【文章內(nèi)容簡介】 檢查和維修的扶梯、平臺、圍欄和系掛裝置等附屬設(shè)施。 扶梯、平臺和欄桿的設(shè)置應符合 GB 固定式鋼梯及平臺安全要求（第 1 部分：鋼直梯）、 GB 固定式鋼梯及平臺安全要求（第 2 部分：鋼斜梯）、 GB 固定式鋼梯及平臺安全要求（第 3部分：工業(yè)防護欄桿及鋼平臺） 的要求。 存在易燃易爆場所的建構(gòu)筑物，其設(shè)計應符合防火等級要求，所配置的鋼質(zhì)扶梯、平臺等應覆蓋耐火層。涂有耐火層的構(gòu)件 ，其耐火極限時間不應低于 。當耐火層選用防火涂料時，應采用有利于防烴類火災的防火涂料。 工業(yè)管道安全 工業(yè)金屬管道的材料、組成件的選用、布置應符合 GB 503162020《工業(yè)金屬管道設(shè)計規(guī)范》的要求。管道布置應滿足便于生產(chǎn)操作、安裝和維修的要求，采用架空敷設(shè)，規(guī)劃有序、布局整齊。輸送易燃易爆流體的管道不應布置在室內(nèi)的吊頂內(nèi)及建構(gòu)筑物封閉的夾層內(nèi)。 工業(yè)管道應涂識別色（水管道識別色為艷綠色、水蒸氣管道識別色為大紅色、可燃液體管道識別色為棕色），工業(yè)管道 的識別色、識別符號、安全標識應符合 GB 72312020《工業(yè)管道的基本識別色、識別符號和安全標識》要求。 相關(guān)安全裝置 凡工藝上有放空的設(shè)備均應設(shè)放空裝置，并定期檢查其有效性。用于易燃、易爆氣體放空的安全閥及放空管，應將其導出管置于室外離地面 以上，不應將導出管置于下水道等限制性空間，以免引起爆炸。放空管應選用金屬材料，不應使用塑料管或橡皮管。其中釋放壓力大于等于 的放空管線 10 應采用不銹鋼材料。放空管上應設(shè)有阻火器，應靜電接地。管口上應有擋雨、阻雪的傘蓋。 易燃易爆液體嚴禁使用玻璃管液位計，推薦使用磁翻板液位計。 四氯化硅氫化反應器和導熱油電加熱器溫度控制裝置應有冗余設(shè)計，宜使用兩套控制儀器，并定期校驗。氫化反應器及系統(tǒng)中的安全附件、安全保護裝置、測量調(diào)控裝置及有關(guān)附屬儀器應完整、齊全、有效。建議： 溫度檢測元件和流量開關(guān)共同作用，確保溫度檢測示值真實性。 中高壓力電解槽、四氯化硅氫化反應器（含氫氣加熱器、硅粉干燥器）、多晶硅還原爐、液氯鋼瓶、氫氣和氯硅烷儲罐、提純系統(tǒng)換熱器等壓力容器屬特種設(shè)備，其安全附件、安 全保護裝置、測量調(diào)控裝置及有關(guān)附屬儀器應定期校驗、檢修、記錄。 安全標志 多晶硅企業(yè)生產(chǎn)作業(yè)場所應按 GB 28941996（安全標志 ）的規(guī)定設(shè)置安全標志，或在建（構(gòu)）筑物及設(shè)備上按 GB 28932020《安全色》規(guī)定涂安全色。 生產(chǎn)作業(yè)場所的緊急通道和出入口，應設(shè)置明顯醒目的標志。生產(chǎn)作業(yè)區(qū)入口及其他禁止明火和產(chǎn)生火花的場所應有禁止煙火的安全標志。 職業(yè)危害控制 生產(chǎn)過程應嚴格控制粉塵、毒物的產(chǎn)生。存在嚴重職業(yè)危害的作業(yè)崗位應按 GBZ 1582020（工作場所職業(yè)病危害警示標識）的規(guī)定設(shè)置醒目的警示標識和中文警示標志。 有毒作業(yè)應采用無毒或低毒原料代替高毒原料。限制使用氫氟酸、硝酸。 防塵防毒 根據(jù)生產(chǎn)工藝和粉塵、毒物特性，采取防塵、防毒通風措施控制其擴散，使作業(yè)場所有害物質(zhì)及粉塵的濃度符合 GBZ 22020（工作場所有害因素職業(yè)接觸限值）規(guī)定。多晶硅生產(chǎn)場所空氣中主要有毒物質(zhì)及粉塵容許濃度見附件 B。 產(chǎn)生粉塵、可燃性氣體煙霧的作業(yè)場所，應設(shè)排毒或除塵凈 化的通風設(shè)施。通風設(shè)施應有防爆措施，風機與電機應要求防爆隔爆等級。通風空氣不應循環(huán)使用。 