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硅片(多晶硅)切割工藝及流程畢業(yè)設(shè)計(jì)論文-閱讀頁(yè)

2025-07-29 10:52本頁(yè)面
  

【正文】 姜謙指出,短短幾天之內(nèi),多家國(guó)際企業(yè)紛紛選擇投資光伏產(chǎn)業(yè),這并非偶然。姜謙同時(shí)認(rèn)為,以上國(guó)際企業(yè)的入主應(yīng)該只是一個(gè)開(kāi)端,未來(lái)應(yīng)該會(huì)有更多的海外資本選擇涉足中國(guó)太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)。 雖然說(shuō)我國(guó)光伏產(chǎn)業(yè)的前景一片廣 闊,但是發(fā)展歷程并不會(huì)一帆風(fēng)順。而這種發(fā)展已不僅僅是簡(jiǎn)單的產(chǎn)能獲得提升,更重要的是在掌握核心技術(shù)前提下的國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力的提升。若國(guó)內(nèi)廠商不盡快在技術(shù)領(lǐng)域?qū)で笸黄疲敲?,未?lái)受影響的將不止單個(gè)企業(yè)的利益,整個(gè)國(guó)內(nèi)光伏產(chǎn)業(yè)的發(fā)展或許都會(huì)受到國(guó)際巨頭的牽制。然而 隨著半導(dǎo)體行業(yè)的飛速發(fā)展,人們對(duì)已有的生產(chǎn)效率難以滿足,同時(shí)由于內(nèi)圓切割的材料損失非常大,在半導(dǎo)體行業(yè)成本的摩爾定律作用下,人們對(duì)于降低切割成本、提高效率的要求越來(lái)越高。 硅片(多線)切割機(jī)的基本介紹 硅片(多晶硅)切割工藝及流程 13 多線切割機(jī) 多線切割是一種通過(guò)金屬絲的高速往復(fù)運(yùn)動(dòng),把磨料帶入半導(dǎo)體加工區(qū)域進(jìn)行研磨,將半導(dǎo)體等硬脆材料一次同時(shí)切割為數(shù)百片薄片的一種新型切割加工方法。 硅片(多晶硅)切割工藝及流程 14 基于高精度高速低 耗切割控制關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)的高精度數(shù)控多線高速切割機(jī)床,可全面實(shí)現(xiàn)對(duì)半導(dǎo)體材料及各種硬脆材料的高精度、高速度、低損耗切割,填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白;成果具有多項(xiàng)自主知識(shí)產(chǎn)權(quán),整體技術(shù)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平,其中切割線的張力控制技術(shù)、收放線電機(jī)和主電機(jī)的同步技術(shù)居于國(guó)際領(lǐng)先水平。硅片多線切割技術(shù)是目前世界上比較先進(jìn)的硅片加工技術(shù),它不同于傳統(tǒng)的刀鋸片、砂輪片等切割方式,也不同于先進(jìn)的激光切割和內(nèi)圓切割,它的原理是通過(guò)一根高速運(yùn)動(dòng)的鋼線帶動(dòng)附著在鋼絲上的切割刃料對(duì)硅棒進(jìn)行摩擦,從而達(dá)到切割 效果。 中國(guó)太陽(yáng)能硅片線切割設(shè)備國(guó)產(chǎn)化的現(xiàn)狀和趨勢(shì) 多線切割設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化道路充滿了坎坷 多線切割設(shè)備為國(guó)際 3大廠統(tǒng)治 ? 目前全球的多線切割設(shè)備主要為瑞士的 HCT、 Meyer Burger(梅耶博格 )和日本的 NTC 所統(tǒng)治。 在國(guó)內(nèi)光伏行業(yè)切片領(lǐng)域,到 20xx年底國(guó)際上影響力最大的三 家設(shè)備供應(yīng)商在中國(guó)市場(chǎng)產(chǎn)能中差不多是三分天下, NTC 的份額稍微高一點(diǎn)。