【正文】 鋼絲上的切割刃料對硅棒進(jìn)行摩擦，從而將硅棒等硬脆材料一次同時切割為數(shù)千片薄片的一種切割加工方法。由于不同的機(jī)器開發(fā)設(shè)計的系統(tǒng)思維不同，因而對砂漿的粘度也不同，即要求硅片（多晶硅）切割工藝及流程 18 切割液的粘度也有不同。如果粘度不達(dá)標(biāo)，就會導(dǎo)致液的流動性差，不能將溫度降下來而造成灼傷片或者出現(xiàn)斷線，因此切割液的粘度又確保了整個過程的溫度控制。而砂漿的粘度又取決于硅片切割液的粘度、硅片切割液與碳化硅微粉的適配性、硅片切割液與碳化硅微粉的配比比例、砂漿密度等。如果流量跟不上，就會出現(xiàn)切割能力嚴(yán)重下降，導(dǎo)致線痕片、斷線、甚至是機(jī)器報警。 雙向走線時，鋼線速度開始由零點沿一個方向用 23 秒的時間加速到規(guī)定速度，運(yùn)行一段時間后，再沿原方向慢慢降低到零點，在零點停頓 秒后再慢慢地反向加速到規(guī)定的速度，再沿反方向慢慢降低到零點的周期切割過程。張力控制不好是產(chǎn)生線痕片、崩邊、甚至短線的重要原因。 如果當(dāng)切到膠條的時候，有時候會因為張力使用時間過長引起偏離零點的變化，出現(xiàn)崩邊等情況。 硅片（多晶硅）切割工藝及流程 21 hctb6 切片機(jī)開機(jī)準(zhǔn)備 “睡 .氣 .漿料閥”打開。 。 ，待轉(zhuǎn)預(yù)清理。 。 “ bypass”位置 ，使其成凸起狀。 ，依次點擊“左上，右上，左下，右下”工作臺氣壓鍵。 ，包裝紙上的箭頭表示放線的方向。 硅片（多晶硅）切割工藝及流程 23 合。 ，將收線輪轉(zhuǎn)動半圈，再用定位器固定。 “高限位”在 彈出的框中輸入值（輸入值 =新線總長 5km) 。 ，并在線頭上再粘上膠布，并確保粘接牢固。 。 。 。 “ SAFE”位置。 。 ，同時用手指壓住上面鋼線，避免鋼線松動。 ，將線頭引向放線輪。 ，修剪線頭，使 其為 長，轉(zhuǎn)動線頭一圈或一圈半，使線頭朝出線口方向。 ，將跑線長度設(shè)定為（一般為 20xx 米），將跑線速度設(shè)定為 812m/s,使導(dǎo)輪自動跑線，跑線期間可打開觀察窗口檢查線頭是否散開或線網(wǎng)散亂。 ，觀察鋼線有無跳線，將左右張力都打向大張力，在大張力喜愛跑線（ 100m500m）左右，確認(rèn)無跳線。 否符合分線網(wǎng)要求。 6 根砂漿噴嘴徹底清理干凈，并用壓縮氣體吹干。如未達(dá)到要求，檢查安全門是否關(guān)緊。所以在排線網(wǎng)的時候一定要注意要拍干凈，同時要注意不要太重以免臟東西拍到噴嘴上，熱機(jī)的時候容易產(chǎn)生跳線。 線痕的產(chǎn)生 線痕的產(chǎn)生是十分可惜的，因為到了最后一步，把線排好，沒跳線、中間沒有線重合擠壓是減少線痕的最佳辦法。 ，要不會斷線。從論文的立題到實驗的設(shè)計以及論文的撰寫整個過程無不浸透著老師的硅片（多晶硅）切割工藝及流程 30 心血。我們在這幾個月的實驗中互相討論、互相協(xié)作下建立深厚的感情有助于我們今后的工作和生活。 最后向多年默默支持我和關(guān)心我，不斷給我 信心、支持我上進(jìn)，使我順利完成大學(xué)學(xué)業(yè)的家人，特別是我的父母，獻(xiàn)上我最真摯的謝意和最美好的祝福。我還要向我的同學(xué)們表示感謝，感謝 08光伏（ 8）班所有同學(xué)對我生活和學(xué)業(yè)上的關(guān)心和幫助。導(dǎo)師不但在學(xué)習(xí)上給予我耐心細(xì)致的指導(dǎo)，在生活中也給了我 關(guān)懷，這份師恩我將終身難忘。 參考文獻(xiàn) [1] 車孝軒 .太陽能光伏系統(tǒng)概念 .湖北：武漢大學(xué)出版社 [2]Martin , Keith Cell Efficiency Tables(Version30).: 硅片（多晶硅）切割工藝及流程 29 致 謝 本論文是在導(dǎo)師陳勇老師的悉心指導(dǎo)和關(guān)懷下完成的。 ，如果有磨損要換新的。 斷線的原因分析及解決 斷線是件頭疼的事情，斷線的原因有很多：線結(jié)沒打好；滑輪磨壞嚴(yán)重；線重合摩擦嚴(yán)重；跑線的時候忘記開張力等等。 7，熱機(jī)自動停止后，打開安全門檢查是否有跳線，（如有，貼膠布排線）沒有就關(guān)門，所有要求符合后開始切割。 ，復(fù)位后設(shè)定 1mm,然后再次復(fù)位，最后將硅塊升高 1020mm。 、邊上、中間的微粒物質(zhì)及膠等。 :確定托板上的硅塊與玻璃面平行，無左右偏離。 ，使鋼線與導(dǎo)輪槽垂直。 。 ，使鋼線與導(dǎo)輪槽水平無夾角。 ，并將線掛上滑輪。 