【正文】 作。 所 有相關(guān)設(shè)備管道先使用高純氮?dú)庵脫Q（ 經(jīng)檢測(cè)后氮中氧小于5000PPm，露點(diǎn)小于 45℃） ，合格后再使用高純氫氣置換，氫氣置換合格 （氫中氮小于 5000PPm，氫中氧小于 10PPm） 后才可以進(jìn)料。降溫過(guò)程中嚴(yán)格控制降溫速度，防止低于設(shè)備承受溫度而發(fā)生的設(shè)備損壞。在干法回收系統(tǒng)運(yùn)行期 間，操作者要精心調(diào)整，確保各個(gè)參數(shù)都保持在正常范圍內(nèi)。 氫氣或物料泄露，應(yīng)立即將泄漏部位與其它部分?jǐn)嚅_(kāi)，利用尾氣管道泄壓，當(dāng)系統(tǒng)壓力低于氮?dú)庀到y(tǒng)壓力時(shí)，向系統(tǒng)內(nèi)通入高純氮?dú)?，降低泄漏物中可燃物質(zhì)含量，避免發(fā)生著火爆炸等次生事故。 還原尾氣干法回收系統(tǒng)停車(chē) 應(yīng)按照還原尾氣干法回收系統(tǒng)的工藝操作規(guī)程（或作業(yè)指導(dǎo)書(shū)）的要求操作。 四氯化硅氫化 硅粉與觸媒加料 應(yīng)按照氫化系統(tǒng)和混料機(jī)的工藝操作規(guī)程（或作業(yè)指導(dǎo)書(shū)）的要求操作。操作者應(yīng)佩戴相關(guān)勞動(dòng)防護(hù)用品，避免吸入顆粒性物質(zhì)。 硅粉與觸媒的活化干燥 應(yīng) 按照氫化系統(tǒng)和氫氣加壓凈化系統(tǒng)的操作規(guī)程（或作業(yè)指導(dǎo)書(shū)）的要求操作。 系統(tǒng)運(yùn)行前要確保高純氮?dú)庵脫Q合格，（ 經(jīng)檢測(cè)后氮中氧小于5000PPm，露點(diǎn)小于 45℃） 。 活化干燥過(guò)程中要嚴(yán)格按照 觸媒的升溫曲線進(jìn)行升溫，升溫過(guò)程要嚴(yán)格監(jiān)控系統(tǒng)各參數(shù)的變化情況，升溫 速度不能過(guò)快 （ 溫升不大于 50℃/h） ， 防止設(shè)備管道因?yàn)槎虝r(shí)間內(nèi)形變過(guò)大而造成的損壞。 活化干燥過(guò)程中發(fā)生氫氣泄漏著火時(shí)，要立即停止所有運(yùn)行設(shè)備，切斷電源，利用各個(gè)尾氣點(diǎn)泄壓，通入氮?dú)?，同時(shí)利用干粉滅火器、二氧化碳滅火器或氮?dú)饧皶r(shí)撲救。進(jìn)氫氣前要確保所有相關(guān)設(shè)備、閥門(mén)、管道均已打壓檢漏吹掃合格， （檢漏合格要求：將相關(guān)設(shè)備、管道、閥門(mén)升壓至設(shè)計(jì)壓力，用肥皂水檢測(cè)，無(wú)泄漏；吹掃合格要求：使用白布在泄壓口檢測(cè)，無(wú)油、無(wú)水、無(wú)銹） 各種儀表監(jiān)控裝置經(jīng)校驗(yàn)合格并正常投用。 氫化系統(tǒng)運(yùn)行中要嚴(yán)格按照工藝操作參數(shù)控制，不應(yīng)超過(guò)所有參數(shù)的控制范圍。 氫化反應(yīng)器升溫升壓過(guò)程中應(yīng)控制一定的速度 （ 溫升不大于 50℃ /h） ， 防止設(shè)備管道因?yàn)槎虝r(shí)間內(nèi)形變過(guò)大而造成的損壞。 