厚薄膜材料與器件第一章緒論-文庫吧
2025-04-22 17:46 本頁面
【正文】 材料科學(xué) 、信息科學(xué)乃至生命科學(xué)等各個研究領(lǐng)域 , 薄膜科學(xué)已經(jīng)逐漸發(fā)展成為一門多學(xué)科交叉的邊緣學(xué)科 。 ? 從人類開始制作陶瓷器皿的彩釉算起 , 薄膜的制備與應(yīng)用已經(jīng)有一千多年的發(fā)展歷史 。 ? 從制備技術(shù) 、 分析方法 、 形成機(jī)理等方面系統(tǒng)地研究薄膜材料則起始于二十世紀(jì)五十年代 。 ? 直到二十世紀(jì) 80年代 , 薄膜科學(xué)才發(fā)展成為一門相對獨立的學(xué)科 。 ? 促使薄膜科學(xué)迅速發(fā)展的重要原因是薄膜材料的強(qiáng)大的應(yīng)用背景 、 低維凝聚態(tài)理論的不斷發(fā)展和現(xiàn)代分析技術(shù)的出現(xiàn)及分析能力的不斷提高 。 在信息顯示技術(shù)中的應(yīng)用 在信息產(chǎn)品中的應(yīng)用 在計算機(jī)技術(shù)中的應(yīng)用 在計算機(jī)技術(shù)中的應(yīng)用 在信息存貯技術(shù)中的應(yīng)用 在日常生活中的應(yīng)用 薄膜科學(xué)的研究內(nèi)容： ? 薄膜生長理論和薄膜制備技術(shù)； ? 薄膜的結(jié)構(gòu)、成分和微觀狀態(tài)； ? 薄膜的宏觀特性及其應(yīng)用。 薄膜研究是以薄膜制備為起點的 , 因此 , 薄膜生長理論和薄膜制備技術(shù)是薄膜材料研究的基礎(chǔ) 。 二、基本概念 ?表面相 ? 氣固界面、液固界面 薄膜生長的本質(zhì)是氣體 固體或液體 固體相變 氣 固 液 氣 固 ?表面成核 ??cos ?= ?’ ?” ?’ ? ?” ? ???? 39。39。39。c o s ??? 基片表面與吸附質(zhì)（生長原料）的親和性 ? 表面能， 表面自由能和界面自由能 ? 接觸角 ? 薄膜生長的宏觀特征 薄膜的生長模式取決于吸附質(zhì)的表面自由能和界面自由能是否大于基體的表面自由能 ? 薄膜生長的微觀特征 – Adatom diffusion – Diffusion barrier – Temperature effects – Bond energy
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