噸多晶硅項(xiàng)目可行性建議書(已改無(wú)錯(cuò)字)
2022-10-15 19:22:09 本頁(yè)面
【正文】 干設(shè)備 3 套 切斷車間 切斷車間長(zhǎng)度為 65m，寬度為 42m，其主要配置如下： ● 裁切機(jī) 2 臺(tái) 鑄造車間 鑄造車間長(zhǎng)度為 65m，寬度為 42m，其主要配置如下： ● 鑄 錠爐 1 套 來(lái)料化驗(yàn)室 來(lái)料化驗(yàn)室 長(zhǎng)度為 45m，寬度為 35m，其主要配置如下： ● ICP－ OES 檢測(cè)儀 1 臺(tái) 1200 噸多晶硅項(xiàng)目可行性建議書 16 成品化驗(yàn)室 成品化驗(yàn)室長(zhǎng)度為 45m，寬度為 35m，其主要配置如下： ● ICP－ MS檢測(cè)儀 1 臺(tái) 輔助車間 輔助車間可根據(jù)需要建設(shè)，主要為各生產(chǎn)車間維修服務(wù)。其中包括電氣、機(jī)械、控制等維修人員休息室及備件庫(kù)等。 其它辦公、生活、消防、安全環(huán)境等設(shè)施根據(jù)需要建設(shè)。 多晶硅廠人員配置（生產(chǎn)單位： 131 人，其它待定） 總工程師： 1 人 工藝工程師： 5 人 多晶硅還原車間： 12 人 原料庫(kù)： 15 人 三氯氫硅除雜凈化、精制 車間： 9 人 氫氣凈化車間： 9 人 酸洗車間： 9 人 廢氣、廢物回收車間： 12 人 烘干車間： 18 人 切斷車間： 12 人 鑄造車間： 12 人 來(lái)料化驗(yàn)室及成品化驗(yàn)室：各 4 人 成品庫(kù)： 9 人 廠部及其它 待定：安全、保衛(wèi)、生活、福利等。 1200 噸多晶硅項(xiàng)目可行性建議書 17 生產(chǎn)工藝 本項(xiàng)目的多晶硅生產(chǎn)主要用改良西門子法， 在化學(xué)蒸發(fā)沉積反應(yīng)器內(nèi)加氫還原三氯氫硅，三氯氫硅還原后在加熱的初棒上沉積出多晶硅棒。 三氯氫硅 每年約需 17820噸三氯氫硅 ，其質(zhì)量應(yīng)符合內(nèi)蒙古霍煤源源硅業(yè)科技有限公司使用要求，由 唐山中友硅 業(yè)有限公司提供。 氫氣 每年約需 780萬(wàn) m3的 氫氣、 質(zhì)量符合 GB/T36341995標(biāo)準(zhǔn)中一級(jí)品以上標(biāo)準(zhǔn)要求，由國(guó)內(nèi)氫氣生產(chǎn)廠供應(yīng)。 鉬絲 每年約需 20 公斤鉬絲，其質(zhì)量要求由內(nèi)蒙古霍煤源源硅業(yè)科技有限公司提出，由國(guó)內(nèi) 鉬絲生產(chǎn)廠供應(yīng)。 每年約需 500公斤硅初棒 ， 其質(zhì)量要求由內(nèi)蒙古霍煤源源硅業(yè)科技有限公司提出，由國(guó)內(nèi)硅初棒 生產(chǎn)廠供應(yīng)。 生產(chǎn)工藝流程 工藝流程選擇及工藝流程簡(jiǎn)述 本項(xiàng)目生產(chǎn)多晶硅采用改良西門子法工藝，其工藝流程簡(jiǎn)述如下： 改良西門子法是生產(chǎn)多晶硅的主要方法之一，大體可分為 51200 噸多晶硅項(xiàng)目可行性建議書 18 個(gè)工序，即精制、 還原、尾氣回收、 氫化和 后處理 ： 精制工序采用多級(jí)分餾塔對(duì)三氯氫硅進(jìn)行精制，除去 SiCl4及硼、磷等有害雜質(zhì)。 還原工序是在化學(xué)蒸發(fā)沉積反應(yīng)器（還原爐）內(nèi)加氫還原三氯氫硅，先在還原爐中預(yù)先放置初始硅棒，利用特別的啟動(dòng)裝置來(lái)對(duì)初棒進(jìn)行預(yù)熱，然后對(duì)初棒直接通電加熱，三氯氫硅還原后在初棒上沉積出多晶硅棒。 尾氣回收工序?qū)?lái)自還原爐的三氯氫硅、四氯化硅和氫氣等進(jìn)行分離、凈化和回收。 氫化工序是在高壓反應(yīng)器內(nèi)把四氯化硅轉(zhuǎn)化成三氯氫硅再返回還原爐 。 后處理工序?qū)ψ罱K多晶硅產(chǎn)品進(jìn)行酸洗、烘干、破碎、凈化、鑄錠、包裝。 