對于毒性危害嚴重的生產(chǎn)過程和設(shè)備，應設(shè)計可靠的事故處理裝置及應急防護措施。在有毒性危害的作業(yè)環(huán)境中，應設(shè)置必要的洗眼器、淋洗器等衛(wèi)生防護設(shè)施，其服務半徑應小于 15m。并根據(jù)作業(yè)特點和防護要求，確定配置事故柜、急救箱或個人防護用品。 塵毒危害嚴重的廠房和倉庫等建（構(gòu)）筑物的墻壁、頂棚和地面均應光滑，便于清掃，必要時設(shè)計防火、防腐等特殊保護層及專門清掃設(shè)施，以便清洗。 防噪聲 應從聲源上控制生產(chǎn)過程和設(shè)備噪聲，以低噪聲的工藝和設(shè)備代替高噪聲的工藝和設(shè)備。 生產(chǎn)過程和設(shè)備的噪聲應采取隔聲、消聲、隔振及管理等綜合措施，使操作人員每天連續(xù) 8h 接觸的噪聲不大于 85dB（ A）。作業(yè)場所噪聲聲級的衛(wèi)生限值，應符合國家標準 GBZ 12020（工業(yè)企業(yè)設(shè)計衛(wèi)生標準）要求。 11 防高溫防寒 當室內(nèi)作業(yè)地點氣溫等于或大于 37℃時應采取局部降溫和防暑措施，并應減少接觸時間。在炎熱季節(jié)對高溫作業(yè)的工人應供應含鹽清 涼飲料（含鹽量為 %～ %）。 當室內(nèi)作業(yè)地點溫度近十年最冷月平均溫度等于或小于 8℃的月份連續(xù)三個月以上的，應設(shè)置采暖設(shè)施，設(shè)置采暖設(shè)施應符合 GB500162020（建筑設(shè)計防火規(guī)范）第 節(jié)的要求。甲、乙類廠房和甲、乙類倉庫內(nèi)不應采用明火和電熱散熱器采暖。下列廠房應采用不循環(huán)使用的熱風采暖： a ) 生產(chǎn)過程中散發(fā)的可燃氣體、可燃蒸氣、可燃粉塵、可燃纖維與采暖管道、散熱器表面接觸能引起燃燒的廠房； b ) 生產(chǎn)過程中散發(fā)的粉塵受到水、水蒸汽的作用能引起自燃、爆炸，以及容 易積聚爆炸性氣體的廠房。 防護用品管理 對作業(yè)人員應采取個人防護措施，配備專用的勞動防護用品。易燃易爆場所作業(yè)人員應配用棉布工作服、防靜電鞋、防毒口罩、工作手套等。不同崗位作業(yè)人員配用勞動防護用品及勞動防護用品質(zhì)量性能應符合 GB/T 116511989（勞動防護用品選用規(guī)則）的要求。 作業(yè)場所應正確穿戴勞動防護用品，工作結(jié)束后應更換工作服，清洗后方可離開作業(yè)場所。不應在生產(chǎn)作業(yè)場所飲食。 生產(chǎn)作業(yè)場所應配備呼吸防護器以及其他應急防 護用品。呼吸防護器配備應符合 GB/T 186642020（呼吸防護用品的選擇、使用與維護）的要求。 過程自動控制設(shè)計安全要求 系統(tǒng) DCS 的操作站、控制器、通訊總線、 I/O 卡件等應按 1： 1 冗余配置。 提純塔、三氯氫硅氣化裝置、還原尾氣壓縮機、氫化反應器等重要設(shè)備應根據(jù)其內(nèi)部物料的火災危險性和操作條件設(shè)置相應的儀表報警訊號，自動聯(lián)鎖保護系統(tǒng)或緊急停車系統(tǒng)。 多晶硅生產(chǎn)裝置中，采用 DCS、 PLC 等執(zhí)行監(jiān)控的生產(chǎn)裝置儀表電源應采用不間斷電源，其后備電池供電時 間： 15min30min 氫氣壓縮機房、還原爐室、氯硅烷儲罐區(qū)等的 2 區(qū)內(nèi)及附加 2 區(qū)內(nèi)，應設(shè)置可燃氣體檢測報警儀。氯硅烷罐區(qū)的區(qū)域內(nèi)，應設(shè)置有毒氣體檢測報警儀。 易燃易爆裝置內(nèi)的保護管與儀表、檢測元件、電氣設(shè)備、接線箱、拉線盒連接時，或進入儀表盤、柜、箱時，應安裝防爆密封管件，并做好充填密封，密封管件與儀表箱、接線箱、拉線盒之間的距離不應超過 。密封管件與儀表、檢測元件、電氣設(shè)備之間可采用撓性管連接。 