zhǔn)備 清洗作業(yè)場(chǎng)地要求 作業(yè)場(chǎng)地的一般要求 作業(yè)場(chǎng)地的大小應(yīng)滿足日最大工作量的來料暫存、清洗作業(yè)、成品暫存的要求，根據(jù)工程量大小設(shè)置不小于 40m40m 的清洗場(chǎng)地，場(chǎng)地澆注厚度為 100 毫米混凝土地坪，在清洗區(qū)鋪設(shè)軟 PVC 板并焊接固定在地面上，四周設(shè)擋水坡， 15m20m 的暫存和成品儲(chǔ)存的場(chǎng)地，現(xiàn)場(chǎng)設(shè)置兩間清洗潔凈房，地面鋪設(shè)軟 PVC 板（詳見附件 1）。 酸洗池、碳鋼酸洗池，沖洗水池和鈍化池需安裝 HDPE板襯里，厚度大于 8mm，板面與水泥池之間應(yīng)有膨脹螺栓固定，膨脹螺栓每平方米不少于 4 顆，螺栓帽應(yīng)使用 HDPE全焊接封閉。 為保證施工安全及合格成品不被二次污染，施工清洗作業(yè)區(qū)域地面必須平整、硬化和潔凈。預(yù)制場(chǎng)地建立能夠儲(chǔ)存的封閉房屋，屋內(nèi)要能保持潔凈干燥和通風(fēng)。 由于施工周期長(zhǎng)，施工時(shí)處于雨季，為避免下雨影響工期和清洗質(zhì)量，清洗場(chǎng)地采用鋼架及彩鋼瓦搭設(shè)防雨蓬，清洗場(chǎng)地防雨蓬高 4 米，四周保持良好通風(fēng)。 作業(yè) 廠區(qū)的安全要求 作業(yè)廠區(qū)保持良好的通風(fēng)效果。 作業(yè)廠區(qū)根據(jù)工序的不同畫出標(biāo)識(shí)標(biāo)志，設(shè)置安全通道。 為防止清洗液破壞地面，清洗作業(yè)區(qū)地面鋪設(shè)軟 PVC 板并焊接成為一張整體，底面用粘合劑粘接在地面上，四周設(shè)擋水坡。 由于作業(yè)區(qū)內(nèi)存放和使用有易燃物質(zhì)，作業(yè)廠區(qū)放置干粉滅火器。 材料準(zhǔn)備 管道、設(shè)備材料到貨，并能分類確定設(shè)備、管道材料的清洗等級(jí)要求。 部分管道已經(jīng)預(yù)制完畢，具備清洗封閉條件。 對(duì)于需要在現(xiàn)場(chǎng)對(duì)接固定口的管道，盡量分散成能 進(jìn)行清洗池內(nèi)清洗的預(yù)制管段 （外部輪廓尺寸應(yīng)小于 10000mm1000mm1000mm）， 并開出坡口進(jìn)行預(yù)安裝，清洗完成后進(jìn)行最后焊接安裝。對(duì)于清洗等級(jí)為一級(jí)的管道并無需切割的整管應(yīng)在開完坡口后進(jìn)行清洗。 清洗所需要的化學(xué)藥劑已經(jīng)運(yùn)至現(xiàn)場(chǎng)，置于專用儲(chǔ)藏室。 公用工程 根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)條件沖洗用水源采用現(xiàn)場(chǎng)供自來水，并由純水機(jī)產(chǎn)生超純水。 純水為設(shè)備現(xiàn)場(chǎng)自制，其每小時(shí)生產(chǎn)量為 2 噸，所產(chǎn)生的純水經(jīng)過化驗(yàn)符合要求：油含量為零，電導(dǎo)率 ?15?S/cm， 電 阻率 ≥ ， SiO2?20?g/L， Cl離子 ?5mg/L。 蒸汽由鍋爐引入清洗場(chǎng)區(qū)，溫度 ≥100℃ ，流量達(dá)到 300Kg/h。 清洗現(xiàn)場(chǎng)總電源采用 DC380/220V 交流電源，總功率達(dá)到 260KW，須從總配電室接入作業(yè)現(xiàn)場(chǎng)。并與安裝工程錯(cuò)峰用電。 