memes微光柵編碼器-閱讀頁
2025-05-16 22:25本頁面
【正文】 內(nèi)藏在載物臺中 , 那么也可以把載物臺作為確定位置使用 , 有利于載物臺的高功能化。下面就介紹光編碼器實現(xiàn)微型化的意義。將衛(wèi)星透鏡和多角形激光去一體化，支撐了 型編碼器，與以前的尺寸比為 1:100（照片1）。由于采用了可成批大量生活殘的光刻集成一體化技術(shù)，打破了以前小型輕零花的界限（ 50nm區(qū)間）。照片 2示出的是放大的衛(wèi)星編碼器。其他部分則則為測量電源用的底座部。 圖 2示出了微編碼器的原理圖。此時所產(chǎn)生的衍射光 , 具有光柵一移動其相位就發(fā)生變化的性質(zhì)。 返回 ? 投影型編碼器 ? 圖 3 為投影型微編碼器的概略圖。從傳感器后方的非相干光源發(fā)出的光照射在硅光柵上 ,光從穿透部分發(fā)出。 ? 接著 ,TMAH刻蝕使光柵穿透部分減薄到 40μm。 ? 最后反應(yīng)離子刻蝕形成垂直的透過型光柵 G1 。 這是分立開的步驟 下圖 所示為制作出的柵距 80μm 照片。測出光電探測器光電探測器的靈敏度約為 21 mA/
教學(xué)課件相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號-1