傳感器原理ppt課件-閱讀頁
2025-05-21 00:50本頁面
【正文】 單元： 彈性薄膜、高反射率薄片。 基液：環(huán)氧樹脂膠液。 ： 微觀上， PZT顆粒是相互隔離 PZT填料組份大于閥值 VPZT 極化電場強(qiáng)度； 涂層厚度； 極化時間； 其它力 /壓力傳感器 23 一、 Z元件概述 Z元件發(fā)明于 80年代 ， 公開報道于 90年代 ， 專利費(fèi)高達(dá) 10億美元 。 不足： 體積很小，非常薄脆。 工作原理 ： N區(qū)被重?fù)诫s補(bǔ)償?shù)?特種 PN結(jié)。 其它力 /壓力傳感器 25 二、 Z元件的機(jī)理 力敏 Z元件及觸覺傳感器 材料： N型硅單晶、 Al擴(kuò)散形成 PN結(jié)、單面打磨、鍍 Ni電極。 o u tEZRPN敏感層Z元件的工作電路 其它力 /壓力傳感器 26 外力作用于 Z元件 P端時： 敏感層 電阻率變小 ，使線性區(qū)斜率增大，達(dá)到電流值 Im時其電壓值小于靜態(tài)下發(fā)生跳變時 Um，曲線 向左移 ，施加的力值越大，左移的距離越大。 目前有機(jī)械式、壓阻式、電容式、壓電式、磁電式和光電式。 當(dāng)力載荷作用于彈性體時，內(nèi)應(yīng)力改變力敏 Z元件的工作狀態(tài) (低阻態(tài)、高阻態(tài) )。 28 原理： 通過 平板結(jié)構(gòu)的變形 把力傳遞給 Z力敏元件，觸點(diǎn)上很大的力轉(zhuǎn)換成力敏元件上 很小的力 。 應(yīng)用： 機(jī)器人手 側(cè)頭彈性體Z 元件電路板底板 其它力 /壓力傳感器
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