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《mems基本結構》ppt課件-文庫吧

2025-04-20 18:19 本頁面


【正文】 ? 梁或平面 +電鍍 ? 防削角措施 基本電子元件 ? 電容 – 單芯片形成電容 – 多芯片組裝形成電容 ? 電阻 ? 電感(平面線圈) – 基本線圈制備 – 帶軟磁材料芯的線圈 PZT壓電材料的制備 ? 濺射(厚度低) – 制作專用濺射靶,進行濺射 – 濺射靶和目標濃度區(qū)別 ? 燒結(厚度中等) – PZT粉末 +有機溶劑,涂覆 – 150?C烘干 10分鐘, 950?C燒結 1小時 ? SOLGEL(大厚度) – 原料:醋酸鉛,異丙醇鈦,丙醇鋯,溶劑 – 加水解物,按配比涂覆,烘干 高分子
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