氫化系統(tǒng)關(guān)鍵部位 (如混合氣預(yù)熱爐附近 )應(yīng)安裝氫氣報(bào)警裝置，一旦氫化反應(yīng)運(yùn)行中物料或泄露著火，應(yīng)立即依據(jù)實(shí)際情況將泄露部分與其它系統(tǒng)切斷，停 止所有運(yùn)行設(shè)備，切斷電源，通過(guò)尾氣泄壓，當(dāng)壓力低于氮?dú)庀到y(tǒng)壓力時(shí)，開(kāi)始向系統(tǒng)內(nèi)通入氮?dú)猓瑫r(shí)利用滅火毯，干粉滅火器、二氧化碳滅火器或氮?dú)獾燃皶r(shí)撲救。停車(chē)時(shí)要遵循“先熱后冷”的原則，先停止所有的加熱設(shè)備，壓縮機(jī)繼續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，當(dāng)系統(tǒng)溫度降至規(guī)定值之下，再停止降溫設(shè)備和壓縮機(jī)。氮?dú)庵脫Q合格后 （氮中氫小于 5000PPm） ，將氫 化系統(tǒng)與其他加盲板系統(tǒng)斷開(kāi)，將氮?dú)夂蛪嚎s空氣以一定配比通入氫化反應(yīng)器內(nèi)對(duì)觸媒進(jìn)行氧化，注意控制氧化時(shí)間和速度，氧化時(shí)間過(guò)短，則鎳沒(méi)有完全轉(zhuǎn)化成氧化鎳，如果從氫化反應(yīng)器內(nèi)抽出，鎳接觸空氣后劇烈氧化可能會(huì)導(dǎo)致著火；氧化速度過(guò)快，鎳在氫化反應(yīng)器內(nèi)劇烈反應(yīng)，溫度急劇升高，可能會(huì)對(duì)設(shè)備造成一定損傷。 三氯氫硅還原 三氯氫硅還原系統(tǒng)開(kāi)車(chē) 三氯氫硅還原系統(tǒng)包括：揮發(fā)器（三 氯氫硅單獨(dú)蒸發(fā)然后與氫氣按比例形成混合氣體、或三氯氫硅與氫氣一同揮發(fā)按比例形成混合氣體），還原爐（裝置硅芯并用于沉積多晶硅的密閉反應(yīng)盅罩），輸送混合氣體（出入還原爐的 16 反應(yīng)氣體）的工藝管路，加熱及冷卻用工藝管路，置換用工藝管路，以及配套機(jī)電儀系統(tǒng)。 開(kāi)車(chē)前要確保所有相關(guān)設(shè)備、閥門(mén)、管道均已打壓檢漏吹掃合格；氮?dú)庵脫Q合格（檢驗(yàn)以氮中氧 5000ppm 視為合格）；氫氣置換合格（檢驗(yàn)以氫中氮 1000ppm，氫中氧 10ppm 視為合格），氫氣置換合格后系統(tǒng)具備開(kāi)爐條件。 還原爐裝置區(qū)間、混合氣體工藝管路室內(nèi)輸送區(qū)間的屋頂必須裝置可燃性氣體實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)裝置，經(jīng)校驗(yàn)?zāi)鼙O(jiān)測(cè)出低濃度氫氣（如氫氣爆炸下限的 1/10以下）等可燃性氣體。 應(yīng)按照工藝技術(shù)操作規(guī)程的要求逐步開(kāi)車(chē)，硅芯高壓擊穿時(shí)人員禁止觸摸還原爐及與其相連的任 何管路設(shè)施；啟爐成功后注意進(jìn)料流量，升溫升壓速度的平穩(wěn)控制，防止因?yàn)樯龎哼^(guò)快出現(xiàn)泄漏事故。 三氯氫硅還原系統(tǒng)運(yùn)行控制 運(yùn)行應(yīng)按照三氯氫硅還原系統(tǒng)的工藝規(guī)程（或作業(yè)指導(dǎo)書(shū)）要求進(jìn)行操作。 建立巡檢監(jiān)測(cè)制度：及時(shí)巡檢爐內(nèi)情況，并監(jiān)測(cè)爐內(nèi)壓力，進(jìn)出氣溫度壓力變化；注意三氯氫硅還原系統(tǒng)冷卻介質(zhì)（高溫水、導(dǎo)熱油等）的溫度、壓力變化情況是否正常；適時(shí)檢查還原爐連接電纜、接頭等運(yùn)行狀況，防止過(guò)熱燒紅現(xiàn)象發(fā)生。 