5 多晶硅生產(chǎn)作業(yè)安全 工藝控制及一般規(guī)定 企業(yè)應按照不同的多晶硅生產(chǎn)具體工藝及特點，制定工藝技術(shù)規(guī)程和安全操作規(guī)程（或作業(yè)指導書）。多晶硅生產(chǎn)應按照工藝技術(shù)規(guī)程、安全操作規(guī)程（或作業(yè)指導書）執(zhí)行。 多晶硅生產(chǎn)的工藝技術(shù)指標和中間控制指標應仔細核對、嚴格控制，重要的控制指標應設(shè)管理控制點。更改指標應有相應的安全保障，并經(jīng)技術(shù)負責人批準。 用于多晶硅生產(chǎn)原輔材料的成份應經(jīng)化驗，外購三氯氫硅純度應＞ 12 98％， BP 雜質(zhì)含量小于 ，并確認符合要求。未經(jīng)檢驗或不合格的原材料，不應投入生產(chǎn)使用。 . 生產(chǎn)車間應根據(jù)生產(chǎn)需要規(guī)定原材料的存放時間、地點和最高允許存放量。車間生產(chǎn)所領(lǐng)取的原材料數(shù)量不應超過當班用量，剩余的要及時退回倉庫。相禁忌的原材料不應放在同一區(qū)域，應劃定區(qū)域分類隔開或分離貯存。作業(yè)區(qū)的生產(chǎn)物料、產(chǎn)品、半產(chǎn)品的堆放，應用黃色和白色標記在地面上標出存放地點，堆放整齊，保證通道暢通。 加熱設(shè)備、提純設(shè)備、還原設(shè)備、氫化反應設(shè)備、 HCL 與 TCS 合成設(shè)備、制氫設(shè)備、干法回收設(shè)備、輔助設(shè)備（過濾機、離心機、各類泵、空氣壓縮機、通風機、電動葫蘆）等生產(chǎn)設(shè)備的操作應按照安全操作規(guī)程進行。 一般情況下，系統(tǒng)開停車基本要求 系統(tǒng)開車前 應先 檢查并確認水 ,電 ,汽 (氣 )必須符合開車要求 ,各種原料 ,材料 ,輔助材料的供應必須齊備 ,合格 .投料前必須進行分析驗證 .。 檢查閥門開閉狀態(tài)及盲板抽加情況 ,保證裝置流程暢通 ,各種機電設(shè)備及電氣儀表等均應處在完好狀態(tài) 。 保溫 ,保壓及洗凈的設(shè)備要符合開車要求 ,必要時應重新置換 ,清洗 和分析 ,使之合格 . 必要時停止一切檢修作業(yè) ,無關(guān)人員不準進入現(xiàn)場 . 各種條件具備后開車 ,開車過程中要加強 有關(guān)崗位之間的聯(lián)絡(luò) ,嚴格按開車方案中的步驟進行 ,嚴格遵守升降溫 ,升降壓和加減負荷的幅度 (速率 )要求 . 開車過程中要嚴密注意工藝的變化和設(shè)備運行的情況 ,加強與有關(guān)崗位和部門的聯(lián)系 ,發(fā)現(xiàn)異?，F(xiàn)象應及時處理 ,情況緊急時應中止開車 ,嚴禁強行開車 . 必須編制停車方案 ,正常停車必須按停車方案中的步驟進行 .用于緊急處理的自動停車聯(lián)鎖裝置 ,不應用于正常停車 ,加強與有關(guān)崗位和部門的聯(lián)系 . 系統(tǒng)降壓 ,降溫必須按要求的幅度 (速率 )并按先高壓后低壓的順序進行 .凡需保壓 ,保溫的設(shè)備容器 )等 ,停車后要按時記錄壓力 ,溫度的變化 . 大型傳動設(shè)備的停車 ,必須先停主機 ,后停輔機 . 設(shè)備 (容器 )卸壓時 ,要注意易燃 ,易爆 ,易中毒等化學危險物品的排放和散發(fā) ,防止造成事故 . 冬季停車后 ,要采取防凍保溫措施 ,注意低位 ,死角及水 ,蒸汽 ,管線 ,閥門 ,疏水器和保溫伴管的情況 ,防止凍壞 . 緊急處理 發(fā)現(xiàn)或發(fā)生緊急情況 ,必須先盡最大努力作出妥善處理 ,同時向有關(guān)方面報告 ,必要時 ,先處理后報告 . 工藝及機電設(shè)備等發(fā)生異常情況時 ,應 迅速采取措施 ,并通知有關(guān)崗位協(xié)調(diào)處理 ,必要時 ,按步驟緊急停車 . 發(fā)生停電 ,停水 ,停氣 (汽 )時 ,必須采取措施 ,防止系統(tǒng)超溫 ,超壓 ,跑料及機電設(shè)備的損壞 . 