硅片（多晶硅）切割工藝及流程 25 ，使其呈上凸?fàn)顟B(tài)。 ，并根據(jù)要切硅塊長度設(shè)定跑線長度（一般為 2800m）。 。 1mm左右時，停止轉(zhuǎn)動。 （約 5mm)，再次控制導(dǎo)輪以合適的布線速度運(yùn)行。 24方法，在膠布纏繞住頂層膠布的同時，一邊再用膠布纏繞住硅片（多晶硅）切割工藝及流程 24 鋼線。 （靠繞線室側(cè)）將膠布反面導(dǎo)輪偏左側(cè)引入反面纏繞在導(dǎo)輪上，膠布要拉緊，將膠布纏繞 34圈。 。 。 ，并保持包裝紙上的方向朝下。 ，有兩人將上下工作臺硅塊取出，并裝好例一邊的插桿。 ，在彈出的框中輸入值，范圍在“玻璃區(qū) 5mm/min” 。 。 ，并用水清理干凈。 ，將線網(wǎng)表面的雜質(zhì)拍除干凈。 ，點擊箭頭所指（ I/O)鍵。工件進(jìn)給速度在整個切割過程中，是由以上的相關(guān)因素決定的，也是最沒有定量的一個要素。從而出現(xiàn)線痕片等。如果低于砂漿的切割能力，就會出現(xiàn)線痕片甚至斷線；硅片（多晶硅）切割工藝及流程 20 反之，如果超出砂漿的切割能力，就可能導(dǎo)致砂漿流量跟不上，從而出現(xiàn)厚薄片甚至線痕片等。單向走線時，鋼線始終保持一個速度運(yùn)行（ MB 和 HCT 可以根據(jù)切割情況在不同時間作出手動調(diào)整），這樣相對來說比較容易控制。 砂漿的流量 鋼線在高速運(yùn)動中，要完成對硅料的切割，必須由砂漿泵將砂 漿從儲料箱中打到噴砂咀，再由噴砂咀噴到鋼線上。粒型規(guī)則，切出來的硅片表明就會光潔度很 好；粒度分布均勻，就會提高硅片的切割能力。只有符合機(jī)器要求的切割標(biāo)準(zhǔn)的粘度，才能在切割的過程中保證碳化硅微粉的均勻懸浮分布以及砂漿穩(wěn) 定地通過砂漿管道隨鋼線進(jìn)入切割區(qū)。 第四章．硅片切割工藝及流程 切割工藝 主要參數(shù) 左上鋼線張力 右上鋼線張力 23N 23N 左下鋼線張力 右下鋼線張力 硅片（多晶硅）切割工藝及流程 17 20N 20N 工作臺臺速 馬達(dá)轉(zhuǎn)速 300um/min 1700rpm 硅錠尺寸 一般熱機(jī)時間 m 810min 砂漿缸入口溫度 左上回流缸溫度 22℃ 20℃ （ PEG）的粘度 切割液（ PEG）的粘度 由于在整個切割過程中，碳化硅微粉是懸浮在切割液上而通過鋼線進(jìn)行切割的，所以切割液主要起懸浮和冷卻的作用。但是目前該設(shè)備還處于推廣階段，工藝還有待進(jìn)一步成熟。 HCT 在 20xx 年進(jìn)入中國市場，主要的客戶來自半導(dǎo)體行業(yè)的包括北京有研、濟(jì)寧港灣、寧波晶元等。 硅片（多晶硅）切割工藝及流程 15 HCT 簡介： ? HCT 在 1983 年推出第一臺線切割機(jī)后 14 年里才累計賣出了100臺設(shè)備，在隨后的 6 年里又累計賣出了 150臺。瑞士的 HCT、梅耶博格最早在上世紀(jì)80 年代就推出了線切割機(jī)，主要為半導(dǎo)體行業(yè)所用。 硅片是半導(dǎo)體和光伏領(lǐng)域的主要生產(chǎn)材料。多線切割技術(shù)因此而逐步發(fā)展起來。如果說先前的終端市場集中在海外是國內(nèi)光伏制造企業(yè)發(fā)展的最大瓶頸的話，那么后金融危機(jī)時代，內(nèi)需市場逐步開啟的情況下，國內(nèi)企業(yè)卻將面臨因成本高企而導(dǎo)致產(chǎn)品缺乏競爭力的尷尬。這不管是對國內(nèi)光伏產(chǎn)業(yè)來說，還是對我國的整個能源產(chǎn)業(yè)來說，都是一個巨大的機(jī)遇。 6硅片（多晶硅）切割工藝及流程 11 月 16 日四川甘孜州政府與西班 牙維拉米爾集團(tuán)在西班牙正式簽訂協(xié)議，總投資 。 姜謙認(rèn)為，雖然到目前為止全球太陽能產(chǎn)業(yè)的終端市場仍然集中在歐洲，但隨著金融危機(jī)后各國太陽能政策的轉(zhuǎn)變，中國等新興市場有 望取代西班牙、德國成為全球太陽能產(chǎn)業(yè)的主要增長點。 硅片（多晶硅）切割工藝及流程 10 未來的發(fā)展趨勢及展望 我國光伏產(chǎn)業(yè)吸引世界目光 伴隨著太陽能投資熱潮在中國的興起，中國的太陽能產(chǎn)業(yè)已經(jīng)成為全球矚目的焦點。也就是說，發(fā)出來的電電網(wǎng)公司有積極性去購買，終端用戶樂意去用才是最關(guān)鍵的因素。 以上政策對于德國、西班牙的光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展起到了至關(guān)重要的作用。新法規(guī)已在 20xx年 1月