運(yùn)行過(guò)程中，現(xiàn)場(chǎng)巡檢人員應(yīng)攜帶可燃性氣體報(bào)警儀、防毒面具、防爆對(duì)講機(jī)，一旦檢測(cè)到有跑、冒、滴、漏狀況，在采取自我防護(hù)措施的前提下，及時(shí)與中控室取得聯(lián)系，并服從指揮，按照車(chē)間制定的“安全預(yù)案”進(jìn)行 處理。 定時(shí)（一般每小時(shí)）進(jìn)行巡檢記錄、工藝運(yùn)行參數(shù)記錄，并比照前后運(yùn)行參數(shù)，防止系統(tǒng)出現(xiàn)異常。 還原爐停爐：停爐時(shí)應(yīng)緩慢降電流，同時(shí)減小進(jìn)入爐內(nèi)的混合氣體流量，防止電流過(guò)快降低造成硅棒倒伏，損傷還原爐；?；旌蠚夂?， 應(yīng)先通氫氣進(jìn)行置換，硅棒斷電后，應(yīng)待還原爐出氣溫度降低至 100℃以下再通入氮?dú)膺M(jìn)行置換，氮?dú)庵脫Q應(yīng)以氮中氫小于氫氣爆炸下限 1/10 以下視為合格。 5. 汽車(chē)運(yùn)輸、裝卸危險(xiǎn)貨物作業(yè)應(yīng)符合 JT 6172020（汽車(chē)運(yùn)輸危險(xiǎn)貨物規(guī)則）、 JT 6182020（汽車(chē)運(yùn)輸、裝卸危險(xiǎn)貨物作業(yè)規(guī)程）規(guī)定。 5. 本標(biāo)準(zhǔn)未作明確規(guī)定的其它運(yùn)輸工具，應(yīng)執(zhí)行國(guó)家相關(guān)規(guī)定。 車(chē)輛進(jìn)入裝卸位置后，應(yīng)先接好防靜電導(dǎo)線，隔離裝卸車(chē)區(qū)域，禁止其他車(chē)輛進(jìn)入裝卸車(chē)區(qū)域。同時(shí)要觀察儲(chǔ)罐液位，物料流量等一系列參數(shù)變化，同時(shí)通過(guò)槽車(chē)液位監(jiān)控確保槽車(chē)或儲(chǔ)罐不充裝過(guò)滿 雷雨天不得進(jìn)行氯硅烷裝卸車(chē)作業(yè)，當(dāng)物料裝卸區(qū)有動(dòng)火作業(yè)時(shí)應(yīng)停止裝卸作業(yè)。 電解水制氫 氫氣站的生產(chǎn)應(yīng)嚴(yán)格遵守《氫 氣使用安全技術(shù)規(guī)程》（ GB49622020）的規(guī)定。在用氮?dú)獯祾吆细窈?，方可送電試?chē)。 電解槽在試車(chē)過(guò)程中，應(yīng)定時(shí)測(cè)量極間電壓，檢查各電解小室的極間電壓是否有異，從而及早判斷各小室的進(jìn)液、出氣是否暢通。 電解槽以及純化系統(tǒng)的氣體閥門(mén)倒換，應(yīng)掌握先開(kāi)后關(guān)的原則，或采用連鎖同步，嚴(yán)防因倒錯(cuò)閥門(mén)而造成混氣，斷氣事故。 電解液的濃度必須嚴(yán)格控制。 電解槽在運(yùn)行中應(yīng)嚴(yán)格控制氫、氧系統(tǒng)壓力，防止因壓力差過(guò)大（ ～ ）而造成氫氣和氧氣混合。嚴(yán)禁用雙手觸及五塊以上極板。 由于化纖織物能產(chǎn)生高達(dá)幾萬(wàn)伏的靜電，其能量足以點(diǎn)燃、引爆氫氣。 氫、氧生產(chǎn)系統(tǒng)在檢修前，必須用氮?dú)猓▔毫Α?，純度≥98%）進(jìn)行吹掃置換，嚴(yán)禁留有死角。 接觸過(guò)氫氣的吸附劑、保溫層 ，都可能大量地吸附氫氣，動(dòng)火前也必須認(rèn)真吹掃檢查，避免發(fā)生燃爆事故。