智能化壓力傳感器的設(shè)計(jì)開題報(bào)告-文庫吧
2025-01-06 16:00 本頁面
【正文】 ，并且是將傳感器列為十大技術(shù)之首；美國將90年代看作是傳感器時(shí)代，將傳感器技術(shù)列為90年代22項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)之一”“。我國對(duì)傳感器的研究也有二十多年的歷史并取得了很大的成就“?。目前，在“科學(xué)技術(shù)就是第一生產(chǎn)力”的思想指引下，各項(xiàng)科學(xué)技術(shù)取得了突飛猛進(jìn)的發(fā)展，傳感器技術(shù)也越來越受到各方面的重視，雖然在某些方面已趕上或者接近世晃先進(jìn)水平。但是從總體來看，與國外傳感器技術(shù)的發(fā)展相比，我國對(duì)傳感器技術(shù)的研究和生產(chǎn)還比較落后，現(xiàn)正處于方興未艾的階段。據(jù)了解，1994年世界傳感器市場(chǎng)總的交易額高達(dá)260億美元，并且在2000年以的前，世界傳感器市場(chǎng)規(guī)模年增幅為7％以上，其中高檔的傳感器增幅可達(dá)18％以上，而那些采用微機(jī)械加工技術(shù)和微系統(tǒng)技術(shù)等高新技術(shù)制造的各類型新型智能傳感器．其年增長(zhǎng)率可達(dá)30％以上。從市場(chǎng)銷售情況來看，壓力傳感器占第一位。利用硅材料制作的半導(dǎo)體傳感器除具有固體傳感器的一般優(yōu)點(diǎn)以外，還可以把一些集成電路與傳感器制作在一起從而構(gòu)成集成化傳感器。集成電路部分若制作了微處理機(jī)，則形成智能化傳感器。到目前為止，高精確度、高可靠性、小型化、低成本的智能傳感器已成為世界傳感器市場(chǎng)的主流。進(jìn)入90年代，發(fā)達(dá)國家對(duì)傳感器在信息社會(huì)中的作用有了新的認(rèn)識(shí)和評(píng)價(jià)，我國的八六三科技攻關(guān)計(jì)劃中也將傳感器的研究放在重要位景上。盡管我國經(jīng)濟(jì)還比較落后，但國家每年還要拿出大量的資金來對(duì)傳感器進(jìn)行研究。目前我國從事傳感器生產(chǎn)的廠家有1300家，所生產(chǎn)的產(chǎn)品種類有300余種，產(chǎn)量1億多只。由于眾多廠家規(guī)模小、設(shè)備落后、國家投入的資金不足而且比較分散，因而與世界上大的傳感器廠無法抗衡，科研水平也落后國外5～10年，而生產(chǎn)技術(shù)水平落后國外10～20年，與世界上傳感器更新?lián)Q代的速度相比，落后幾個(gè)周期。從而導(dǎo)致品種不全，產(chǎn)量過低，僅滿足國內(nèi)需求的20％～30％。據(jù)市場(chǎng)調(diào)查，90年代我國電子系統(tǒng)共需各類傳感器140萬件，化工80萬件，鋼鐵130萬件，能源管理與爐窯控制需要4000萬件，汽車行業(yè)需要4400萬件，機(jī)床行業(yè)需1500萬件，文化辦公機(jī)械需200萬件，各類儀器儀表所配用的傳感器約需3億件。雖說我國傳感器技術(shù)與發(fā)達(dá)國家傳感器技術(shù)相比還比較落后，但并不是說我國的傳感器特性都不如國外的好。綜合近期發(fā)表的文獻(xiàn)，國產(chǎn)半導(dǎo)體壓力傳感器的特性參數(shù)有所提高，以矩形雙島膜結(jié)構(gòu)的6000Pa量程微壓傳感器特性為例，非線性為5104FS(滿量程)滯后，重復(fù)性均小于5104FS，分辨率優(yōu)于20Pa，過壓保護(hù)范圍大于20倍量程。對(duì)量程為100kPa的壓力傳感器，非線性、滯后、重復(fù)性均優(yōu)于510印s。硅一蘭寶石、高溫硅壓力傳感器的工作溫度分別達(dá)到一50～300℃和0～400℃。壓敏器件的可靠性MTTF已達(dá)到較好水平。元器件的品種增多，測(cè)壓范圍已拓展，已有微壓、表壓、高壓、絕對(duì)壓力、差壓等力敏元件及其配套儀表問世。三、 本課題研究?jī)?nèi)
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