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多晶硅生產(chǎn)中節(jié)能降耗探討-在線瀏覽

2024-09-23 10:41本頁(yè)面
  

【正文】 指導(dǎo)實(shí)際生產(chǎn)具有重要意義。面對(duì)當(dāng)前世界性傳統(tǒng)能源日益枯竭和氣候變暖的嚴(yán)峻形勢(shì),太陽(yáng)能作為可再生潔凈能源受到了各國(guó)的高度重視,許多國(guó)家都已將太陽(yáng)能發(fā)電的原材料高純多晶硅列為戰(zhàn)略性材料。本文主要圍繞改良西門子法生產(chǎn)多晶硅的還原工序,對(duì)還原爐供料和硅棒功率等 參數(shù)進(jìn)行研究,為還原爐運(yùn)行優(yōu)化提供參考依據(jù)。還原工序生產(chǎn)過(guò)程如下:一定摩爾比的氫氣和三氯氫硅混合氣在一定壓力下通入到還原爐內(nèi),在直徑 8~15mm、長(zhǎng) ~ 的導(dǎo)電硅芯上進(jìn)行氣相沉積反應(yīng)生成多晶硅,硅棒表面溫度控制在 1050~1100℃ ,經(jīng)過(guò)一定時(shí)間后 第 2 頁(yè) 共 3 頁(yè) 長(zhǎng)成規(guī)定直徑的硅棒,反應(yīng)同時(shí)生成四氯化硅、二氯二氫硅及氯化氫等副產(chǎn)物。
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