發(fā)生爆炸 ,著火 ,大量泄漏等事故時 ,應首先切斷氣 (物料 )源 ,同時盡速通知相關(guān)崗位并向上級報告 . 生產(chǎn)作業(yè)區(qū)應禁止吸煙；易燃易爆場所作業(yè)人員不應穿著能產(chǎn)生靜 13 電火花的化纖織物工作服和帶裸露鐵釘?shù)男徊粦褂描F質(zhì)工具及撞擊會產(chǎn)生火花的其它工具；不應使用打火機、手機、相機等發(fā)火和電子設(shè)備。 應及時清理廢物、油跡、 漆垢等，保持作業(yè)崗位環(huán)境的整潔衛(wèi)生。 三氯氫硅提純 提純塔開車 應按照所開提純塔的工藝操作規(guī)程（或作業(yè)指導書）的要求操作。 提純塔進料前要確保所有相關(guān)設(shè)備、閥門、管道均已打壓檢漏吹掃合格 （檢漏合格要求：將相關(guān)設(shè)備、管道、閥門升壓至設(shè)計壓力，用肥皂水檢測，無泄漏；吹掃合格要求：使用白布在泄壓口檢測，無油、無水、無銹） ，各種儀表監(jiān)控裝置經(jīng)校驗合格并正常投用。 該提純塔以及相關(guān)所有設(shè)備管道用高純氮氣置換合格 （經(jīng)檢測后氮中氧小于 5000PPm，露點小于 45℃） 應按照工藝技術(shù)操作規(guī)程的要求逐步開車，注意進料流量， 升溫升壓速度， 防止因為升壓過快引起塔失去控制，發(fā)生事故。在開塔過程中注意，冷熱源的投入必須遵循“先冷后熱”的原則，先通冷卻介質(zhì)，再通加熱介質(zhì)，在通入熱源之間要先進料，要避免加熱設(shè)備“干燒”的狀況。 提純塔運行控制 提純塔運行中要嚴格按照工藝操作參數(shù)控制，不應超過所有參數(shù)的控制范圍。提純塔 系 運行期間，操作者要對其進行精心的調(diào)整，在保證物料進出平衡的前提下， 觀察塔系各參數(shù)運行是否正常，并及時觀察各參數(shù)的變化趨勢，按照各塔的操作要求進行少量多次的微調(diào)，以保證塔系正常穩(wěn)定的運行。 提純塔運行過程中要定時對提純塔相關(guān)各種物料進行檢測（成分、雜質(zhì)等），確保各項產(chǎn)品指標符合要求。 提純塔運行中如果出現(xiàn)泄漏時應立即采取停塔處理措施，停止加熱，停止進出料，打開尾氣閥門泄壓，通入高純氮氣，防止因為泄漏出現(xiàn)著火爆炸等次生事故。如果條件允許，可使用帶壓堵漏工具對泄漏部位進行封堵，否則待壓力降低后將塔內(nèi)物料倒出，高純氮氣置換，合格 （無明顯氯硅烷 料味） 后再對泄漏部位進行處理。 提純塔相關(guān)換熱器泄漏：提純塔運行中要精心觀察各參數(shù)運行是否異常，同時應該對輔助系統(tǒng)各種介質(zhì)進行檢測，以確保在換熱器泄漏時能夠及時發(fā)現(xiàn)，如發(fā)現(xiàn)換熱器泄漏時應立即停塔進行處理。 提純塔停車 提純塔停車時應遵循“先熱后冷”的原則，當提純塔所有進出料停止，與其他系統(tǒng)斷開后，先停止熱源，為防止超溫超壓冷卻水繼續(xù)投入，待塔內(nèi)溫度降下來、塔壓維持穩(wěn)定可以關(guān)閉冷卻循環(huán)水，停塔過程中應隨時監(jiān)視塔內(nèi)壓力和溫度情況。 提純塔停塔后 依據(jù)實際情況進行后續(xù)處理，如需要檢修，則應把塔內(nèi)所有物料倒出，高純氮氣置換合格后進行處理；如停塔后物料沒有倒出，則要繼續(xù)監(jiān)視塔內(nèi)各個參數(shù)，保證塔內(nèi)各參數(shù)正常（確保塔內(nèi)有一定壓力 （表壓大于 20KPa） ，必要時可充高純氮氣補壓）。 還原尾氣干法回收 還原尾氣干法回收系統(tǒng)開車 應按照還原尾氣干法回收系統(tǒng)的工藝操作規(guī)程（或作業(yè)指導書）的要求操作。干法回收系統(tǒng)進料前要確保所有相關(guān)設(shè)備、閥門、管道均已打壓檢 14 漏吹掃合格，各種儀表監(jiān)控裝置經(jīng)校驗合格并正常投用。