拉晶工藝及操作規(guī)程-閱讀頁(yè)
2025-01-25 10:55本頁(yè)面
【正文】 第一次放肩不成晶時(shí)，無(wú)渣回熔。關(guān)閉翻板閥后，打開快速充氣閥門 V1給副室充氣，到達(dá)常壓后打開副室小門，取出不成晶品。 d) 檢查籽晶，并穩(wěn)定好籽晶，合好小副室門，用副室泵，開始抽真空。 ? 當(dāng)真空接近氣壓表負(fù)值頂端時(shí)，關(guān)閉副室泵閥門，打開氬氣快速充氣閥門 V1，充氬氣到接近常壓，然后關(guān)閉氬氣閥門 V1，打開副室泵閥門抽空，按以上方法重復(fù)充氣 3次。 ? 降籽晶，重新穩(wěn)定溫度，準(zhǔn)備引晶。一般調(diào)節(jié)方法為： 直徑 145mm時(shí)，拉速 mm/min左右； 直徑 148mm時(shí)，拉速 2 mm/min左右； 直徑 151mm時(shí)，拉速 mm/min左右； 直徑 154mm時(shí)，拉速 mm/min左右； ? 轉(zhuǎn)肩過(guò)程中應(yīng)適時(shí)打開堝升，轉(zhuǎn)肩完成后， 及時(shí)將計(jì)長(zhǎng)清零并記錄。當(dāng)晶體在頭部設(shè)定拉速下能等徑生長(zhǎng)時(shí)，壓好光圈（ 1/3～ 2/3），手柄拉速調(diào)到 0后即可投入自動(dòng)等徑。驗(yàn)算的正確方法是：用同一時(shí)間段內(nèi)，堝位變化量和晶體長(zhǎng)度變化量之比來(lái)判斷。 等徑過(guò)程中掉苞的處理 (以拉制 ″單晶為例 ) ? A)處理原則： 當(dāng)單晶長(zhǎng)度大于一個(gè)直徑長(zhǎng)度的 左右（即 ″單晶大于 430mm左右）時(shí)，應(yīng)當(dāng)按單晶（無(wú)位錯(cuò)或有位錯(cuò)）進(jìn)行冷卻，然后取出。 b)如果原料較好，且化完料后液面較干凈，應(yīng)該全部回熔。步驟如下： a) 先將計(jì)算機(jī)退出自動(dòng)控制，然后將歐陸退出自動(dòng)，并將加熱功率略微升高（參考上段引晶功率和歐陸值適當(dāng)增加）。 c) 晶升速度起初設(shè)定為 ，逐步增加，四小時(shí)左右將晶體提升至副爐筒。最后充氣到正壓，才可以取出晶體。否則不能進(jìn)行倒氣。 2）晶體長(zhǎng)度能否升到副爐筒以內(nèi)。 ? b)向上提升晶體前，確認(rèn)堝升跟蹤已經(jīng)關(guān)閉。 ? d)確認(rèn)主室氬氣通上之后，才能蓋上翻板閥，如果主室被抽成真空，將會(huì)出現(xiàn)嚴(yán)重的跳料，損壞導(dǎo)流筒及熱場(chǎng)。 ? f)取出晶體并且檢查或更換好籽晶后，擦拭干凈各部位密封處，降下爐筒，關(guān)上小副室門，給副室抽上真空之后，不能直接打開翻板閥，必須趕氣三次后，才能打開。這五步操作之間的順序不能錯(cuò)，時(shí)間間隔盡量縮短。與第一段相比注意以下幾點(diǎn)： ? a)引晶、放大、轉(zhuǎn)肩過(guò)程基本一致，轉(zhuǎn)肩后等徑起始拉速應(yīng)根據(jù)第一段拉速設(shè)定。 ? c)檢查各種數(shù)據(jù)參數(shù)，如有疑問(wèn)時(shí)可請(qǐng)教相關(guān)技術(shù)人員， 并做好記錄。 ? b) 將歐陸退出自動(dòng)，晶轉(zhuǎn)設(shè)定為 5 r/min，堝轉(zhuǎn)設(shè)定為 2 r/min。 ? d) 觀察爐內(nèi)狀態(tài)，慢慢下降晶體進(jìn)行回熔。 ? e) 回熔完成后進(jìn)行常規(guī)作業(yè)， 并做好相關(guān)記錄。對(duì)于手動(dòng)收尾，收尾前將自動(dòng)等徑退出，堝升停止，但控溫部分的溫校速率可以保留；對(duì)于自動(dòng)收尾，到達(dá)設(shè)定長(zhǎng)度后自動(dòng)進(jìn)入收尾程序，需關(guān)閉堝跟，并在速度系統(tǒng)中將堝升速度清零、關(guān)閉堝升電源，計(jì)算機(jī)將按設(shè)定的收尾曲線自動(dòng)收尾。 ? 收尾過(guò)程中應(yīng)時(shí)刻注意爐內(nèi)情況，適當(dāng)調(diào)整拉速或者溫校參數(shù)。分步降低加熱功率到零，關(guān)閉加熱電源，停堝轉(zhuǎn)，慢慢降晶轉(zhuǎn)到零。 b)控溫單元退出自動(dòng)。 ? 停爐冷卻時(shí)間為 4至 5小時(shí)，冷卻期間不停泵和氬氣，以加快冷卻，或者停爐后兩小時(shí)停氬氣和泵，自然冷卻 6小時(shí)后拆爐。在拆爐前半小時(shí)要抽空到極限，進(jìn)行檢漏，將真空度及檢漏數(shù)據(jù)記錄下來(lái)。然后開始換油或清洗。 ? 舊系統(tǒng)煅燒頻率 每?jī)蓚€(gè)大清周期 (每隔 12爐 )進(jìn)行一次煅燒，在爐子間隔 4天以上沒(méi)有使用并且真空度已經(jīng)不好的時(shí)候進(jìn)行一次煅燒 .煅燒時(shí)間 :4~8h。過(guò)程要求嚴(yán)格控制慢升溫，具體煅燒程序如下 : 第一次煅燒 分兩次 (間隔 2分鐘以上 )加功率到 30KW左右 ,恒溫半小時(shí)(新系統(tǒng) 1小時(shí) ),檢查是否有火花以及漏電；如果電流表和電壓表同時(shí)搬動(dòng)就要降低氬氣流量直到現(xiàn)象消除； 分兩次 (間隔 2分鐘以上 ),加功率到 45KW左右 , 恒溫半小時(shí) (新系統(tǒng) 1小時(shí) )。 分兩次 (間隔 2分鐘以上 ),加功率到 75KW左右 ,恒溫 1小時(shí) 。 關(guān)氬氣 ,抽真空 ,觀察真空情況 ,繼續(xù)高溫煅燒到真空13Pa(新系統(tǒng) 16 Pa)以下，分多次降低功率到零 ,關(guān)閉加熱電源。 對(duì)于新熱場(chǎng)、爐子根據(jù)上次煅燒情況，進(jìn)行第二次或第三次煅燒。關(guān)氬氣后 ,繼續(xù)煅燒到高溫真空13 Pa以下時(shí)降溫。
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