系統(tǒng)內(nèi)部和動(dòng)火區(qū)域內(nèi)的含氫量必須≤ %。電氣設(shè)備嚴(yán)禁用水或泡沫滅火劑滅火。如發(fā)生堿燒傷，應(yīng)先用 2~3%的硼酸溶液中和，再用水沖洗，或直接用大量的水沖洗。 氧氣系統(tǒng)內(nèi)部必須保持潔凈，高壓氧氣閥的墊片，必須采用聚四氟、聚四氟加石墨或聚砜等材料，嚴(yán)禁使用尼龍、橡膠材料。對(duì)不常用的切斷裝置必須定期檢查其有效性。排空的高濃度氧氣應(yīng)導(dǎo)放到安全區(qū)。 氫氣站操作人員，必須經(jīng)過(guò)嚴(yán)格培訓(xùn)，經(jīng)考核合格后方可上崗操作。 嚴(yán)格控制向不同的工藝系統(tǒng)提供的高溫水或高溫導(dǎo)熱油的溫度，壓力，更改參數(shù)必須經(jīng)過(guò)技術(shù)負(fù)責(zé)人批準(zhǔn)，不得私自更改，更改參數(shù)時(shí)應(yīng)有相應(yīng)的安全 保障。未經(jīng)檢驗(yàn)或不合格的，不能投入生產(chǎn)使用。 蒸汽加熱通入加熱設(shè)備時(shí)要嚴(yán)格按照操作規(guī)程升溫、升壓，以防損壞設(shè)備。 各安全附件要嚴(yán)格按要求定期校驗(yàn)。 嚴(yán)格控制向不同的工藝系統(tǒng)提供的循環(huán)冷卻水的溫度、壓力；更改參數(shù)需經(jīng)過(guò)技術(shù)負(fù)責(zé)人批準(zhǔn)，不得私自更改，更改參數(shù)時(shí)應(yīng)有相應(yīng)的安全保障。 各種泵類(lèi)等生產(chǎn)設(shè)備的操作應(yīng)按照安全操作規(guī)程進(jìn)行，保證備用設(shè)備的完好；設(shè)備故障時(shí)應(yīng)切換備用設(shè)備，并立即進(jìn)行維修。 工業(yè)廢水排放管理規(guī)定 工業(yè)廢水排放管理的具體要求： 遵守《中華人民共和國(guó)水污染防治法》的規(guī)定，公司污酸、酸性污水處理后外排水質(zhì)須達(dá)到 GB8978— 1996《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》表四一級(jí)排放標(biāo)準(zhǔn)，即： PH 6— 9 COD 100mg/l SS 70mg/l 石油類(lèi) 5mg/l 氟化物 10mg/l BODCr 20mg/l NH3— N 15mg/l 嚴(yán)防在生產(chǎn)過(guò)程中超標(biāo)準(zhǔn)排放酸性廢水，危害人體健康和污染周?chē)h(huán)境。同時(shí)對(duì)水質(zhì)、水量進(jìn)行監(jiān)測(cè)并做好監(jiān)測(cè)記錄，未經(jīng)處理或處理未達(dá)標(biāo)的廢水嚴(yán)禁排入下水道。 生產(chǎn)作業(yè)場(chǎng)所的排水應(yīng)實(shí)行清污分流，含有可燃液體及有害物質(zhì)的污水不得直接排入下水道，應(yīng)排入污水處理裝置，經(jīng)處理后 ，符合當(dāng)?shù)丨h(huán)保部門(mén)排放標(biāo)準(zhǔn)后，再排入指定位置。 各 10kV 配電站均為雙回路供電，母聯(lián)具有備自投功能。其設(shè)計(jì)容量應(yīng)滿足單電源帶全部負(fù)荷運(yùn)行。