大功率密度封裝用粉末冶金材料-在線瀏覽
2025-03-10 20:49本頁面
【正文】 Ref. Mat. Ceramics Branch ATM 二、熱沉材料的制備工藝 傳統(tǒng) Al2O3陶瓷基片生產(chǎn)工藝 Ref. Mat. Ceramics Branch ATM 原料粉末混合 壓坯成型 燒結(jié) 圓盤研磨 CNC加工 行星研磨 電鍍 Ni、 Au 高熱導(dǎo) WCu、 MoCu、 AlN生產(chǎn)工藝 Ref. Mat. Ceramics Branch ATM AlN陶瓷的燒結(jié)非常困難 ， 采用熱壓 、 熱等靜壓 、SPS燒結(jié)等方法能夠制備出高密度高質(zhì)量的 AlN制品 ，但這些工藝成本高 、 效率低 ， 無法滿足電子行業(yè)日益增長的需求量 。 添加劑在高溫下和 AlN顆粒表面的氧化鋁反應(yīng)生成低熔物 ， 產(chǎn)生液相 ， 促進了 AlN陶瓷的致密化 。 采用這種方法可制備出熱導(dǎo)率為 170～220w/m Ref. Mat. Ceramics Branch ATM WCu、 MoCu合金熱沉材料的制備 ? W粉與 Cu粉直接混合燒結(jié) 。 Ni、 Fe燒結(jié)組劑的添加將極大降低 WCu、 MoCu的導(dǎo)熱性 。 Ref. Mat. Ceramics Branch ATM 一定配比原料粉末 臥式高能球磨 Ar氣保護 超細 WCu合金粉末 燒結(jié) 優(yōu)點：工藝流程相對簡單。 Ref. Mat. Ceramics Branch ATM W包 Cu合金粉末直接燒結(jié) WO3＋ CuO 混合 高能球磨 還原 WO3+CuO WO3+Cu （ 300176。C） +Cu +＋ Cu （ 500176。C） WO2+Cu WO2+W＋ Cu （ 650176。C） Ref. Mat. Ceramics Branch ATM 90WCu混粉直接燒結(jié)金相照片 燒結(jié)密度低，孔隙大，導(dǎo)熱率低 Ref. Mat. Ceramics Branch ATM 復(fù)合包覆粉末燒結(jié) WCu金相照片 Ref. Mat. Ceramics Branch ATM ? 其它常用的制備方法為熔滲法 ， 即將 W粉 、Mo粉壓制成型后 ， 在一定溫度下燒結(jié)得到所需的骨架孔隙度 ， 再將 Cu滲入孔隙中 。 ? 缺點：工藝過程較復(fù)雜 ， 無法使用 MIM工藝制備復(fù)雜形狀產(chǎn)品 。 Ref. Mat. Ceramics Branch ATM Ref. Mat. Ceramics Branch ATM SiC/Al材料的制備 ? 目前采用的方法是先成型 SiC顆粒預(yù)制件 ，再將 Al液熔化后滲入合成 。 Ref. Mat. Ceramics Branch ATM 不同 Al含量 SiC/Al的 CET值 Ref. Mat. Ceramics Branch ATM 原料粉末 成型 粉坯活性處理 高溫?zé)崽幚?
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