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多晶硅生產(chǎn)工藝-閱讀頁(yè)

2025-01-18 09:44本頁(yè)面
  

【正文】 純 ? 除了設(shè)備問(wèn)題以外,精餾操作過(guò)程的影響因素主要有以下幾個(gè)方面:塔的溫度和壓力(包括塔頂、塔釜和某些有特殊意義的塔板);進(jìn)料狀態(tài);進(jìn)料量;進(jìn)料組成;進(jìn)料溫度;塔內(nèi)上升蒸汽速度和蒸發(fā)釜的加熱量;回流量;塔頂冷劑量;塔頂采出量和塔底采出量。 三氯氫硅氫還原的原理及影響因素 ? 經(jīng)提純和凈化的 SiHCl3和 H2,按一定比例進(jìn)入還原爐,在 1080℃ ~ 1100℃ 溫度下, SiHCl3被 H2還原,生成的硅沉積在發(fā)熱體硅芯上。 但實(shí)際上反應(yīng)溫度不能太高 , 因?yàn)椋? ?硅和其他半導(dǎo)體材料一樣 , 自氣相往固態(tài)載體上沉積時(shí) ,都有一個(gè)最高溫度 , 當(dāng)反應(yīng)超過(guò)這個(gè)溫度 , 隨著溫度的升高 , 沉積速度反而下降 。 ?對(duì)硅極為有害的 B、 P化合物 , 隨著溫度增高 , 其還原量也加大 , 這將使硅的沾污增加 。 三氯氫硅氫還原的影響因素 2. 反應(yīng)混合氣配比 所謂反應(yīng)混合氣配比是指還原劑氫氣和原料三氯氫硅的摩爾比 。因此 , H2必須過(guò)量 , 這樣有利于提高實(shí)收率 , 而且產(chǎn)品結(jié)晶質(zhì)量也較好 。 同時(shí) , 氫氣量太大 , 會(huì)稀釋 SiHCl3的濃度 , 減少 SiHCl3和硅棒表面碰撞的幾率 , 降低硅的沉積速度 , 降低硅的產(chǎn)量 。 c) 因此 , 選擇合適的配比 , 使之有利于提高硅的轉(zhuǎn)化率 , 又有利于抑制 B、 P析出 。 流量大小與還原爐結(jié)構(gòu)和大小 , 特別時(shí)載體表面積大小有關(guān) 。 這將有效地消除灼熱載體表面的氣體邊界層 , 其結(jié)果將增加還原反應(yīng)速度 , 使硅的實(shí)收率得到提高 , 但反應(yīng)氣體流量不能增的太大 , 否則造成反應(yīng)氣體在爐內(nèi)停留時(shí)間太短 , 轉(zhuǎn)化率相對(duì)降低 , 同時(shí)增大了干法回收崗位的工作量 。 所以采用多對(duì)棒 , 開大直徑棒 ,有利于提高生產(chǎn)效率 。 隨著反應(yīng)周期延長(zhǎng) , 沉積硅棒越來(lái)越粗 , 載體表面越來(lái)越大 , 則沉積速率不斷增加 , 反應(yīng)氣體對(duì)沉積面碰撞機(jī)會(huì)也越多 , 因而產(chǎn)量就越高 。 ? 延長(zhǎng)開爐周期 , 相對(duì)應(yīng)地減少了載體的單位消耗量 , 并縮短停爐 、 裝爐的非生產(chǎn)時(shí)間 , 有利于提高多晶硅的生產(chǎn)效率 。 原料的質(zhì)量要求 ? 三氯氫硅氫還原崗位所需的原料有 :氫氣、三氯氫硅、硅芯、石墨等。 ? 三氯氫硅 : ? 硅芯 :需要控制直徑、有效長(zhǎng)度、彎曲度,型號(hào): N型,電阻率等。加工件經(jīng)純水煮洗烘干,真空高溫煅燒后備用。 經(jīng)常檢查控制條件是否穩(wěn)定 ,并適時(shí)調(diào)節(jié) , 經(jīng)常關(guān)擦爐內(nèi)硅棒生長(zhǎng)有無(wú)異常 ,以便及時(shí)處理 。 夾層對(duì)多晶質(zhì)量的影響 硅棒從還原爐取出后 , 從硅棒的橫斷面上可以看到一圈圈的層狀結(jié)構(gòu) , 是一個(gè)同心圓 。 1. 氧化夾層 ? 在還原過(guò)程中 , 當(dāng)原料混合氣中混有水汽或氧時(shí) , 則會(huì)發(fā)生水解及氧化 , 生成一層 SiO2氧化層 附在硅棒上 ,當(dāng)被氧化的硅棒又接續(xù)沉積硅時(shí) , 就形成 “ 氧化夾層 ” 。 酸洗也不能除去這種氧化夾層 , 拉晶時(shí)還會(huì)產(chǎn)生 “ 硅跳 ” 。 夾層對(duì)多晶質(zhì)量的影響 2. 溫度夾層 ? 在還原過(guò)程中 , 在比較低的溫度進(jìn)行時(shí) , 此時(shí)沉積硅為無(wú)定形硅 , 此時(shí)提高反應(yīng)溫度繼續(xù)沉積時(shí) , 就形成了 暗褐色的溫度夾層 ( 因?yàn)檫@種夾層很大程度受溫度的影響 , 因此成為 “ 溫度夾層 ” ) 。 用酸腐蝕都無(wú)法處理掉 , 拉晶溶料時(shí)重則也會(huì)發(fā)生 “ 硅跳 ” 。 突然停電或停爐時(shí) , 要先?;旌蠚?。這就是光電效應(yīng)太陽(yáng)能電池的工作原理。 ? 光 — 熱 — 電轉(zhuǎn)換方式通過(guò)利用太陽(yáng)輻射產(chǎn)生的熱能發(fā)電,一般是由 太陽(yáng)能集熱器 將所吸收的熱能轉(zhuǎn)換成工質(zhì)的蒸氣,再驅(qū)動(dòng)汽輪機(jī)發(fā)電。 ? 太陽(yáng)能電池根據(jù)所用材料的不同,太陽(yáng)能電池還可分為:硅太陽(yáng)能電池、多元化合物薄膜太陽(yáng)能電池、 聚合物多層修飾電極型太陽(yáng)能電池 、納米晶太陽(yáng)能電池、有機(jī)太陽(yáng)能電池,其中硅太陽(yáng)能電池是目前發(fā)展最成熟的,在應(yīng)用中居主導(dǎo)地位。電池的封裝不僅可以使電池的壽命得到保證,而且還增強(qiáng)了電池的抗擊強(qiáng)度。 組件生產(chǎn)流程 ? 電池檢測(cè) —— 正面焊接 — 檢驗(yàn) — 背面串接 — 檢驗(yàn) — 敷設(shè)(玻璃清洗、材料切割、玻璃預(yù)處理、敷設(shè)) —— 層壓 —— 去毛邊(去邊、清洗) ——裝邊框(涂膠、裝角鍵、沖孔、裝框、擦洗余膠) —— 焊接接線盒 —— 高壓測(cè)試 —— 組件測(cè)試 — 外觀檢驗(yàn) — 1包裝入庫(kù) ? 太陽(yáng)電池組裝工藝簡(jiǎn)介: ? 工藝簡(jiǎn)介:在這里只簡(jiǎn)單的介紹一下工藝的作用,給大家一個(gè)感性的認(rèn)識(shí) . ? 電池測(cè)試 :由于電池片制作條件的隨機(jī)性,生產(chǎn)出來(lái)的電池性能不盡相同,所以為了有效的將性能一致或相近的電池組合在一起,所以應(yīng)根據(jù)其性能參數(shù)進(jìn)行分類;電池測(cè)試即通過(guò)測(cè)試電池的輸出參數(shù)(電流和電壓)的大小對(duì)其進(jìn)行分類。 ? 正面焊接 :是將匯流帶焊接到電池正面(負(fù)極)的主柵線上,匯流帶為鍍錫的銅帶,我們使用的焊接機(jī)可以將焊帶以多點(diǎn)的形式點(diǎn)焊在主柵線上。焊帶的長(zhǎng)度約為電池邊長(zhǎng)的 2倍。 ? 層壓敷設(shè) :背面串接好且經(jīng)過(guò)檢驗(yàn)合格后,將組件串、玻璃和切割好的 EVA 、玻璃纖維、背板按照一定的層次敷設(shè)好,準(zhǔn)備層壓。敷設(shè)時(shí)保證電池串與玻璃等材料的相對(duì)位置,調(diào)整好電池間的距離,為層壓打好基礎(chǔ)。 ? 組件層壓 :將敷設(shè)好的電池放入 層壓機(jī) 內(nèi),通過(guò)抽真空將組件內(nèi)的空氣抽出,然后加熱使 EVA熔化將電池、玻璃和背板粘接在一起;最后冷卻取出組件。我們使用快速固化 EVA時(shí),層壓循環(huán)時(shí)間約為 25分鐘。 ? 修邊 :層壓時(shí) EVA熔化后由于壓力而向外延伸固化形成毛邊,所以層壓完畢應(yīng)將其切除。邊框和玻璃組件的縫隙用硅酮樹脂填充。 ? 焊接接線盒 :在組件背面引線處焊接一個(gè)盒子,以利于電池與其他設(shè)備或電池間的連接。 ? 組件測(cè)試 :測(cè)試的目的是對(duì)電池的輸出功率進(jìn)行標(biāo)定,測(cè)試其輸出特性,確定組件的質(zhì)量等級(jí)。 , January 24, 2023 ? 雨中黃葉樹,燈下白頭人。 :48:5003:48Jan2324Jan23 ? 1故人江海別,幾度隔山川。 :48:5003:48:50January 24, 2023 ? 1他鄉(xiāng)生白發(fā),舊國(guó)見青山。 。 2023年 1月 24日星期二 3時(shí) 48分 50秒 03:48:5024 January 2023 ? 1做前,能夠環(huán)視四周;做時(shí),你只能或者最好沿著以腳為起點(diǎn)的射線向前。 , January 24, 2023 ? 很多事情努力了未必有結(jié)果,但是不努力卻什么改變也沒有。 :48:5003:48Jan2324Jan23 ? 1世間成事,不求其絕對(duì)圓滿,留一份不足,可得無(wú)限完美。 :48:5003:48:50January 24, 2023 ? 1意志堅(jiān)強(qiáng)的人能把世界放在手中像泥塊一樣任意揉捏。 。 2023年 1月 24日星期二 3時(shí) 48分 50秒 03:48:5024 January 2023 ? 1空山新雨后,天氣晚來(lái)秋。 , January 24, 2023 ? 閱讀一切好書如同和過(guò)去最杰出的人談話。 :48:5003:48Jan2324Jan23 ? 1越是無(wú)能的人,越喜歡挑剔別人的錯(cuò)兒。勝人者有力,自勝者強(qiáng)。 2023年 1月 24日星期二 上午 3時(shí) 48分 50秒 03:48: ? 1最具挑戰(zhàn)性的挑戰(zhàn)莫過(guò)于提升自我。 2023年 1月 24日星期二 3時(shí) 48分 50秒 03:48:5024 January 2023 ? 1一個(gè)人即使已登上頂峰,也仍要自強(qiáng)
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