在發(fā)生 110kV 電源全部停電情況時(shí)，柴油機(jī)組能夠快速自啟，并帶載運(yùn)行；機(jī)組容量必須滿足消防水泵、導(dǎo)熱油泵、UPS 電源、空壓機(jī)等保安負(fù)荷的功率需求。 低壓 UPS 電源均為雙回路供電，一路電源失壓時(shí)可以自動(dòng)進(jìn)行電源切換。 為避免 10kV 母線在接地時(shí)出現(xiàn)諧振情況，在 10kV 各母線段加裝消除諧振裝置 ，保障供配電系統(tǒng)安全運(yùn)行。包裝場(chǎng)地環(huán)境應(yīng)在萬(wàn) 級(jí)潔凈間內(nèi)進(jìn)行。 包裝標(biāo)志 多晶硅產(chǎn)品的包裝標(biāo)示按照 GB/T 250742020（太陽(yáng)能級(jí)多晶硅）。 應(yīng)有滿足質(zhì)量檢測(cè)的場(chǎng)所設(shè)施和儀器，其檢驗(yàn)場(chǎng)所應(yīng)有符合安全使用的化學(xué)分析室、恒溫恒濕室、高溫室、精密儀器室（天平室）等。 除液氯、氯硅烷外， 列入 GB 122682020（危險(xiǎn)貨物 品名表）的危險(xiǎn)化學(xué)品應(yīng)儲(chǔ)存在專用的倉(cāng)庫(kù)中。劇毒品儲(chǔ)存應(yīng)執(zhí)行雙人收發(fā)、雙人記賬、雙人雙鎖、雙人運(yùn)輸、雙人使用的“五雙”制度，并應(yīng)裝設(shè)視頻安防監(jiān)控系統(tǒng)。 企業(yè)應(yīng)結(jié)合實(shí)際，根據(jù)國(guó)家法律、法規(guī)制定并執(zhí)行安全生產(chǎn)規(guī)章制度，實(shí)行標(biāo)準(zhǔn)化管理。 企業(yè)要設(shè)置安全生產(chǎn)管理機(jī)構(gòu)或配備專職安全生產(chǎn)管理人員。專職安全生產(chǎn)管理人員應(yīng)不少于企業(yè)員工總數(shù)的 2%（不足 50 人的企業(yè)至少配備 1 人），要具備化工或安全管理相關(guān)專業(yè)中專以上學(xué)歷，有從事化工生產(chǎn)相關(guān)工作 2 年以上經(jīng)歷，取得安全管理人員資格證書(shū)。 企業(yè)必 須對(duì)新錄用的員工進(jìn)行強(qiáng)制性安全培訓(xùn)教育，經(jīng)過(guò)廠、車(chē)間、班組三級(jí)安全培訓(xùn)教育，保證其了解危險(xiǎn)化學(xué)品安全生產(chǎn)相關(guān)的法律法規(guī)，熟悉從業(yè)人員安全生產(chǎn)的權(quán)利和義務(wù)；掌握安全生產(chǎn)基本常識(shí)及操作規(guī)程；具備對(duì)工作環(huán)境的危險(xiǎn)因素進(jìn)行分析的能力；掌握應(yīng)急處置、個(gè)人防險(xiǎn)、避災(zāi)、自救方法；熟悉勞動(dòng)防護(hù)用品的使用和維護(hù)，經(jīng)考核合格后方可上崗作業(yè)。 特種作業(yè)人員必須參加由具有特種作業(yè)人員培訓(xùn)資質(zhì)的機(jī)構(gòu)舉辦的培訓(xùn)，掌握與其所 從事的特種作業(yè)相應(yīng)的安全技術(shù)理論知識(shí)和實(shí)際操作技能，經(jīng)相關(guān)部門(mén)考核合格，取得特種作業(yè)操作證后，方可持證上崗。 接觸氯化氫、粉塵、噪聲等崗位員工的職業(yè)禁忌癥應(yīng)符合《職業(yè)健康監(jiān)護(hù)管理辦法》（衛(wèi)生部令第 23 號(hào)）的有關(guān)要求。 