多晶硅生產(chǎn)中節(jié)能降耗探討-在線瀏覽
2024-09-23 10:41本頁面
【正文】 指導(dǎo)實(shí)際生產(chǎn)具有重要意義。面對當(dāng)前世界性傳統(tǒng)能源日益枯竭和氣候變暖的嚴(yán)峻形勢，太陽能作為可再生潔凈能源受到了各國的高度重視，許多國家都已將太陽能發(fā)電的原材料高純多晶硅列為戰(zhàn)略性材料。本文主要圍繞改良西門子法生產(chǎn)多晶硅的還原工序，對還原爐供料和硅棒功率等 參數(shù)進(jìn)行研究，為還原爐運(yùn)行優(yōu)化提供參考依據(jù)。還原工序生產(chǎn)過程如下：一定摩爾比的氫氣和三氯氫硅混合氣在一定壓力下通入到還原爐內(nèi)，在直徑 8~15mm、長 ~ 的導(dǎo)電硅芯上進(jìn)行氣相沉積反應(yīng)生成多晶硅，硅棒表面溫度控制在 1050~1100℃ ，經(jīng)過一定時間后 第 2 頁 共 3 頁 長成規(guī)定直徑的硅棒，反應(yīng)同時生成四氯化硅、二氯二氫硅及氯化氫等副產(chǎn)物。
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