納米硬質(zhì)薄膜ppt課件-閱讀頁(yè)
2025-05-18 03:30本頁(yè)面
【正文】 量存在較大差異時(shí)，超晶格涂層的硬度提高很大。 如圖所示 。 如圖所示 。 隨著 Si含量的升高 ， 其彈性模量和硬度變化大致相同 ， 在 Si含量在 8%左右時(shí)達(dá)到最大（ 約為 50Gpa） ， 然后逐漸下降 。 ②如圖所示，納米復(fù)合超硬材料具有良好的抗氧化性和熱化學(xué)穩(wěn)定性。 這 表明： Si3N4能有效阻止氧向內(nèi)擴(kuò)散，因此 Si3N4層越厚，抗氧化性越好。晶粒越小的薄膜，其穩(wěn)定性越好，硬度也越大。根據(jù) Hallpetch關(guān)系來(lái)描述這主要是因?yàn)樾〕叽缂{米晶阻礙了位錯(cuò)的發(fā)展，在邊界處沒(méi)有位錯(cuò)可以聚集。 發(fā)展方向 : ①要深入理解超硬膜的理論解釋。 ③ 晶粒尺寸在 1nm時(shí)的材料性能研究。 ⑤ 發(fā)展 一些具有高韌性和高抗裂性的硬質(zhì)
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