特殊氣體供應系統(tǒng)技術要求-文庫吧
2024-12-24 10:00 本頁面
【正文】 。 氣瓶柜系統(tǒng)設計 1) 盤 面的排氣管必須保持微量 N2 微漏通過，監(jiān)控其背壓來偵測排氣管是否堵塞。 2) 更換鋼瓶時， Pigtail 必須保持小流量的 PN2 吹出。 3) 盤 面所用的部件必須與所供氣體相適應，所有的閥件必須可 以開關 100000 次以上。 （并提供給甲方閥件的相關證明） 4) 管 路設計的最大承受壓力 3000Psi，最高溫度 250℃。 5) 管 路構造要符合 ASTM 標準。 6) 調(diào) 壓閥要安裝在便于調(diào)節(jié)壓力及維護的位置。 且各種電子傳感器禁止安裝在調(diào)壓閥下端。 7) 必 須使用標準結構的部件，以減少死角。 且所有的彎頭、接頭都必須使用標準配件。材料全部選用 SUS316L— EP 材質(zhì)。 8) 氣 瓶柜要裝有氣體、溫度及煙霧偵測器 。 9) 氣 瓶柜要裝有作動點為 68 ℃的噴水頭， 還要 裝有溫度傳感器并與盤面 控制器聯(lián)動 。 氣瓶柜功能要求 ：（包含 氣瓶柜 （ GC） /BSGS，基本功能要求 ） 系統(tǒng)報警 1) 排風風壓 負壓 報警 功能 。 2) Zpurge 報警功能。 3) 過流量報警聯(lián)動功能。 4) 氣柜各種壓力報警聯(lián)動閥門自動開關、供氣路線自動切換。 5) 氣 瓶柜要裝有氣體、溫度及煙霧偵測器 報警功能。 6) 所有安全裝置及與控制器的觸摸屏必須有失效互鎖保護型 。 7) 信 號燈的警報信號根據(jù)不同的顏色分為三種：紅色是警報，黃色是故障，綠色是正常運行。亮度要求為在 5 米距離范圍內(nèi)能夠看清楚信號燈光 。 系 統(tǒng)控制器 1) 控 制屏幕，必須是鑲嵌在現(xiàn)有的面板上的、有顯示特氣系統(tǒng)的吹掃狀態(tài)及 Pamp。ID、彩色的觸摸屏。 2) 系 統(tǒng)可 以設定自動或手動操作模式 。 3) 所 有的報警裝置應該安裝在顯而易見的地方并伴有警報聲，報警聲經(jīng)確認后靜音 ，屏幕的報警信息要求報警完全消除后才能消除，所有的操作記錄必須要保存半年以上。 4) 控 制器要裝有一個 EMO 按鈕用來關閉供氣氣動閥使系統(tǒng)完全停止 供氣。 5) 控 制器有密碼保護并且可以 在安全連鎖 條件下自動控制氣動 。 6) 控制器 PLC 應該與 GMS 系統(tǒng) PLC 直接通訊，不可以通過觸摸屏的 CPU 和外界通訊 。 7) 控 制器可以與 GMS 通訊，并且可以 遠程關閉 。 8) 設備廠 商 要就設備的 自動 操作 及手動操作提供詳細說明， 共同討論通過， 當有不合 理的操作開元設備 本文隨同其任何有關附件均屬保密，僅供 開元設備 新項目使用，未經(jīng) 開元設備 科技有限公司書面同意，任何方不得以任何形式泄露于第三方。 5 的時候 ，軟件能夠自鎖并等待確認。 9) 控 制器必須能夠檢測到組件故障，并時常完成自動檢查和校正。 10) 控 制器必須能夠設定和監(jiān)控選定的警報項目。 11) 控 制器必須有旁路或 自動的互鎖程序。 12) 控 制器必須有自動及手動操作功能。 13) 控 制器必須能夠接受外部互鎖信號?；ユi類型必須 要通過和甲方業(yè)主協(xié)商 而且控制器必須有 4個干接點供外部操作使用。 14) 控制器程序控制器必須具有上傳和下載的功能，以便對程序作故障分析和更新的動作。 15) 至 少要有兩級密碼設置，如操作界面密碼和參數(shù)修改密碼 。 注： 設備的供氣盤面，和控制系統(tǒng)必須提交甲方業(yè)主審核通過。上述的功能必須全 部滿足，甲方保留增加部分功能的權利。 大宗特氣供應系統(tǒng)（ 以下簡稱 BSGS） 構造： 1) BSGS 面板厚度大于等于 的鋼板并涂有抗腐蝕環(huán)氧涂層，并且所有材料都必須是非易燃的。 （顏色為白色） 2) BSGS 全表面都不能有震動， 不可有鋒利的邊緣。 3) BSGS 的 設備廠商根據(jù)現(xiàn)場鋼瓶實際情況無條件的更改鋼瓶 CGA 接頭高度。且 RFO 必須安裝在 SiH4 鋼瓶的 CGA 接頭 上，尺寸應滿 應該根據(jù)實際用量來計算 . 4) BSGS 的門，管路線路通道，窗及其他孔洞必須安裝密封圈 。 5) BSGS 進氣口要安裝灰塵過濾器。 6) 所 有 BSGS 標明其供應氣體的種類及其濃度，氣瓶柜內(nèi)部所有的管路及閥件標明其作用，例如供氣，吹掃或排氣 。 門構造： 1) BSGS 門 能 自動關閉，自動卡鎖及用鑰匙鎖定。 2) BSGS 門 能 打開 90 度角以上，以方便正常操作。 3) 所 有的 氣體設備 門及窗子使用同樣的鑰匙。 4) BSGS 門 能 平穩(wěn)地打開及關閉 ，并具有防關閉功能，閉門器的聯(lián)接桿方便拆卸。 操作窗口： 1) 操 作窗口 能 自動關閉，自動卡鎖及用鑰匙鎖定。 2) 操 作窗口的玻璃必須是厚度大于等于 ，并有金屬絲加固的安全玻璃。 3) 窗 口背面要安裝隔離玻璃嵌板。 BSGS 的排氣裝置 ： 1) BSGS 柜排氣管的直徑必須大于等于 6” SS 的管路，并覆蓋由 FM 論證的 ECTFE 材料 2) 排 氣狀態(tài)的持續(xù)監(jiān)控信號要顯示在控制屏上并與控制器聯(lián)動，以提供抽風量不足時的停機或報警選項。 兩個鋼瓶接口處的閥箱必須裝有抽風系統(tǒng)，換氣次數(shù)和風壓和設備本身一樣。 開元設備 本文隨同其任何有關附件均屬保密，僅供 開元設備 新項目使用，未經(jīng) 開元設備 科技有限公司書面同意，任何方不得以任何形式泄露于第三方。 6 3) 排氣管上加裝氣體偵測器。 系統(tǒng)設計 1) 盤 面的排氣管必須保持微量 N2 微漏通過，監(jiān)控其背壓來偵測排氣管是否堵塞。 2) 更換鋼瓶時， Pigtail 必須保持小流量的 PN2 吹出。 3) 盤 面所用的部件必須與所供氣體相適應，所有的閥件必須可 以開關 100000 次以上。 （并
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