無油干燥空氣為設(shè)備現(xiàn)場(chǎng)自制，采用阿特拉斯無油螺桿壓縮機(jī)組，并經(jīng)過過濾和除水處理。無油干燥空氣的質(zhì)量經(jīng)檢驗(yàn)符合要求：露點(diǎn) ≤－ 40℃ ，油含量 ≤（ 21℃ ），塵埃粒子 ≤。 技術(shù)準(zhǔn)備 施工方案已經(jīng)監(jiān)理和甲方審核確定，確認(rèn) 可以實(shí)施。 專業(yè)技術(shù)人員對(duì)施工操作人員進(jìn)行技術(shù)交底并完成專業(yè)培訓(xùn)。 所有進(jìn)場(chǎng)施工人員必須按照《 HSE 作業(yè)指導(dǎo)書及應(yīng)急方案》的要求認(rèn)證、培訓(xùn)。 機(jī)具準(zhǔn)備 清洗所用的清洗循環(huán)泵、高壓清洗機(jī) (35MPa 一臺(tái)， 16MPa 四臺(tái) )、純水機(jī)、無油空氣壓縮機(jī)干燥設(shè)備、鍋爐設(shè)備已經(jīng)按規(guī)定位置擺放，并能正常使用。 檢測(cè)器具經(jīng)檢驗(yàn)合格，在效驗(yàn)期內(nèi)。 人員準(zhǔn)備及安全防護(hù)用品 施工管理人員和操作人員已進(jìn)入現(xiàn)場(chǎng)，并接受甲方關(guān)于質(zhì)量安全管理規(guī)定的培訓(xùn)，掛牌作業(yè)。 操 作人員經(jīng)培訓(xùn)能熟練掌握操作流程。 人員作業(yè)安全防護(hù)用品 PPE 配置齊全，主要包括防酸堿工作服，潔凈連體隔離服，安全帽，防砸鞋，防酸手套，防護(hù)眼鏡、防毒面具，防護(hù)面罩，防水服，防爆軸流風(fēng)機(jī)，防水安全行燈（進(jìn)入密閉空間作業(yè)用）并能有效使用。 /管道預(yù)制件的清洗 不銹鋼管道的潔凈清洗 根據(jù)本裝置的特點(diǎn)，不銹鋼管道 屬于潔凈清洗范圍，為達(dá)到潔凈清洗的目的，徹底去除不銹鋼管道 /管道預(yù)制件 表面的油脂、灰塵和 管道預(yù)制件 焊接安裝過程中的產(chǎn)生的焊接氧化皮等，不銹鋼管道 /管道預(yù)制件 的技術(shù)要求應(yīng)符合 的相關(guān)要求，清洗共分為以下幾個(gè)階段： 清洗 對(duì)于不銹鋼整管 /管道預(yù)制件 ，純水沖洗后，先在清洗場(chǎng)的清洗池中采用不銹鋼專用清洗劑 CM08 以 “浸泡 ”的方式進(jìn)行清洗，徹底清除不銹鋼管道在運(yùn)輸過程中表面粘污的油污、銹垢、灰塵和預(yù)制焊接過程中產(chǎn)生的焊接氧化皮等污垢。 浸泡清洗 是一種溶解剝離清洗技術(shù)，在清洗過程中，將被清洗管道 /管道預(yù)制件 浸入化學(xué)清洗溶液中，借助清洗液的溶解剝離作用，使清洗液與被清洗物內(nèi)表面上的油脂、銹垢進(jìn)行充分的接觸，從而達(dá)到清洗的目的。 浸泡清洗流程 高壓水沖洗 → 浸 泡清洗（脫脂、酸洗、鈍化） → 純 水沖洗 → 檢驗(yàn) → 干燥 → 包封 水沖洗 ； /管道預(yù)制件 逐根沖洗，徹底清除管道內(nèi)外的灰塵和固體污物，防止雜質(zhì)污染清洗劑； 、管道表面目測(cè)無灰塵和污物時(shí)，沖洗結(jié)束 。 浸泡清洗 ，采用不銹鋼浸泡專用清洗劑 CM08 對(duì)不銹鋼管道 /管道預(yù)制件 進(jìn)行浸泡清洗； /管道預(yù)制件 在制造、運(yùn)輸過程中表面粘污水沖洗 清洗 潔凈清洗 純水沖洗 自 檢 干 燥 檢 驗(yàn) 合格 包 封 不合格 合格 不合格 的油污、銹垢和預(yù)制焊接過程中產(chǎn)生的焊 接氧化皮，并使其表面產(chǎn)生致密的鈍化膜； ，采用壓縮空氣對(duì)清洗劑進(jìn)行攪拌，使清洗液濃度均勻；