【正文】 圖像質(zhì)量和分辨本領(lǐng)是人們十分關(guān)注的問題。 ? JoyDC指出 :由于分辨本領(lǐng)受到試樣表面二次電子 SE擴(kuò)散區(qū)大小的基本限制 ,采取適當(dāng)措施如噴鍍一超薄金屬層或布洛赫波隧穿效應(yīng)(BlochWaveChanneling)等來限制SE擴(kuò)散區(qū)的尺寸 ,二次電子分辨本領(lǐng)可望達(dá)到 — ,并進(jìn)而觀察原子像。 掃描電鏡照片展示 注射針頭的掃描電鏡照片 掃描電鏡照片展示 不同倍率的果蠅掃描電鏡照片 掃描電鏡照片展示 可以用計(jì)算機(jī)將黑白照片處理成彩色 掃描電鏡照片展示 肺細(xì)支氣管粘膜杯狀細(xì)胞和纖毛細(xì)胞掃描電鏡照片 掃描電鏡照片展示 紅血球 掃描電鏡照片展示 培養(yǎng)細(xì)胞 掃描電鏡的特點(diǎn) 高的分辨率 掃描電鏡的特點(diǎn) 很強(qiáng)的立體感 掃描電鏡的特點(diǎn) 放大倍率范圍廣 掃描電鏡的特點(diǎn) 樣品適應(yīng)性大 應(yīng)用范圍廣 掃描電鏡生物樣品的制備 SEM所取得的迅速發(fā)展表明，儀器本身性能（如分辨力、多功能等）的不斷提高固然重要，但樣品制備技術(shù)的改良和日趨完善，則對SEM的應(yīng)用與發(fā)展確實(shí)起到了積極促進(jìn)作用。同時(shí)，樣品制備的質(zhì)量如何，也是能否發(fā)揮SEM儀器最佳性能、拍出理想圖像照片的關(guān)鍵所在。因此， SEM生物樣品制備技術(shù)問題，一直是電鏡工作者不斷創(chuàng)新的一個(gè)重要領(lǐng)域。 掃描電鏡生物樣品的制備 一、 SEM生物樣品制備的基本要求 生物樣品與金屬、礦物等材料不同，它具有質(zhì)地柔軟、容易變形、導(dǎo)電性能差、二次電子發(fā)射率低以及含水量多（有的含水量達(dá) 80%以上）等特點(diǎn)。因此，在處于高真空狀態(tài)下的掃描電鏡內(nèi)觀察生物樣品時(shí)，必須嚴(yán)格地遵循一定的原則和操作程序，對樣品進(jìn)行必要的預(yù)處理。 掃描電鏡生物樣品的制備 在進(jìn)行 SEM樣品制備時(shí)，一般應(yīng)掌握以下原則： (一）每一處理步驟及操作過程中，都應(yīng)注意防止對樣品 的污染和損傷，使被觀察的樣品盡可能地保持原有形貌 及微細(xì)結(jié)構(gòu)。 （二）去除樣品內(nèi)的水分，以利于維持 SEM的真空度和防止 對鏡筒的污染。但在脫水和干燥處理時(shí)，要盡量避免和 減少樣品體積變小、表面收縮變形等人工損傷。 （三）降低樣品表面的電阻率，增加樣品的導(dǎo)電性能，以 提高二次電子發(fā)射率，建立適當(dāng)?shù)姆床詈蜏p少樣品的充 放電效應(yīng)。 （四）無論觀察組織、細(xì)胞的表面或內(nèi)部微細(xì)構(gòu)造，都應(yīng) 注意辨認(rèn)和保護(hù)觀察面。 生物樣品制備的基本操作程序 生物樣品的導(dǎo)電處理 生物樣品尤其是經(jīng)干燥處理的樣品 ,其表面電阻率很高 ,導(dǎo)電性能很差 ,當(dāng)接受電子束照射時(shí) ,易造成充電和放電效應(yīng) ,以至圖像模糊不清。 此外生物樣品元素成分原子序數(shù)低 ,二次電子發(fā)射率低 ,也難得到反差適當(dāng)?shù)膱D像 ,為增加導(dǎo)電性能 ,提高二次電子發(fā)射率 ,必須對樣品進(jìn)行導(dǎo)電處理。 S5200冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡 專門為現(xiàn)今技術(shù)研究和發(fā)展設(shè)計(jì)的超高分辨率儀器。 S5200的獨(dú)特之處在于使用復(fù)合檢測器允許同時(shí)顯示二次電子和背散射電子成像。 S5200可以以三維立體形態(tài)觀察各種物質(zhì)的原子或分子結(jié)構(gòu)，具有比一般掃描或電子顯微鏡更卓越的性能。 ? 1． 世界上最高分辨率的掃描電子顯微鏡 ? ◎ 在 30KV保證 ? ◎ 在 1KV保證 (在 2KV，可得到 ) ? 2． 獨(dú)特的檢測方式可以同時(shí)顯示二次電子 (SE)和背散射電子（ BSE）成像。 ? 3． 穩(wěn)定的超高分辨率的顯微技術(shù)。 ? ◎ 最大放大倍率 1,000,000倍 . ? ◎ 機(jī)器穩(wěn)定性提高，在地面振動(dòng)條件10mm(PP)， 5HZ條件下可以觀察高達(dá) 600， 000倍的圖像。 ? ◎ 真空干燥系統(tǒng)，由分子渦輪泵和渦管泵組成，樣品污染最小。 ? ◎ 高速電子束系統(tǒng)減少樣品鏡筒污染。 ? ◎ 大液氮冷阱減少樣品污染。 ? ◎ 側(cè)面插入樣的載物臺(tái)適合高分辨率工作 ? 4． 結(jié)合高分辨率的顯微技術(shù)和友好操作的設(shè)計(jì) ? ◎ 不用改變物鏡孔即可切換分辨率模式和EDX工作模式。 ? ◎ 可以在所有操作方式（ SE， BSE和STEM）間切換，因?yàn)闃悠肺恢每勺儭? ? 《掃描電鏡技術(shù)及其應(yīng)用》 ? 掃描電鏡技術(shù)及其應(yīng)用 出版社：廈門大學(xué) 作 者：郭素枝 ? 開 本： 16開 ISBN： 7561525192 頁 數(shù)： 169 出版日期： 20230201 第 1版 第 1次印刷 2023/1/16 北京工業(yè)大學(xué) 128 電子探針顯微分析 2023/1/16 北京工業(yè)大學(xué) 129 電子探針顯微分析 電子探針的應(yīng)用范圍越來越廣，特別是材料顯微結(jié)構(gòu)－工藝－性能關(guān)系的研究，電子探針起了重要作用。電子探針顯微分析有以下幾個(gè)特點(diǎn)： 1. 顯微結(jié)構(gòu)分析 2. 元素分析范圍廣 3. 定量分析準(zhǔn)確度高 4. 不損壞試樣、分析速度快 5. 微區(qū)離子遷移研究 2023/1/16 北京工業(yè)大學(xué) 130 1. 顯微結(jié)構(gòu)分析 電子探針是利用 m－ 1μ m的高能電子束激發(fā)所分析的試樣，通過電子與試樣的相互作用產(chǎn)生的特征 X 射線、二次電子、吸收電子、 背散射電子及陰極熒光等信息來分析試樣的微區(qū)內(nèi) (μ m范圍內(nèi) )成份、形貌和化學(xué)結(jié)合狀態(tài)等特征。 電子探針成分分析的空間分辨率（微區(qū)成分分析所能分析的最小區(qū)域）是幾個(gè)立方 μ m范圍， 微區(qū)分析是它的一個(gè)重要特點(diǎn)之一 , 它能將微區(qū)化學(xué)成份與顯微結(jié)構(gòu)對應(yīng)起來，是一種顯微結(jié)構(gòu)的分析 。而一般化學(xué)分析、 X 光熒光分析及光譜分析等，是分析試樣較大范圍內(nèi)的平均化學(xué)組成，也無法與顯微結(jié)構(gòu)相對應(yīng) , 不能對材料顯微結(jié)構(gòu)與材料性能關(guān)系進(jìn)行研究。 返回 2023/1/16 北京工業(yè)大學(xué) 131 2. 元素分析范圍廣 電子探針?biāo)治龅脑胤秶话銖呐?B)—— 鈾 (Ｕ )， 因?yàn)殡娮犹结槼煞莘治鍪抢迷氐奶卣?X 射線，而氫和氦原子只有 K 層電子，不能產(chǎn)生特征 X 射線，所以無法進(jìn)行電子探針成分分析。鋰 (Li)和鈹 (Be)雖然能產(chǎn)生X 射線，但產(chǎn)生的特征 X 射線波長太長，通常無法進(jìn)行檢測， 少數(shù)電子探針用大面間距的皂化膜作為衍射晶體已經(jīng)可以檢測 Be元素。能譜儀的元素分析范圍現(xiàn)在也和波譜相同，分析元素范圍從硼 (B)—— 鈾 (Ｕ ) 返回 2023/1/16 北京工業(yè)大學(xué) 132 3. 定量分析準(zhǔn)確度高 電子探針是目前微區(qū)元素定量分析最準(zhǔn)確的儀器。電子探針的檢測極限 (能檢測到的元素最低濃度 )一般為 （ － ） %， 不同測量條件和不同元素有不同的檢測極限，但由于所分析的體積小，所以檢測的絕對感量極限值約為 1014g， 主元素定量分析的相對誤差為 (1— 3)%，對原子序數(shù)大于 11 的元素，含量在 10% 以上的時(shí)，其相對誤差通常小于 2%。 返回 2023/1/16 北京工業(yè)大學(xué) 133 4. 不損壞試樣、分析速度快 現(xiàn)在電子探針均與計(jì)算機(jī)聯(lián)機(jī)，可以連續(xù)自動(dòng)進(jìn)行多種方法分析，并自動(dòng)進(jìn)