光伏薄膜沉積ppt課件-閱讀頁
2025-05-21 03:48本頁面
【正文】 後一個小時，必 須在旁監(jiān)控以免蝕刻深度超過預定值。C and pressure of 200~400 mtorr ? Could produce thick film ( 2 mm), typically 100 197。C, RF)→ SixNyHz+ H2 ? Nearly stressfree but high etch rate in HF due to porosity structure ? 沈積速度約 5分鐘 ? LPCVD ? 3SiCl2H2 + 4NH3 → Si3N4 + 6HCl + 6H2, NH3 : SiCl2H2 = 10:1 ? 700~900176。C, 500 mtorr, NH3 : SiCl2H2 = 1:6 ? Nonstochiometric SixNy, Lower etch rate in HF 二氧化矽與氮化矽薄膜的顏色 ? 熱成長的二氧化矽（折射率 ）與氮化矽（折射率 ）的顏色表 [4] Silicon Carbide ? Polymorphic material: multicrystalline structures (cubic, hexagonal, and rhombehedral) ? Use APCVD or LPCVD ? Extremely hard and strong, doesn’t melt. ? Can be etched in KOH but 600176?？闪慨a(chǎn)主要的兩個製程為 矽基製程： 80%的產(chǎn)品以此技術(shù)為主 LIGA製程： 有高的縱橫比 ,可製造精度甚佳的 3D元件 ,很多金屬材料 ,可被使用可大量生產(chǎn)複雜的元件 . 積體光學 ? 使用於製造平面微小光學元件 ,如開關(guān) ,調(diào)光器等 .可以傳導光線或轉(zhuǎn)換光為電子訊號 ,多整合多元件於同一基材上 .主要運用於通訊及微感覺器上 . 玻璃基材： 如光導 ,藕合器 ,濾光格柵及頻譜量測器 .可利用離子交換或植入法讓導體在直徑方向的折射率有所變化而將光導入光纖 . 矽基 :是其基本材料 ,十分精密的微溝槽可用來做光導之修正 .氧化矽及氮氧化矽也可當光導層 . 氧化鈮鋰 :有良好的光電性質(zhì) ,能在其上製造出被動及主動光學元件 . 光纖 ? 光纖在耦合 ,導引及光導媒體 (多為玻璃 ) 光信號之解耦合方面很有用 .光纖感覺器使光學量度系統(tǒng)得以微小化 .很多物理及化學量 ,如速度 ,壓力或污染濃度可以轉(zhuǎn)換為光參數(shù) ,如波幅 ,相位移 ,頻譜分析 ,頻率或時間訊號而得以評估 .因能不受干擾的將訊號傳送很遠且高靈敏性 ,在控制工程上十分重要 . 流體技術(shù) ? 流體裝置可以簡單且安全的產(chǎn)生力量或移動 .流體輸送用途很廣且其體積小力量密度高 .如醫(yī)學上之微投劑系統(tǒng) ,吸管 .環(huán)保上之化學物分析 .元件主要元件如微閥門 ,微幫浦及流體開關(guān) . 系統(tǒng)技術(shù) ? 完整的系統(tǒng)是由感覺器 ,信號處理單元及致動器整合而成 ,以實現(xiàn)完整的功能 ,故需使用系統(tǒng)概念和架構(gòu)以及信號處理方法來整合系統(tǒng)元件 . 資訊科技 :電腦輔助軟體用於設(shè)計及製程之模擬是需要的 .測試及診斷也是必須的 . 際間連接技術(shù) :主要任務是製造機械的 ,電的及光學的連接物 ,以作為夾持 ,耦合及能源供應 .如光纖對準 ,不同膨脹係數(shù)之微機構(gòu)連接及廉價可靠的電連接器 .又如膠合 ,錫焊 ,焊接 ,黏線等 . 封裝 :把微系統(tǒng)用一個殼保護起來 ,使其敏感部分不受外界傷害及影響 ,並須留一介面與外界安全接觸 .陶瓷是很重要的封裝材料 ,由於有很高的尺寸安定性 ,氣密性及抗惡劣環(huán)境性 .其他如塑膠 ,矽 ,玻璃 . 材料暨效應 ? 因有各種不同功能性性質(zhì)的元件故需眾多的不同材料材料性質(zhì)對研發(fā)工作影響甚巨 MST共容性 (Compatibility):不貴可被微製造以及批量生產(chǎn)之材料 ,如金屬陶瓷高分子特殊玻璃及石英鑽石等 . 能量轉(zhuǎn)換效應 :機械的 ,電的 ,化學的及熱 ,磁等 . Piezoresistivity(壓阻 ) ? 壓阻 Piezoresistance: 材料電阻值會受材料應變所改變 ? 大部分材料都具有壓阻特性 ? 半導體材料如 Si與 Ge其壓阻係數(shù)比金屬大一個 order ? sl, st : Longitudinal （與電流方向平行） and transverse （與電流方向垂直） stress ponent ? pl, pt : Longitudinal and transverse piezoresistance coefficient ttllRR psps ???Piezoelectric Material ? 壓電 (Piezoelectric)現(xiàn)象是一種存在某些材料的機電轉(zhuǎn)換 ? 1880由居禮兩兄弟在石英發(fā)現(xiàn)的特性 ? 無外加電場：正電與負電荷的中心不重合產(chǎn)生淨電雙極，整個晶體因而產(chǎn)生淨極化 (polarization) ? 在材料的居禮溫度以上晶體會變成立方晶，因而失去壓電性 [5] Piezoelectric Material ? 主要的壓電材料： Quartz(SiO2 crystal), PZT, PVDF, ZnO, LiNbO3, BaTiO3 ? 正壓電效應：外加壓力產(chǎn)生電位差 ? 逆壓電效應：外加電場使壓電材料產(chǎn)生變形
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