【正文】 22 干燥 氫氣 脫氧 干燥 HCL 合成爐 氯氣 硅粉 沸騰爐 過(guò)濾器 硅粉回收利用 空氣冷凝器 鹽水冷凝器 尾氣冷凝器 回收 粗三氯氫硅 淋洗塔 放空 精餾塔 檢驗(yàn) 檢驗(yàn) **通能硅材料有限公司 500t/a 多晶硅、 16kt/a 三氯氫硅項(xiàng)目可行性研究報(bào)告 23 三氯氫硅成品 副產(chǎn)品四氯化硅 **通能硅材料有限公司 500t/a 多晶硅、 16kt/a 三氯氫硅項(xiàng)目可行性研究報(bào)告 24 多晶硅 H2+Cl2=2HCl Si+3HCl=SiHCl3+H2 并 伴隨有如下副反應(yīng)： SiHCl3+HCl=SiCl4+H2 SiHCl3+ H2=Si+3HCl并 伴隨有如下副反應(yīng)： 4SiHCl3=3SiCl4+2H2+Si 原材料消耗定額及年消耗量 序號(hào) 名 稱 規(guī)格 單位 單位定額(/t) 年用量 備注 一 三氯氫硅 H2 儲(chǔ)氣柜 凈化裝置 加壓泵 粗三氯氫硅 儲(chǔ)槽 鼓泡器 精三氯氫硅 還原爐 多晶硅 檢測(cè) 切割包裝 多晶硅產(chǎn)品 尾氣 回收 HCl 硅芯多晶 硅芯爐 硅芯 純 H2 廢水排放 中和處理 H2 冷凝液 **通能硅材料有限公司 500t/a 多晶硅、 16kt/a 三氯氫硅項(xiàng)目可行性研究報(bào)告 25 序號(hào) 名 稱 規(guī)格 單位 單位定額(/t) 年用量 備注 1 硅粉 ≥ 98% t 5280 2 氫 ≥ 99% m3 320179。 104 3 氯氣 ≥ 98% m3 16480 4 氮?dú)? ≥ 98% m3 96000 自產(chǎn) 二 多晶硅 1 三氯氫硅 % t 20 10000 自產(chǎn) 2 氫 氣 99% m3 20 10000 自控方案 三氯氫硅 裝置 自控技術(shù) （ 1）自控設(shè)計(jì)范圍 本設(shè)計(jì)適用于年產(chǎn) 16000 噸三氯氫硅項(xiàng)目裝置，項(xiàng)目裝置包括氯化氫合成、三氯氫硅合成、三氯氫硅提純、尾氣回收和洗滌吸收等工序；該控制系統(tǒng)將在生產(chǎn)裝置內(nèi)滿足本裝置的生產(chǎn)監(jiān)視、過(guò)程控制、參數(shù)報(bào)警、數(shù) 據(jù)記錄及趨勢(shì)等項(xiàng)的功能要求，并能安全可靠運(yùn)行。該工程控制點(diǎn)較少，控制簡(jiǎn)單，而且沒有調(diào)節(jié)系統(tǒng)，但工程具有有毒、易燃易爆氣體，所以選型上主要考慮安全因素。該項(xiàng)目部分工段采用間歇性生產(chǎn)，并以現(xiàn)場(chǎng)操作為主。 （ 2）設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)及規(guī)定 《爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》 GB5005892 《自動(dòng)化儀表選型規(guī)定》 HG/T2050720xx 《儀表供電設(shè)計(jì)規(guī)定》 HG/T2050920xx 《儀表供氣設(shè)計(jì)規(guī)定》 HG/T2051020xx **通能硅材料有限公司 500t/a 多晶硅、 16kt/a 三氯氫硅項(xiàng)目可行性研究報(bào)告 26 《信號(hào)報(bào)警、安全連鎖系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)定》 HG/T2051120xx （ 3）自控水平及主要技術(shù)方案 根據(jù)所確定的工藝技術(shù)方案和工藝流程，本著“技術(shù)先進(jìn)、經(jīng)濟(jì)合理、運(yùn)行可靠、操作方便”的原則，本設(shè)計(jì)決定采用現(xiàn)場(chǎng)控制，以完成整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程的主要工藝參數(shù)的監(jiān)測(cè)、分析、顯示、記錄、報(bào)警和實(shí)時(shí)控制。 主要控制方案為：以常規(guī)數(shù)字顯示為主，根據(jù)工藝要求，設(shè)置兩個(gè)控制室，作為溫度集中顯示點(diǎn)，流量以現(xiàn)場(chǎng)控制為主，報(bào)警系統(tǒng)也安裝在控制室里。接地按照要求嚴(yán)格接地，工作接地、信號(hào)屏蔽接地和安全保 護(hù)接地分開。對(duì)生產(chǎn)過(guò)程的重要控制點(diǎn)設(shè)有報(bào)警系統(tǒng)并與相關(guān)動(dòng)力進(jìn)行聯(lián)鎖。 （ 4）儀表類型 生產(chǎn)反應(yīng)過(guò)程中，要求對(duì)溫度、壓力和流量等反應(yīng)參數(shù)進(jìn)行精確控制以保證產(chǎn)品質(zhì)量，本可研對(duì)現(xiàn)場(chǎng)儀表選型依據(jù)經(jīng)濟(jì)實(shí)用、運(yùn)行可靠、維修方便的原則，結(jié)合生產(chǎn)實(shí)際對(duì)溫度測(cè)量采用熱電偶，對(duì)壓力采用彈簧管普通壓力表，流量?jī)x表采用玻璃轉(zhuǎn)子流量計(jì)和金屬轉(zhuǎn)子流量計(jì)，危險(xiǎn)氣體采用 SFD300等系列有毒氣體報(bào)警裝置，該裝置采用多探頭測(cè)量方式，分別探測(cè)氯氣、氫氣和氯化氫三種氣體，并在主機(jī)上進(jìn)行報(bào)警。 多晶硅裝置自控技術(shù) a、主要技術(shù)方案 本項(xiàng)目若實(shí)行全流程自動(dòng)化控制投資較大，因此本裝置根據(jù)工藝和輔助，公用工程等的不同操作和特性，采用簡(jiǎn)單調(diào)節(jié)、復(fù)雜調(diào)節(jié)和組合調(diào)節(jié)，重要參數(shù)均為自動(dòng)調(diào)節(jié)、集中控制、并按生產(chǎn)需要設(shè)置了一些溫度、壓力、流量、液位的報(bào)警和設(shè)備的連鎖，輔助生產(chǎn)裝置的參數(shù)就地檢測(cè)和操作，一**通能硅材料有限公司 500t/a 多晶硅、 16kt/a 三氯氫硅項(xiàng)目可行性研究報(bào)告 27 般采用單參數(shù)調(diào)節(jié)。接地按照要求嚴(yán)格接地，工作接地、信號(hào)屏蔽接地和安全保護(hù)接地分開。 b、設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)及規(guī)定 《爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》 GB5005892 《自動(dòng)化儀表選型規(guī)定》 HG/T2050720xx 《 儀表供電設(shè)計(jì)規(guī)定》 HG/T2050920xx 《儀表供氣設(shè)計(jì)規(guī)定》 HG/T2051020xx 《信號(hào)報(bào)警、安全連鎖系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)定》 HG/T2051120xx 主要設(shè)備一覽表 位號(hào) 設(shè)備名稱 規(guī)格 材質(zhì) 數(shù)量 一 三氯氫硅裝置 1 氯氣緩沖罐 ￠ 600179。 1850179。 6 Q235A 1 2 氯化氫合成爐 ￠ 1200179。 3850179。 8 Q335A 4 3 氯化氫緩沖罐 ￠ 800179。 2150179。 8 Q435A 2 4 水環(huán)真空泵 SZ2型 組合件 1 5 真空緩沖罐 ￠ 600179。 1850179。 6 Q236A 1 6 硅粉干燥器 ￠ 600/￠ 400179。 3820 Q336A 6 7 沸騰爐 ￠ 1200/￠ 500179。 8211 Q436A 6 8 網(wǎng)袋過(guò)濾器 ￠ 1300/￠ 1200179。 2480 Q137A 6 9 空冷器 ￠ 600/￠ 500179。 2476 Q237A 6 10 冷凝器 ￠ 500179。 3200 F30m2 Q337A 6 11 接受槽 ￠ 600179。 1850 Q437A 6 12 粗品收集槽 ￠ 20xx179。 4900 V13m3 Q138A 1 13 氮?dú)饩彌_罐 ￠ 600179。 1830179。 6 Q238A 1 14 水噴射器 ￠ 80 石棉酚醛 1 15 尾氣洗滌塔 ￠ 800/￠ 3000179。 10 Q438A 1 **通能硅材料有限公司 500t/a 多晶硅、 16kt/a 三氯氫硅項(xiàng)目可行性研究報(bào)告 28 位號(hào) 設(shè)備名稱 規(guī)格 材質(zhì) 數(shù)量 16 精餾塔 ￠ 273179。 14350 10 6 17 前冷凝器 ￠ 700179。 2200 F20m2 10 6 18 后冷凝器 ￠ 400179。 2450 F7m2 10 6 19 過(guò)濾器 ￠ 159179。 1830179。 6 10 6 20 尾氣緩沖罐 ￠ 600179。 1830179。 7 Q140A 1 21 熱水槽 ￠ 600179。 1830 Q240A 1 22 熱水泵 2B11 組合件 2 23 接收槽 ￠ 800179。 1550179。 6 Q235A 2 24 接收槽 ￠ 800179。 1550179。 