其他包括國(guó)內(nèi)品牌和國(guó)外進(jìn)口的其他小品牌。太陽(yáng)能光伏市場(chǎng)在 20xx 年啟動(dòng)以后, HCT針對(duì)市場(chǎng)需要在 20xx 年推出了世界上最大的太陽(yáng)能硅片線切割機(jī) B5。 HCT在 20xx年被美國(guó)的應(yīng)用材料收購(gòu)。 HCT 在太陽(yáng)能行業(yè)應(yīng)用的主流機(jī)型是 B5,雙工作臺(tái) 4 個(gè)導(dǎo)輪滿載可以一次切割硅棒長(zhǎng)達(dá)到 2 米,非常適合大規(guī)模生產(chǎn)。 針對(duì)市場(chǎng)新的需求和變 化,在 20xx 年推出了新機(jī)型 MaxEdge B6,主要特點(diǎn)是將原有的一個(gè)線網(wǎng)拆分為 2個(gè)獨(dú)立控制的線網(wǎng),這樣有助于硅片(多晶硅)切割工藝及流程 16 使用更細(xì)的切割線從而提高出片率降低生產(chǎn)成本。 第三章.硅片切割機(jī)的工作原理及結(jié)構(gòu) 基本結(jié)構(gòu) 基本結(jié)構(gòu) :切割室、繞線室、砂漿缸、電機(jī)、電腦控制系統(tǒng)。多線切割由于 其更高效、更小切割損失以及更高精度的優(yōu)勢(shì),對(duì)于切割貴重、超硬材料有著巨大的優(yōu)勢(shì),近十年來(lái)已取代傳統(tǒng)的內(nèi)圓切割成為硅片切割加工的主要方式。 切割液的粘度是碳化硅微粉懸浮的重要保證。例如瑞士線切割機(jī)要求切割液的粘度不低于55,而 NTC 要求 2225,安永則低至 18。 由于帶著砂漿的鋼線在切割硅料的過(guò)程中,會(huì)因?yàn)槟Σ涟l(fā)生高溫,所以切割液的粘度又對(duì)冷卻起著重要作用。的 (PEG)粘度 碳化硅微粉的粒型及粒度 太陽(yáng)能硅片的切割其實(shí)是鋼線帶著碳化硅微粉在切,所以微粉的粒型及粒度是硅片表片的光潔程度和切割能力的關(guān)鍵。 砂漿的粘度 線切割機(jī)對(duì)硅片切割能力的強(qiáng)弱,與砂漿的粘度有著不可分割的關(guān)系。只有達(dá)到機(jī)器要求標(biāo)準(zhǔn)的砂漿粘度(如 NTC 機(jī)器要求 250 左右)硅片(多晶硅)切割工藝及流程 19 才能在切割過(guò)程中,提高切割效率,提高成品率。砂漿的流量是否均勻、流量能否達(dá)到切割的要求,都對(duì)切割能力和切割效率起著很關(guān)鍵的作用。 鋼線的速度 由于線切割機(jī)可以根據(jù)用戶的要求進(jìn)行單向走線和雙向走線,因而兩種情況下對(duì)線速的要求也不同。目前單向走線的操作越來(lái)越少,僅限于 MB 和 HCT機(jī)器。在雙向切割的過(guò)程中,線切割機(jī)的切割能力在一定范圍內(nèi)隨著鋼線的速度提高而提高,但不能低于或超過(guò)砂漿的切割能力。 鋼線的張力 鋼線的張力是硅片切割工藝中相當(dāng)核心的要素之一。 鋼線的張力過(guò)小,將會(huì)導(dǎo)致鋼線彎曲度增大,帶砂能力下降,切割能力降低。 鋼線張力過(guò)大,懸浮在鋼線上的碳化硅微粉就會(huì)難以進(jìn)入鋸縫,切割效率降低,出現(xiàn)線痕片等,并且斷線的幾率很大。 工件的進(jìn)給速度 工件的進(jìn)給速度與鋼線速度、砂 漿的切割能力以及工件形狀在進(jìn)給的不同位置等有關(guān)。但控制不好,也可能會(huì)出現(xiàn)線痕片等不良效果,影響切割質(zhì)量和成品率。 “ on上。 ,使其呈下凹狀態(tài)。 ,并連接好沙漿管道。 ,并將過(guò)濾網(wǎng)取出。 ,再次檢查切割室里是否有碎片,并將其清除。 。 ,并用壓縮空氣吹干。并用壓縮空氣吹干。 硅片(多晶硅)切割工藝及流程 22 ,用燈照明,觀察線網(wǎng)位置,看硅塊是否完全切透(若未切透,應(yīng)根據(jù)線網(wǎng)位置加切)。硅片區(qū) 1030mm/min” . ,點(diǎn)擊硅塊上升鍵,工作臺(tái)將緩慢上升。依次取下“左上,右上,左下,右下”托板 壓緊固定塊。小心將硅塊放入預(yù)清洗架內(nèi),并在托板上標(biāo)好硅塊位置,用同樣的方式將硅塊逐一取出,取出之后放入裝滿 PEG的車內(nèi),隨工單一起送入預(yù)清洗。 ,選擇直徑與長(zhǎng)度均符合工藝要求的鋼線。 (箭頭所指方向?yàn)榉啪€方向) ,將其推入到位。 。 ,(放線輪為 180N) (出現(xiàn)響聲)。 ,直到聽(tīng)見(jiàn)扳手轉(zhuǎn)動(dòng)聽(tīng)見(jiàn)聲響,在進(jìn)行兩次同樣的轉(zhuǎn)動(dòng)放線輪半圈的操作。 。 ,將切割室上方的噴嘴取下。 。 ,點(diǎn)擊操作界面無(wú)鋼線模式。 ,再將線慢 走 56圈。 ,用手順時(shí)針慢速轉(zhuǎn)動(dòng)導(dǎo)輪運(yùn)行控制器。 ,從 d導(dǎo)輪的第一槽開(kāi)始。 。 ,用刀片把膠布將線網(wǎng)壓緊。 ,看線 頭是否會(huì)散開(kāi)。 ,確保所有門(mén)為鎖好狀態(tài)。 。 812m/s,點(diǎn)擊屏幕是導(dǎo)輪自動(dòng)跑線。 ,將電腦控制屏下方的鎖鍵打在“ bypass”位置。 的左端測(cè)量線網(wǎng),在刻度為 280mm 處用小刀取出一根鋼線。 ,取出前半段線網(wǎng)線頭,將線引向收線輪。 。 。 。 ,確認(rèn)線網(wǎng)是否認(rèn)朝出線口方向,可將線接的頭壓入線網(wǎng)。 ,是所有門(mén)鎖住,將鎖門(mén)鍵打在“ safe”位置。 ,將鎖門(mén)鍵打在“ bypass”位置,點(diǎn)擊主界面上的硅片(多晶硅)切割工藝及流程 26 鎖門(mén)鍵,使其呈上凸?fàn)顟B(tài),打開(kāi)切割室 門(mén),并剪去多余的鋼線。 ,將引進(jìn)的線頭與收線輪的線頭打結(jié),并將線掛上導(dǎo)輪,打開(kāi)左收線輪小張力。 選取硅塊 :確定托板上硅塊之間的縫隙呈上窄下寬型,且單個(gè)硅塊呈“側(cè)梯形”。 。 ,凡不符合上述要求的硅塊不能切割。 ,并用小車緩慢運(yùn)至切片機(jī)外。 A B 硅片(多晶硅)切割工藝及流程 27 C D 空氣壓縮鍵,依次裝入硅塊,硅塊裝好后觀察確認(rèn),硅塊不會(huì)觸碰砂漿噴嘴。 ,關(guān)閉所有門(mén),將鎖門(mén)鍵打上使呈下凹狀態(tài),點(diǎn)擊安全門(mén)鎖,點(diǎn)擊信息欄,確認(rèn)報(bào)警列表中只顯示鎖門(mén)鍵未到位。 “ safe”位置,在所有要求符合切割條件后,開(kāi)始熱機(jī)。 第五章.切片切割操作中遇到的問(wèn)題及解決方案 跳線的產(chǎn)生 在排線的過(guò)程中,經(jīng)常會(huì)遇到產(chǎn)生跳線的現(xiàn)象,導(dǎo)致排線的時(shí)間延長(zhǎng)又增加勞力,產(chǎn)生跳線的原因主要是線網(wǎng)沒(méi)有拍干 凈、導(dǎo)輪沒(méi)有吹刮干凈,或者是膠布沒(méi)有貼好產(chǎn)生線松開(kāi)。膠布也一定要貼緊。所以在操作硅片(多晶硅)切割工藝及流程 28 過(guò)程中每一個(gè)細(xì)節(jié)都要十分小心,才能在最短的時(shí)間內(nèi)最好的完成。 切片操作過(guò)程中的注意事項(xiàng) 、裝硅塊、取片的時(shí)候都要小心,防止人受傷或硅塊、硅片受損。 ,防止跑線的時(shí)候松動(dòng)散開(kāi)。 ,沒(méi)裝好就開(kāi)始熱機(jī)會(huì)造成砂漿噴出,造成不必要的麻煩。感謝陳勇老師對(duì)我的辛勤培育。他廣博的學(xué)識(shí),嚴(yán)肅的科學(xué)態(tài)度,嚴(yán)謹(jǐn)?shù)闹螌W(xué)精神,靈活的思維方式,耐心細(xì)致的言傳身教深深感染激勵(lì)著我,將使我終身受益。 同時(shí)感謝同組的張城龍同學(xué)在完成論文中給予的幫助。另外,我要感謝在這幾年來(lái)對(duì)我有所教導(dǎo)的老師,他們孜孜不倦的教誨不但讓我學(xué)到了很多知識(shí),而且讓我掌握了學(xué)習(xí)的方法,更教會(huì)了我做人處事的道理,在此表示感謝。我為自己能夠在這樣一個(gè)溫暖和諧的班級(jí)體中學(xué)習(xí)工作,深感溫暖、愉快和幸運(yùn)。
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