該工藝涉及的主要化學(xué)反應(yīng)式如下： ? ? ?32S i H C l H S i 3 H C l 還原 ? ? ?4 2 3S i C l H S i H C l H C l 氫化 改良西門子法的特點(diǎn)是加強(qiáng)尾氣的干法回收，對(duì)尾氣進(jìn)行加壓多級(jí)冷凝分離處理。分離出來(lái)的三氯氫硅、氯化氫、氫氣返回系統(tǒng)利用，分離出來(lái)的四氯化硅加氫反應(yīng) 轉(zhuǎn)化成三氯氫硅后返回還原爐。這樣可以使氯化氫和氫氣得到循環(huán)使用，則氯化氫和氫氣只需要補(bǔ)充生產(chǎn)中損耗量即可，從而大大降低物料消 耗， 并 可將“三廢”量減少到最低程度。 1200 噸多晶硅項(xiàng)目可行性建議書 19 其工藝流程見(jiàn)下圖。 多晶硅生產(chǎn)工藝流程 主要操作技術(shù)條件 ● 電流效率： 98% ● 化學(xué)蒸發(fā)沉積反應(yīng)器內(nèi)溫度： 1050～ 1150℃ 工藝制度 用 改良西門子法 生產(chǎn)多晶硅 必須連續(xù)作業(yè)，生產(chǎn)操作人員為三班三 運(yùn)轉(zhuǎn) 工作制，每班工作八小時(shí)，年工作日為 365 天。 主要技術(shù)經(jīng)濟(jì)指標(biāo) 產(chǎn)品產(chǎn)量與質(zhì)量 產(chǎn)量：多晶硅 1200噸 /年 產(chǎn)品質(zhì)量：硅含量為： % 多晶硅 還原 還 原 尾 氣 干 法 回 收 氫化 SiHCl3精制 SiHCl3 HCl H2 SiCl4 1200 噸多晶硅項(xiàng)目可行性建議書 20 主要技術(shù)經(jīng)濟(jì)指標(biāo) ● 化學(xué)蒸發(fā)沉積反應(yīng)器： 1 臺(tái) ● 初始硅棒數(shù)： 12對(duì) ● 電流效率： 98% ● 化學(xué)蒸發(fā)沉積反應(yīng)器內(nèi)溫度： 1050～ 1150℃ ● 每對(duì)還原爐日生產(chǎn)能力： 330kg/臺(tái) .d 主要原材料、動(dòng)力消耗： ● 三氯氫硅： 17820噸 /年 ● 氫氣： 780萬(wàn) m3/年 ● 鉬絲： 20公斤 /年 ● 硅初棒 ： 500公斤 /年 第四章 土建工程及輔助設(shè)施 主要土建工程有 (合同簽定之后再行設(shè)計(jì) )： 多晶硅還原車間 廠房及還原爐槽基礎(chǔ)等。 廠房為 300m長(zhǎng)， 42m寬，磚混結(jié)構(gòu)防風(fēng)沙，防塵等級(jí)極高，內(nèi)置一臺(tái)化學(xué)蒸發(fā)沉積反應(yīng)器。 三氯氫硅精制車間 為防風(fēng)沙，防塵等級(jí)極高的磚混結(jié)構(gòu)，150m長(zhǎng) ， 18m 寬。 氫氣凈化車間 為防風(fēng)沙，防塵等級(jí)極高的磚混結(jié)構(gòu)， 110m長(zhǎng)， 18m寬。 1200 噸多晶硅項(xiàng)目可行性建議書 21 回收車間 氫氣 凈化車間為防風(fēng)沙，防塵等級(jí)極高的磚混結(jié)構(gòu)， 100m 長(zhǎng)， 35m 寬 酸洗車間 、 烘干車間 、 切斷車間 、 鑄造車間 為相連建筑，仍為防風(fēng)沙，防塵等級(jí)極高的磚混結(jié)構(gòu)，長(zhǎng)總計(jì) 260m，寬 42m。 來(lái)料化驗(yàn)室 、 成品化驗(yàn)室 均為防風(fēng)沙，防塵等級(jí)極高的磚混結(jié)構(gòu)，長(zhǎng) 度為 45m，寬度為 35m。 輔助車間 、 辦公、生活、消防、安全環(huán)境等設(shè)施 待定 第五章 環(huán)境保護(hù)、消防、節(jié)能、勞動(dòng)安全及衛(wèi)生防護(hù) 污染物排放及治理措施 三廢 廢氣 本
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