6 Q235A 12 25 阻火器 ￠ 325179。 650 Q235A 1 26 氫氣緩沖罐 ￠ 600179。 1850179。 6 Q235A 1 27 阻火器 ￠ 219179。 540 Q235A 2 28 冷水冷凝器 ￠ 400179。 2450 F7m2 10 1 29 干燥器 ￠ 600179。 1850179。 6 Q235A 4 30 除氧器 ￠ 325179。 2450 10 1 31 塔釜加 熱器 1 32 螺旋冷凍機(jī) 2 33 計(jì)量罐 6 34 制氮機(jī) PSA10 1 35 雷蒙磨機(jī) 4R 型 1 36 三氯氫硅儲(chǔ)罐 ￠ 2400179。 7200 20 3 37 四氯化硅儲(chǔ)罐 ￠ 2400179。 7200 20 1 二 多晶硅裝置 1 原料水罐 Ф 1200179。2800 V= 3 Q235 1 2 電解槽 外形尺寸： 4010179。 1650179。 1747 復(fù)合件 1 3 制氫裝置 外形尺寸： 3600179。 2200179。 4500 復(fù)合件 1 4 礫石阻火器 Dg500 Q235 2 **通能硅材料有限公司 500t/a 多晶硅、 16kt/a 三氯氫硅項(xiàng)目可行性研究報(bào)告 29 位號(hào) 設(shè)備名稱 規(guī)格 材質(zhì) 數(shù)量 5 氫氣冷卻器 Ф 530179。 2850 F=25m2 Q235 1 6 緩沖罐 Ф 1200179。 3300179。 8 Q235 2 7 阻火器 Ф 159179。 380 10 1 8 片堿干燥器 Ф 800179。 3800179。 8 Q235 2 9 活性碳吸附器 Ф 800179。 4600179。 8 Q235 2 10 除氧器 Ф 800179。 2750179。 8 Q235 2 11 冷卻器 Ф 600179。 3400 F=25m2 Q235 2 12 冷凍除水器 Ф 800179。 3200 F=25m2 Q235 2 13 硅膠干燥器 Ф 800179。 4600179。 8 Q235 4 14 加熱器 Ф 530179。 2850 F=25m2 Q235 1 15 阻火器 Ф 273179。 450 10 2 16 氫氣二次凈化器 不銹鋼 1 17 螺旋板換熱器 F=50m2 不銹鋼 2 18 加熱器 Ф 1000179。 1200179。 8 不銹鋼 2 19 高位槽 Ф 1600179。 1800179。 8 Q235 1 20 磁力泵 不銹鋼 4 21 高低沸儲(chǔ)罐 Ф 20xx179。 5800179。 8 Q235 1 22 揮發(fā)器 Ф 800179。 1500179。 4 Q235 不銹鋼 3 23 氫氣過(guò)濾器 Ф 273179。 800 不銹鋼 9 24 還原爐 Ф 800179。 2150 4 **通能硅材料有限公司 500t/a 多晶硅、 16kt/a 三氯氫硅項(xiàng)目可行性研究報(bào)告 30 位號(hào) 設(shè)備名稱 規(guī)格 材質(zhì) 數(shù)量 還原爐 Ф 1100179。 2650 10 25 螺旋板換熱器 不銹鋼 2 26 尾氣回收器 Ф 800179。 2800 Q235 不銹鋼 2 27 噴淋水洗塔 Ф 820179。 4000179。 8 Q235 襯 PE 2 28 填料水洗塔 Ф 820179。 4500179。 8 Q235 襯 PE 1 29 絲網(wǎng)阻火器 Dg350 Q235 2 30 氫氣氣柜 V=600m3 1 31 水環(huán)壓縮機(jī) SZ3 2 32 水洗 池 4000179。 1500179。 1200 1 33 中和池 8000179。 20xx179。 1200 1 34 計(jì)量罐 Ф 800179。 2700179。 6 Q235 2 35 氮?dú)饩彌_罐 Ф 800179。 1200179。 8 不銹鋼 1 36 硅芯爐 2 37 純水裝置 1m3/H 1 38 氮?dú)庋b置 2 39 無(wú)油空壓機(jī) 2m3/min 2 40 35℃冷凍機(jī)組 40 萬(wàn)大卡 2 **通能硅材料有限公司 500t/a 多晶硅、 16kt/a 三氯氫硅項(xiàng)目可行性研究報(bào)告 31 5 原材料、燃料及動(dòng)力的供應(yīng) 主要原材料、燃料及動(dòng)力的需求 序號(hào) 品 名 主 要 規(guī) 格 單位 年用量 備 注 1 工業(yè)硅 ≧ 98% t/a 5280 2 氫氣 純度 ≧ 98%、含氧量≤ % 萬(wàn) Nm3/a 470 3 氯氣 ≧ 98% t/a 16480 4 氮?dú)? ≧ 99% 萬(wàn) Nm3/a 自產(chǎn) 5 三氯氫硅 ≧ 99% t/a 15000 自產(chǎn) 6 水 萬(wàn)