采用新工藝、新技術(shù)、新材料或者使用新 設(shè)備，應(yīng)了解、掌握其安全技術(shù)特性，采取有效的安全防護(hù)措施，并應(yīng)對(duì)從業(yè)人員進(jìn)行專門(mén)的安全生產(chǎn)教育和培訓(xùn)。設(shè)備檢維修作業(yè)嚴(yán)格執(zhí)行《化學(xué)品生產(chǎn)單位設(shè)備檢修作業(yè)安全規(guī)范》（ AQ30262020）的有關(guān)規(guī)定。 企業(yè)在進(jìn)行檢維修作業(yè)時(shí)，應(yīng)執(zhí)行下列程序： 1）檢維修前： ⑴進(jìn)行危險(xiǎn)、有害因素識(shí)別； ⑵編制檢維修方案； ⑶辦理工藝、設(shè)備設(shè)施交付檢維修手續(xù)； ⑷對(duì)檢維修人員進(jìn)行安全培訓(xùn)教育； ⑸檢維修前對(duì)安全控制措施進(jìn)行確認(rèn)； ⑹為檢維修作業(yè)人員配備適當(dāng)?shù)膭趧?dòng)保護(hù)用品； ⑺辦理各種作業(yè)許可證； 2）對(duì)檢維修現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行安全檢查； 3）檢維修后辦理檢維修交付生產(chǎn)手續(xù)。 生產(chǎn)區(qū)域內(nèi)動(dòng)火作業(yè)應(yīng)嚴(yán)格按照《化學(xué)品生產(chǎn)單位動(dòng)火作業(yè)安全規(guī)范》AQ30222020 執(zhí)行，對(duì)于可能有氯硅烷物料殘存的動(dòng)火作業(yè)必須制定嚴(yán)格的置換方案，置換至無(wú)料味、檢測(cè)分析符合動(dòng)火要求的方可進(jìn)行相應(yīng)作業(yè)。 生產(chǎn)區(qū)域內(nèi)斷路作業(yè)應(yīng)嚴(yán)格按照《化學(xué)品生產(chǎn)單位斷路作業(yè)安全規(guī)范》AQ30242020 執(zhí)行。 生產(chǎn)區(qū)域內(nèi)盲板抽堵作業(yè)應(yīng)嚴(yán)格按照《化學(xué)品生產(chǎn)單位盲板抽堵作業(yè)安全規(guī)范》 AQ30272020 執(zhí)行。 附錄 A 多晶硅生產(chǎn)企業(yè) 火災(zāi)危險(xiǎn)性分類(lèi)和火災(zāi)危險(xiǎn)舉例 和火災(zāi)危險(xiǎn)舉例 （規(guī)范性附錄） 火災(zāi)危險(xiǎn)性分類(lèi)及防爆等級(jí) 多晶硅生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性按照 GB501602020（石油化工企業(yè)設(shè)計(jì)防火規(guī)范（ 1999 版））第 3 章第 條規(guī)定。 粉塵環(huán)境危險(xiǎn)區(qū)域按照 GB 500581992 第 3 章第 2 節(jié)的規(guī)定劃分。 （見(jiàn) A 表 2） A 表 2 多晶硅生產(chǎn)企業(yè)火災(zāi)危險(xiǎn)性分類(lèi)舉例 類(lèi)別 名稱 生產(chǎn)場(chǎng)所 火災(zāi)危險(xiǎn)類(lèi)別 爆炸或火災(zāi)環(huán)境 氯硅烷 三氯氫硅 二氯二氫硅 氫氣 熱導(dǎo)油 超細(xì)硅粉 硝酸 壓縮氧氣 注 ：多晶硅最終產(chǎn)品本身不屬于易燃液體危險(xiǎn)化學(xué)品，但生產(chǎn)時(shí)所使用的主要原料屬危險(xiǎn)化學(xué)品，因此確定為